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酸素分析装置 O836Si-O836Si
酸素分析装置 O836Si-コスモトレーディング株式会社

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この製品について

■シリコン業界における需要に応えるために開発されたシリコンウェハー専用酸素分析装置

O836Siは、シリコン業界における低濃度・高精度酸素分析の需要に応えるために開発された、シリコンウェハー専用酸素分析装置です。高い精度を誇る非分散型赤外線検出器、最新のサンプルローディングシステムとプログラム可能なインパルス炉の組み合わせで正確・高精度な酸素分析を可能にします。

■分析対象物

シリコンウェハー・鉄鋼等金属・その他 特長と利点

■主な特徴

・低濃度用、高精度な非分散型赤外線検出器 ・測定結果はppmaでの表示も可能

■機能的なサンプルローディングエリア

・シリコンウェハーとブロック試料の両方に対応したユニバーサルデザインのローディングヘッドを採用 ・サンプル投入時の大気の巻き込みが最小限に ・サンプルドロップ機構の定期メンテナンスを簡易化 ・OMIチューブ (キャリアガス中の酸素水分除去試薬) が、交換しやすく、またバイパスすることにより長寿命化を実現

■信頼性の高い自動化機構

・オプションのオートクリーナーを取り付ける事でサンプル間の手動クリーニングが最小限に ・オプションの20サンプル用バッチローダーも取り付け可能

■その他

・フレキシブルアームに取り付けられたタッチパネル式インターフェイスで人間工学に基づいた直感的なオペレーションが可能 ・圧力補正、温度コントロールされたガスドーズシステム ・最新の配管は破損やリークの原因となる継ぎ目を最小限に

  • シリーズ

    酸素分析装置 O836Si

企業レビュー

レビューは全てメトリー経由で実際に見積もりをしたユーザーによるものです

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2024年10月4日にレビュー

週末だった、回答があったのは入力して3日後だが、営業日換算では確かに24時間以内の回答で、説明どおりであった。

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酸素分析装置 O836Si 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 分析範囲 (試料重量0.3g) 分析精度 (試料重量0.3g) 分析時間 サイクルタイム キャリブレーション 試料量 検出方法 試薬 使用ガス ガス流量 冷却水 動作環境 寸法 重量 電源容量
酸素分析装置 O836Si-品番-O836Si

O836Si

要見積もり

0.1ppm~500ppm
※分析範囲は試料の種類や分析パラメーターによって異なります。

標準偏差 (s) 0.05ppmまたはRSD0.3% ※いずれか大きい方
※分析精度は装置ブランクの標準偏差 (1s) であり、試料の種類や分析パラメーターによって異なります。

ヘリウム110秒、アルゴン120秒

ヘリウム280秒、アルゴン290秒

標準試料 / 1点または多点 / 手動 / ガスドーズ

通常 1.0g、0.25g~0.70g (シリコン分析)

非分散型赤外線吸収法

・過塩素酸マグネシウム
・レアアースベース酸化銅、還元銅
・水酸化ナトリウム (不活性基質にコーティング)
・酸素水分除去試薬 (OMIチューブ)

キャリアガス:ヘリウム (99.99%) 、0.15MPa ±5% アルゴン (99.999%) 、0.15MPa±5%
駆動ガス:圧縮空気または窒素 (水分・油分が含まれないこと) 0.28MPa±10% 他

キャリア:460cc/分
駆動ガス:280cc/分析

電極炉、電流・パワー制御、最大7,500 W、水冷式

3.2L、LECO Coolant

温度:15℃~35℃
相対湿度:20%~80% (結露なし)

幅:71cm × 奥行:76cm x 高さ:91.5cm (通常)
※マウント式タッチスクリーンなしの場合 (ありの場合の奥行:80cm)
※ロードヘッドカバーリフト時の高さ:100cm

186kg

単相200V~ (+10/-15%:最大出力、230Vに昇圧して使用) 、50/60Hz、60A、12,500BTU/hr
※通常設定での運転時平均

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使用用途

#排ガス監視 #環境測定 #空気質評価 #工場排出管理 #安全監視 #化学反応解析 #燃焼制御 #半導体製造 #製品検査 #研究開発

測定原理

非分散赤外線型 熱伝導型 質量分析型 電気化学型 ガスクロマトグラフ型

分析対象

単成分分析型 多成分分析型

計測方式

連続測定型 バッチ測定型

構成形態

据置型 携帯型 モジュール型

測定範囲 ppm

0 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 10,000 10,000 - 100,000 100,000 - 1,000,000

質量数範囲 amu

1 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500

分析時間 秒

50 - 100 100 - 150

質量分解能 M/ΔM

0 - 1 1 - 2

動作温度範囲 ℃

-200 - 0 0 - 50 50 - 100 100 - 150

電源・電圧 V

0 - 20 20 - 90 90 - 180 180 - 240

応答速度 sec

0 - 1 1 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 160

精度 %FS

0 - 1 1 - 2 2 - 20 20 - 40 40 - 50

使用ガス

ヘリウム 窒素 高純度水素 精製空気 酸素

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この商品の取り扱い会社情報

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4.0

会社概要

コスモトレーディングは、日本のモノづくりを支える分析装置に特化した専門商社です。
モノづくりに欠かせない「研究開発・製造・品質保証」の活動において、観察・計測・分析装置を通じて最先端の技術を提供します。
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  • 本社所在地: 大阪府
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