分析・計測機器 真空計 トランデューサ型 セラミックキャパシタンスマノメータCCMT-Dシリーズ
アルバック販売株式会社
この製品について
■概要
CCMT-Dシリーズは、セラミックでできた隔膜が気体の圧力変化により変形し、それに伴い変化する静電容量から圧力を検出するキャパシタンスマノメータです。センサ部はセラミックによる一体構造ですので、優れた再現性、安定性を備えており、低・中真空領域の圧力をガスの種類に関係なく (絶対圧真空計) 、精度良く測定出来ます。■用途
・成膜装置のプロセス中の圧力モニタに ・真空溶解、真空熱処理炉などの真空排気系の圧力モニタに ・太陽電池などの各種製造装置の圧力モニタに■特長
・長期間にわたる安定製性 ・セラミック膜の採用による、優れた耐腐食性 ・温度補償回路内蔵タイプ ・汚れからセンサを保護する構造を新規採用 ・プッシュボタンによる0点調整が可能-
シリーズ
分析・計測機器 真空計 トランデューサ型 セラミックキャパシタンスマノメータCCMT-Dシリーズ
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取扱企業
アルバック販売株式会社
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分析・計測機器 真空計 トランデューサ型 セラミックキャパシタンスマノメータCCMT-Dシリーズ 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 測定フルスケール | 分解能 | 精度 | 温度係数 ゼロ電圧 | 温度係数 スパン電圧 | 使用温度範囲 | 応答速度 | 接ガス部材質 | 入力電源 | 出力 | 質量 | 外形寸法 | フィッティング | 温度補償 | 入出力コネクタ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
CCMT-1000D |
要見積もり | 133kPa F.S. | フルケースに対し0.003% | 指示値に対し±0.2% ±温度係数 | 0.005% F.S./℃ | 0.01% R/℃ | 10~50℃ | 30ms以下 | Al2O3、Vacon70、SUS316 | DC 14~30V, 1W | DC 0~10VF.S | 329g (直径12.7・標準型) | 直径55mm×117mm (直径12.7mm・標準型) |
標準：直径12.7パイプ オプション：NW16KF、Cajon 8VCR |
温度補償回路内臓 | D-sub 15ピン オス |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
