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分析・計測機器 真空計 トランデューサ型 セラミックキャパシタンスマノメータCCMT-Dシリーズ-CCMT-1000D
分析・計測機器 真空計 トランデューサ型 セラミックキャパシタンスマノメータCCMT-Dシリーズ-アルバック販売株式会社

分析・計測機器 真空計 トランデューサ型 セラミックキャパシタンスマノメータCCMT-Dシリーズ
アルバック販売株式会社

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■概要

CCMT-Dシリーズは、セラミックでできた隔膜が気体の圧力変化により変形し、それに伴い変化する静電容量から圧力を検出するキャパシタンスマノメータです。センサ部はセラミックによる一体構造ですので、優れた再現性、安定性を備えており、低・中真空領域の圧力をガスの種類に関係なく (絶対圧真空計) 、精度良く測定出来ます。

■用途

・成膜装置のプロセス中の圧力モニタに ・真空溶解、真空熱処理炉などの真空排気系の圧力モニタに ・太陽電池などの各種製造装置の圧力モニタに

■特長

・長期間にわたる安定製性 ・セラミック膜の採用による、優れた耐腐食性 ・温度補償回路内蔵タイプ ・汚れからセンサを保護する構造を新規採用 ・プッシュボタンによる0点調整が可能

  • シリーズ

    分析・計測機器 真空計 トランデューサ型 セラミックキャパシタンスマノメータCCMT-Dシリーズ

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分析・計測機器 真空計 トランデューサ型 セラミックキャパシタンスマノメータCCMT-Dシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 測定フルスケール 分解能 精度 温度係数 ゼロ電圧 温度係数 スパン電圧 使用温度範囲 応答速度 接ガス部材質 入力電源 出力 質量 外形寸法 フィッティング 温度補償 入出力コネクタ
分析・計測機器 真空計 トランデューサ型 セラミックキャパシタンスマノメータCCMT-Dシリーズ-品番-CCMT-1000D

CCMT-1000D

要見積もり

133kPa F.S.

フルケースに対し0.003%

指示値に対し±0.2% ±温度係数

0.005% F.S./℃

0.01% R/℃

10~50℃

30ms以下

Al2O3、Vacon70、SUS316

DC 14~30V, 1W

DC 0~10VF.S

329g (直径12.7・標準型)

直径55mm×117mm (直径12.7mm・標準型)

標準:直径12.7パイプ
オプション:NW16KF、Cajon 8VCR

温度補償回路内臓

D-sub 15ピン オス

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会社概要

アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック(神奈川県)のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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  • 本社所在地: 東京都
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