アッシング装置 Luminous NAシリーズ
アルバック販売株式会社
この製品について
■概要
Luminous NAシリーズはクリティカルな次世代ウェーハプロセスからウェーハレベル実装工程まで幅広いプロセスに対応可能なウェーハサイズフリーのアッシング装置です。■用途
・フロントエンドプロセスにおける イオンインプラント剥離プロセス (1 x 1,016atoms/cm2以上) やポリマー除去 ・CF4添加プロセスが必要なウェーハプロセス (電子部品・LED) ・チップサイズパッケージやBUMP工程 ・CCDカラーフィルター製造プロセス■特長
・クリティカルな次世代ウェーハプロセスに必要な1x1,016atoms/cm2以上のイオンインプラント剥離プロセス・ポリマー除去プロセスをダメージフリーで実現が可能です。 ・F系Gas添加プロセスに最適なチャンバ−構成になっており、パーティクルフリーで対応可能です。このためノーマルPRからイオンインプラント剥離・有機膜はく離 (PI、DFRなど) 剥離・酸化膜エッチングなど非常に幅広いプロセス構築が可能です。 ・シンプルな装置構成を採用し「卓越したメンテンス性・信頼性」と「ローコスト」を同時に実現しています。 ・フレキシブルなチャンバー構成が可能 (μ波、RIE、μ波+RIE) になっており、豊富な搬送経路を選択可能になっています。 ・ウェーハサイズをレシピ設定のみで切替え可能になっておりウェーハサイズ変更が非常に容易に可能です。-
シリーズ
アッシング装置 Luminous NAシリーズ
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取扱企業
アルバック販売株式会社
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アッシング装置 Luminous NAシリーズ 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 対応ウェーハサイズ |
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Luminous NA-8000 |
要見積もり | 100mm,125mm,150mm and 200mm |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
