高機能基板
株式会社マイクロセミコンダクターリサーチ

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この製品について

■概要高機能基板として各種貼り合わせウェーハ製造基板およびGaN-SiCエピウェーハを供給します。パワーデバイス、高耐圧、圧電素子、次世代通信に向けた自動運転ヴィークル、ロボット、ドローン、電力などの制御デバイス用に開発した基板です。

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フィルター

品番	価格 (税抜)	適用ウェーハサイズ	材質活性層：SiC 支持基板：SiまたはPoly-Sic 活性層：PZT 支持基板：Si 活性層：Si 支持基板：Pyrexガラス	厚さ活性層：0.3~0.5μm 支持基板：525μm 活性層：~0.5μm 支持基板：525μm 活性層：1μm 支持基板：525μm	仕上活性層：ポリッシュ支持基板：エッチング活性層：ポリッシュ支持基板：ポリッシュ	ポリイミド接着幕：1μm
SiCボンドウェーハ	要見積もり	100mm	活性層：SiC 支持基板：SiまたはPoly-Sic	活性層：0.3~0.5μm 支持基板：525μm	活性層：ポリッシュ支持基板：エッチング	-
ピエゾボンドウェーハ	要見積もり	100mm	活性層：PZT 支持基板：Si	活性層：~0.5μm 支持基板：525μm	活性層：ポリッシュ支持基板：エッチング	接着幕：1μm
Si-Pyrexボンドウェーハ	要見積もり	100mm	活性層：Si 支持基板：Pyrexガラス	活性層：1μm 支持基板：525μm	活性層：ポリッシュ支持基板：ポリッシュ	-