分析・計測機器真空計トランデューサ型セラミックキャパシタンスマノメータCCMT-Dシリーズ-CCMT-1000D

分析・計測機器真空計トランデューサ型セラミックキャパシタンスマノメータCCMT-Dシリーズ
アルバック販売株式会社

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この製品について

■概要CCMT-Dシリーズは、セラミックでできた隔膜が気体の圧力変化により変形し、それに伴い変化する静電容量から圧力を検出するキャパシタンスマノメータです。センサ部はセラミックによる一体構造ですので、優れた再現性、安定性を備えており、低・中真空領域の圧力をガスの種類に関係なく (絶対圧真空計) 、精度良く測定出来ます。

■用途・成膜装置のプロセス中の圧力モニタに
・真空溶解、真空熱処理炉などの真空排気系の圧力モニタに
・太陽電池などの各種製造装置の圧力モニタに

■特長・長期間にわたる安定製性
・セラミック膜の採用による、優れた耐腐食性
・温度補償回路内蔵タイプ
・汚れからセンサを保護する構造を新規採用
・プッシュボタンによる0点調整が可能

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
分析・計測機器真空計トランデューサ型セラミックキャパシタンスマノメータCCMT-Dシリーズ

取扱企業
アルバック販売株式会社

カテゴリ

メーター・計測機器

真空計

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分析・計測機器真空計トランデューサ型セラミックキャパシタンスマノメータCCMT-Dシリーズ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	測定フルスケール	分解能	精度	温度係数ゼロ電圧	温度係数スパン電圧	使用温度範囲	応答速度	接ガス部材質	入力電源	出力	質量	外形寸法	フィッティング	温度補償	入出力コネクタ
	CCMT-1000D	要見積もり	133kPa F.S.	フルケースに対し0.003%	指示値に対し±0.2% ±温度係数	0.005% F.S./℃	0.01% R/℃	10~50℃	30ms以下	Al2O3、Vacon70、SUS316	DC 14~30V, 1W	DC 0~10VF.S	329g (直径12.7・標準型)	直径55mm×117mm (直径12.7mm・標準型)	標準：直径12.7パイプオプション：NW16KF、Cajon 8VCR	温度補償回路内臓	D-sub 15ピンオス