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FPD各種部材 超広視野共焦点型・高分解能1μm 微小欠陥検査レーザ走査イメージャ-株式会社ワイ・ドライブ

FPD各種部材 超広視野共焦点型・高分解能1μm 微小欠陥検査レーザ走査イメージャ
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■超広視野共焦点型・高分解能1μm微小欠陥検査レーザ走査イメージャ

従来の顕微鏡光学系やSEMなどは狭い領域を高解像度で観察できるが、広い領域を簡便に観察できない。この課題をレーザ走査イメージャが解決します。 50×50mm範囲を3D形状計測できる。 ・最大45度傾斜で、形状測定が可。 ・キズや深い穴の欠陥も検出可。

■レーザ走査イメージャの特徴

・従来の顧微鏡やCCDカメラやラインセンサの欠点を克服した新しい観察装置 (照明装置がいらない) ・広い観察領域 (顕微鏡の100倍以上) と長いWDを持つ新開発専用走査レンス・コントラストの高いレーザ共焦点方式光学ユニット ・レーザ共焦点顕微鏡光学系では初のラスター走査方式 (長く大きな画像で大面積の画像を取得できる、マルチスキャン機能搭載) ・概略仕様：走査分解能が高い (1走査最大20,000点) 走査スピード4,000ライン/秒、レーザはLD405nmを使用 (650、830nmもあり) ・パソコンモニター上で拡大画像が見られる始めての装置です

■レーザ走査イメージャの用途

・透明フィルムやガラス等の表面欠陥観察と検出 ・セラミックスなどの微小クラック欠陥の検出 ・蒸着膜の剥離などの観察 ・小径レンズ、小型金型の非接触形状計測大きい範囲の精密3Dデータの取得 ・微小な面の反りの精密計測 ・大きな範囲の精密な干渉縞での計測、傷検査その他、光学顕微鏡では見にくい対象物の観察

  • シリーズ

    FPD各種部材 超広視野共焦点型・高分解能1μm 微小欠陥検査レーザ走査イメージャ

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FPD各種部材 超広視野共焦点型・高分解能1μm 微小欠陥検査レーザ走査イメージャ 品番1件

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微小欠陥検査レーザ走査イメージャ

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1μm分解能 約35秒、5μm分解能 約10

0.8μm
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