乾燥炉 AMF-1000,ACF-500,ASF-500-AMF-1000
乾燥炉 AMF-1000,ACF-500,ASF-500-アルバック販売株式会社

乾燥炉 AMF-1000,ACF-500,ASF-500
アルバック販売株式会社



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この製品について

■概要

アルバックの真空乾燥炉は、HVからUHVの圧力領域でクリーンな環境下での脱ガス、前処理用途や、部品表面に付着した物質を真空アニールにて清浄化させる再生処理用途に適応した装置です。

■用途

・真空部品再生処理用 ・カラーフィルター前処理、小型パネルアニール用 ・SEM用部品UHV脱ガス用 ・半導体用部品洗浄後脱ガス用

■特長

・横扉方式を採用し、メンテナンス性を重視した設計 ・1m×1mパネルサイズ10枚を同時に熱処理可能 ・再生時に放出されるガスを除去するためのトラップを装備 ・昇温、冷却時の温度分布を大面積で均一に制御可能 ・標準装置で10-6Paの到達圧力、さらに10-7PaのUHV仕様のアニール炉を提供します。

  • シリーズ

    乾燥炉 AMF-1000,ACF-500,ASF-500

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乾燥炉 AMF-1000,ACF-500,ASF-500 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 到達圧力 排気系 加熱範囲 基板加熱温度 温度分布 加熱方式
乾燥炉 AMF-1000,ACF-500,ASF-500-品番-AMF-1000

AMF-1000

要見積もり 7×10-6Pa クライオポンプ、TMP+RP選択可能 1,000mm×1,000mm×40H×10枚 MAX450℃ 450℃±10℃ 内熱方式

のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック(神奈川県)のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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  • 本社所在地: 東京都
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