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乾燥炉 AMF-1000,ACF-500,ASF-500-AMF-1000
乾燥炉 AMF-1000,ACF-500,ASF-500-アルバック販売株式会社

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■概要

アルバックの真空乾燥炉は、HVからUHVの圧力領域でクリーンな環境下での脱ガス、前処理用途や、部品表面に付着した物質を真空アニールにて清浄化させる再生処理用途に適応した装置です。

■用途

・真空部品再生処理用 ・カラーフィルター前処理、小型パネルアニール用 ・SEM用部品UHV脱ガス用 ・半導体用部品洗浄後脱ガス用

■特長

・横扉方式を採用し、メンテナンス性を重視した設計 ・1m×1mパネルサイズ10枚を同時に熱処理可能 ・再生時に放出されるガスを除去するためのトラップを装備 ・昇温、冷却時の温度分布を大面積で均一に制御可能 ・標準装置で10-6Paの到達圧力、さらに10-7PaのUHV仕様のアニール炉を提供します。

  • シリーズ

    乾燥炉 AMF-1000,ACF-500,ASF-500

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乾燥炉 AMF-1000,ACF-500,ASF-500 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 到達圧力 排気系 加熱範囲 基板加熱温度 温度分布 加熱方式
乾燥炉 AMF-1000,ACF-500,ASF-500-品番-AMF-1000

AMF-1000

要見積もり

7×10-6Pa

クライオポンプ、TMP+RP選択可能

1,000mm×1,000mm×40H×10枚

MAX450℃

450℃±10℃

内熱方式

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加熱方式

内熱方式 ホットエアージャケット方式 ハロゲンヒーター

温度範囲

0 - 200 ℃ 200 - 400 ℃ 400 - 600 ℃ 600 - 800 ℃

真空度

0 - 20000 Pa 80000 - 100000 Pa

容量

400 - 600 L

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アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック（神奈川県）のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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