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アッシング装置 Luminous NAシリーズ-Luminous NA-8000
アッシング装置 Luminous NAシリーズ-アルバック販売株式会社

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この製品について

■概要

Luminous NAシリーズはクリティカルな次世代ウェーハプロセスからウェーハレベル実装工程まで幅広いプロセスに対応可能なウェーハサイズフリーのアッシング装置です。

■用途

・フロントエンドプロセスにおける イオンインプラント剥離プロセス (1 x 1,016atoms/cm2以上) やポリマー除去 ・CF4添加プロセスが必要なウェーハプロセス (電子部品・LED) ・チップサイズパッケージやBUMP工程 ・CCDカラーフィルター製造プロセス

■特長

・クリティカルな次世代ウェーハプロセスに必要な1x1,016atoms/cm2以上のイオンインプラント剥離プロセス・ポリマー除去プロセスをダメージフリーで実現が可能です。 ・F系Gas添加プロセスに最適なチャンバ−構成になっており、パーティクルフリーで対応可能です。このためノーマルPRからイオンインプラント剥離・有機膜はく離 (PI、DFRなど) 剥離・酸化膜エッチングなど非常に幅広いプロセス構築が可能です。 ・シンプルな装置構成を採用し「卓越したメンテンス性・信頼性」と「ローコスト」を同時に実現しています。 ・フレキシブルなチャンバー構成が可能 (μ波、RIE、μ波+RIE) になっており、豊富な搬送経路を選択可能になっています。 ・ウェーハサイズをレシピ設定のみで切替え可能になっておりウェーハサイズ変更が非常に容易に可能です。

  • シリーズ

    アッシング装置 Luminous NAシリーズ

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アッシング装置 Luminous NAシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 対応ウェーハサイズ
アッシング装置 Luminous NAシリーズ-品番-Luminous NA-8000

Luminous NA-8000

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100mm,125mm,150mm and 200mm

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アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック（神奈川県）のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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