FPD各種部材 超広視野共焦点型・高分解能1μm 微小欠陥検査レーザ走査イメージャ-微小欠陥検査レーザ走査イメージャ
FPD各種部材 超広視野共焦点型・高分解能1μm 微小欠陥検査レーザ走査イメージャ-株式会社ワイ・ドライブ

FPD各種部材 超広視野共焦点型・高分解能1μm 微小欠陥検査レーザ走査イメージャ
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■超広視野共焦点型・高分解能1μm微小欠陥検査レーザ走査イメージャ

従来の顕微鏡光学系やSEMなどは狭い領域を高解像度で観察できるが、広い領域を簡便に観察できない。この課題をレーザ走査イメージャが解決します。 50×50mm範囲を3D形状計測できる。 ・最大45度傾斜で、形状測定が可。 ・キズや深い穴の欠陥も検出可。

■レーザ走査イメージャの特徴

・従来の顧微鏡やCCDカメラやラインセンサの欠点を克服した新しい観察装置 (照明装置がいらない) ・広い観察領域 (顕微鏡の100倍以上) と長いWDを持つ新開発専用走査レンス・コントラストの高いレーザ共焦点方式光学ユニット ・レーザ共焦点顕微鏡光学系では初のラスター走査方式 (長く大きな画像で大面積の画像を取得できる、マルチスキャン機能搭載) ・概略仕様:走査分解能が高い (1走査最大20,000点) 走査スピード4,000ライン/秒、レーザはLD405nmを使用 (650、830nmもあり) ・パソコンモニター上で拡大画像が見られる始めての装置です

■レーザ走査イメージャの用途

・透明フィルムやガラス等の表面欠陥観察と検出 ・セラミックスなどの微小クラック欠陥の検出 ・蒸着膜の剥離などの観察 ・小径レンズ、小型金型の非接触形状計測大きい範囲の精密3Dデータの取得 ・微小な面の反りの精密計測 ・大きな範囲の精密な干渉縞での計測、傷検査その他、光学顕微鏡では見にくい対象物の観察

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    FPD各種部材 超広視野共焦点型・高分解能1μm 微小欠陥検査レーザ走査イメージャ

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FPD各種部材 超広視野共焦点型・高分解能1μm 微小欠陥検査レーザ走査イメージャ 品番1件

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微小欠陥検査レーザ走査イメージャ

要見積もり 1μm分解能 約35秒、5μm分解能 約10 0.8μm
深さ:5nm

のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。

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