モジュール型調節計 (プロセス/温度調節計) SRX
理化工業株式会社
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この製品について
■サンプリング周期0.025秒の高速サンプリング
・サンプリング周期0.025秒のフィードバック制御により高速に変化するプロセスに対応可能です。 ・PID定数、各種パラメータ設定などは1/100秒単位で設定可能です。■1台で最大2CHの制御が可能で省配線も実現
・コンパクトなモジュール1台で2CHの制御が可能です。 ・増設するモジュールの電源と通信ラインは連結用コネクタに集約し省配線が実現します。■プログラム制御機能搭載
チャネルごとに16セグメント×16パターン (パターンリンク) のプログラム制御が可能です。 ※定値制御とプログラム制御は切換可能■フレキシブルなデジタル入出力
・1台で最大28点の入力/出力が可能なデジタル入力モジュールとデジタル出力モジュールを用意しました。 ・デジタル入力による温度制御モジュールの運転モード各種の切換や運転状態、各種イベント状態などを出力可能です。■高速応答1秒間に40回の超高速フィードバック制御
制御演算周期25ms (0.025秒) の超高速サンプリング仕様デジタルコントローラの登場です。高分解能な入力と1/100秒単位で設定可能なPID定数・各種パラメータ設定等を装備し、高速に変化するプロセス量を緻密かつ的確に捉え、制御演算出力を行います。今まで制御が困難であった、フリップチップボンダのパルスヒート温度制御、ハロゲンランプアニール温度制御等といった、半導体製造プロセスにおけるRTP (Rapid Thermal Process：急速加熱処理) 工程の高速度昇降温度制御、その他圧力・流量等のプロセス制御アプリケーションに対応可能です。 ※他にも品番がございます。-
シリーズ
モジュール型調節計 (プロセス/温度調節計) SRX
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取扱企業
理化工業株式会社
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カテゴリ
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モジュール型調節計 (プロセス/温度調節計) SRX 品番10件
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| まとめて問合せ・見積 | 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | タイプ | 測定入力 (チャネル1) | 測定入力 (チャネル2) | 制御出力1 (チャネル1) | 制御出力2 (チャネル2) | CT入力1 (チャネル1のCT入力) | CT入力2 (チャネル2のCT入力) | 入力点数 | サンプリング周期 | 信号源抵抗の影響 | 許容入力導線の影響 | 入力断線時の動作 | 入力デジタルフィルタ | PVバイアス | 絶縁抵抗 | 耐電圧 | 制御方式 | 制御 設定範囲 比例帯 (P) | 積分時間 (I) | 微分時間 (D) | 制御応答 | 出力リミッタ | 出力変化率リミッタ | 比例周期 | レベルPID | 電源電圧 | 消費電流 | 停電時の影響 | 許容周囲温度 | 質量 |
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X-TIO-A-KK-MM*NN |
要見積もり | 基本タイプ |
入力の種類：K レンジ：-200~1,372℃ |
入力の種類：K レンジ：-200~1,372℃ |
リレー接点出力 | リレー接点出力 | CT入力なし | CT入力なし |
2点 (チャネル間絶縁) ※第2入力をリモート入力として使用可能。 |
0.025秒 | 0.25μV/Ω (熱電対入力) | 1線あたり最大10Ω以内 (測温抵抗体入力) | アップスケール | 0.01~10.00秒 (0.00秒接定でデジタルフィルタOFF) | ±入力レンジスパン | 各絶縁ブロック間 DC 500V 20MΩ以上 | 各絶縁ブロック間 AC 600V 1分間 |
ブリリアントPID制御 (オートチューニング機能付) 正動作/逆動作切換可能 |
温度入力時 0~入力スパン (℃) 電圧・電流入力時 入力スパンの0.0~1,000.0% |
0.01~360.00秒または0.1~3,600.0秒 (切換可能) | 0.00~360.00秒または0.0~3,600.0秒 (切換可能) | Slow, Medium, Fast | -5.0~+105.0％ (上下限別設定) | 0.0~100.0％/秒 | 0.2~50.0秒 | 8種類のPIDパラメータを設定値の位置により選択 | DC21.6~26.4V [電源電圧変動を含む] (定格 DC24V) | 120mA以下 |
20ms以下の停電に対しては影響なし それ以上についてはホットスタート1/2・コールドスタート1/2選択可能 |
-10~50℃ | 220g | |
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X-TIO-A-KK-MM*NP |
要見積もり | 基本タイプ |
入力の種類：K レンジ：-200~1,372℃ |
入力の種類：K レンジ：-200~1,372℃ |
リレー接点出力 | リレー接点出力 | CT入力なし | CTL-6-P-N使用 |
2点 (チャネル間絶縁) ※第2入力をリモート入力として使用可能。 |
0.025秒 | 0.25μV/Ω (熱電対入力) | 1線あたり最大10Ω以内 (測温抵抗体入力) | アップスケール | 0.01~10.00秒 (0.00秒接定でデジタルフィルタOFF) | ±入力レンジスパン | 各絶縁ブロック間 DC 500V 20MΩ以上 | 各絶縁ブロック間 AC 600V 1分間 |
ブリリアントPID制御 (オートチューニング機能付) 正動作/逆動作切換可能 |
温度入力時 0~入力スパン (℃) 電圧・電流入力時 入力スパンの0.0~1,000.0% |
0.01~360.00秒または0.1~3,600.0秒 (切換可能) | 0.00~360.00秒または0.0~3,600.0秒 (切換可能) | Slow, Medium, Fast | -5.0~+105.0％ (上下限別設定) | 0.0~100.0％/秒 | 0.2~50.0秒 | 8種類のPIDパラメータを設定値の位置により選択 | DC21.6~26.4V [電源電圧変動を含む] (定格 DC24V) | 120mA以下 |
20ms以下の停電に対しては影響なし それ以上についてはホットスタート1/2・コールドスタート1/2選択可能 |
-10~50℃ | 220g | |
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X-TIO-A-KK-MM*NS |
要見積もり | 基本タイプ |
入力の種類：K レンジ：-200~1,372℃ |
入力の種類：K レンジ：-200~1,372℃ |
リレー接点出力 | リレー接点出力 | CT入力なし | CTL-12-S56-10L-N使用 |
2点 (チャネル間絶縁) ※第2入力をリモート入力として使用可能。 |
0.025秒 | 0.25μV/Ω (熱電対入力) | 1線あたり最大10Ω以内 (測温抵抗体入力) | アップスケール | 0.01~10.00秒 (0.00秒接定でデジタルフィルタOFF) | ±入力レンジスパン | 各絶縁ブロック間 DC 500V 20MΩ以上 | 各絶縁ブロック間 AC 600V 1分間 |
ブリリアントPID制御 (オートチューニング機能付) 正動作/逆動作切換可能 |
温度入力時 0~入力スパン (℃) 電圧・電流入力時 入力スパンの0.0~1,000.0% |
0.01~360.00秒または0.1~3,600.0秒 (切換可能) | 0.00~360.00秒または0.0~3,600.0秒 (切換可能) | Slow, Medium, Fast | -5.0~+105.0％ (上下限別設定) | 0.0~100.0％/秒 | 0.2~50.0秒 | 8種類のPIDパラメータを設定値の位置により選択 | DC21.6~26.4V [電源電圧変動を含む] (定格 DC24V) | 120mA以下 |
20ms以下の停電に対しては影響なし それ以上についてはホットスタート1/2・コールドスタート1/2選択可能 |
-10~50℃ | 220g | |
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X-TIO-A-KK-MM*PN |
要見積もり | 基本タイプ |
入力の種類：K レンジ：-200~1,372℃ |
入力の種類：K レンジ：-200~1,372℃ |
リレー接点出力 | リレー接点出力 | CTL-6-P-N使用 | CT入力なし |
2点 (チャネル間絶縁) ※第2入力をリモート入力として使用可能。 |
0.025秒 | 0.25μV/Ω (熱電対入力) | 1線あたり最大10Ω以内 (測温抵抗体入力) | アップスケール | 0.01~10.00秒 (0.00秒接定でデジタルフィルタOFF) | ±入力レンジスパン | 各絶縁ブロック間 DC 500V 20MΩ以上 | 各絶縁ブロック間 AC 600V 1分間 |
ブリリアントPID制御 (オートチューニング機能付) 正動作/逆動作切換可能 |
温度入力時 0~入力スパン (℃) 電圧・電流入力時 入力スパンの0.0~1,000.0% |
0.01~360.00秒または0.1~3,600.0秒 (切換可能) | 0.00~360.00秒または0.0~3,600.0秒 (切換可能) | Slow, Medium, Fast | -5.0~+105.0％ (上下限別設定) | 0.0~100.0％/秒 | 0.2~50.0秒 | 8種類のPIDパラメータを設定値の位置により選択 | DC21.6~26.4V [電源電圧変動を含む] (定格 DC24V) | 120mA以下 |
20ms以下の停電に対しては影響なし それ以上についてはホットスタート1/2・コールドスタート1/2選択可能 |
-10~50℃ | 220g | |
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X-TIO-A-KK-MM*PP |
要見積もり | 基本タイプ |
入力の種類：K レンジ：-200~1,372℃ |
入力の種類：K レンジ：-200~1,372℃ |
リレー接点出力 | リレー接点出力 | CTL-6-P-N使用 | CTL-6-P-N使用 |
2点 (チャネル間絶縁) ※第2入力をリモート入力として使用可能。 |
0.025秒 | 0.25μV/Ω (熱電対入力) | 1線あたり最大10Ω以内 (測温抵抗体入力) | アップスケール | 0.01~10.00秒 (0.00秒接定でデジタルフィルタOFF) | ±入力レンジスパン | 各絶縁ブロック間 DC 500V 20MΩ以上 | 各絶縁ブロック間 AC 600V 1分間 |
ブリリアントPID制御 (オートチューニング機能付) 正動作/逆動作切換可能 |
温度入力時 0~入力スパン (℃) 電圧・電流入力時 入力スパンの0.0~1,000.0% |
0.01~360.00秒または0.1~3,600.0秒 (切換可能) | 0.00~360.00秒または0.0~3,600.0秒 (切換可能) | Slow, Medium, Fast | -5.0~+105.0％ (上下限別設定) | 0.0~100.0％/秒 | 0.2~50.0秒 | 8種類のPIDパラメータを設定値の位置により選択 | DC21.6~26.4V [電源電圧変動を含む] (定格 DC24V) | 120mA以下 |
20ms以下の停電に対しては影響なし それ以上についてはホットスタート1/2・コールドスタート1/2選択可能 |
-10~50℃ | 220g | |
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X-TIO-A-KK-MM*PS |
要見積もり | 基本タイプ |
入力の種類：K レンジ：-200~1,372℃ |
入力の種類：K レンジ：-200~1,372℃ |
リレー接点出力 | リレー接点出力 | CTL-6-P-N使用 | CTL-12-S56-10L-N使用 |
2点 (チャネル間絶縁) ※第2入力をリモート入力として使用可能。 |
0.025秒 | 0.25μV/Ω (熱電対入力) | 1線あたり最大10Ω以内 (測温抵抗体入力) | アップスケール | 0.01~10.00秒 (0.00秒接定でデジタルフィルタOFF) | ±入力レンジスパン | 各絶縁ブロック間 DC 500V 20MΩ以上 | 各絶縁ブロック間 AC 600V 1分間 |
ブリリアントPID制御 (オートチューニング機能付) 正動作/逆動作切換可能 |
温度入力時 0~入力スパン (℃) 電圧・電流入力時 入力スパンの0.0~1,000.0% |
0.01~360.00秒または0.1~3,600.0秒 (切換可能) | 0.00~360.00秒または0.0~3,600.0秒 (切換可能) | Slow, Medium, Fast | -5.0~+105.0％ (上下限別設定) | 0.0~100.0％/秒 | 0.2~50.0秒 | 8種類のPIDパラメータを設定値の位置により選択 | DC21.6~26.4V [電源電圧変動を含む] (定格 DC24V) | 120mA以下 |
20ms以下の停電に対しては影響なし それ以上についてはホットスタート1/2・コールドスタート1/2選択可能 |
-10~50℃ | 220g | |
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X-TIO-A-KK-MM*SN |
要見積もり | 基本タイプ |
入力の種類：K レンジ：-200~1,372℃ |
入力の種類：K レンジ：-200~1,372℃ |
リレー接点出力 | リレー接点出力 | CTL-12-S56-10L-N使用 | CT入力なし |
2点 (チャネル間絶縁) ※第2入力をリモート入力として使用可能。 |
0.025秒 | 0.25μV/Ω (熱電対入力) | 1線あたり最大10Ω以内 (測温抵抗体入力) | アップスケール | 0.01~10.00秒 (0.00秒接定でデジタルフィルタOFF) | ±入力レンジスパン | 各絶縁ブロック間 DC 500V 20MΩ以上 | 各絶縁ブロック間 AC 600V 1分間 |
ブリリアントPID制御 (オートチューニング機能付) 正動作/逆動作切換可能 |
温度入力時 0~入力スパン (℃) 電圧・電流入力時 入力スパンの0.0~1,000.0% |
0.01~360.00秒または0.1~3,600.0秒 (切換可能) | 0.00~360.00秒または0.0~3,600.0秒 (切換可能) | Slow, Medium, Fast | -5.0~+105.0％ (上下限別設定) | 0.0~100.0％/秒 | 0.2~50.0秒 | 8種類のPIDパラメータを設定値の位置により選択 | DC21.6~26.4V [電源電圧変動を含む] (定格 DC24V) | 120mA以下 |
20ms以下の停電に対しては影響なし それ以上についてはホットスタート1/2・コールドスタート1/2選択可能 |
-10~50℃ | 220g | |
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X-TIO-A-KK-MM*SP |
要見積もり | 基本タイプ |
入力の種類：K レンジ：-200~1,372℃ |
入力の種類：K レンジ：-200~1,372℃ |
リレー接点出力 | リレー接点出力 | CTL-12-S56-10L-N使用 | CTL-6-P-N使用 |
2点 (チャネル間絶縁) ※第2入力をリモート入力として使用可能。 |
0.025秒 | 0.25μV/Ω (熱電対入力) | 1線あたり最大10Ω以内 (測温抵抗体入力) | アップスケール | 0.01~10.00秒 (0.00秒接定でデジタルフィルタOFF) | ±入力レンジスパン | 各絶縁ブロック間 DC 500V 20MΩ以上 | 各絶縁ブロック間 AC 600V 1分間 |
ブリリアントPID制御 (オートチューニング機能付) 正動作/逆動作切換可能 |
温度入力時 0~入力スパン (℃) 電圧・電流入力時 入力スパンの0.0~1,000.0% |
0.01~360.00秒または0.1~3,600.0秒 (切換可能) | 0.00~360.00秒または0.0~3,600.0秒 (切換可能) | Slow, Medium, Fast | -5.0~+105.0％ (上下限別設定) | 0.0~100.0％/秒 | 0.2~50.0秒 | 8種類のPIDパラメータを設定値の位置により選択 | DC21.6~26.4V [電源電圧変動を含む] (定格 DC24V) | 120mA以下 |
20ms以下の停電に対しては影響なし それ以上についてはホットスタート1/2・コールドスタート1/2選択可能 |
-10~50℃ | 220g | |
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X-TIO-A-KK-MM*SS |
要見積もり | 基本タイプ |
入力の種類：K レンジ：-200~1,372℃ |
入力の種類：K レンジ：-200~1,372℃ |
リレー接点出力 | リレー接点出力 | CTL-12-S56-10L-N使用 | CTL-12-S56-10L-N使用 |
2点 (チャネル間絶縁) ※第2入力をリモート入力として使用可能。 |
0.025秒 | 0.25μV/Ω (熱電対入力) | 1線あたり最大10Ω以内 (測温抵抗体入力) | アップスケール | 0.01~10.00秒 (0.00秒接定でデジタルフィルタOFF) | ±入力レンジスパン | 各絶縁ブロック間 DC 500V 20MΩ以上 | 各絶縁ブロック間 AC 600V 1分間 |
ブリリアントPID制御 (オートチューニング機能付) 正動作/逆動作切換可能 |
温度入力時 0~入力スパン (℃) 電圧・電流入力時 入力スパンの0.0~1,000.0% |
0.01~360.00秒または0.1~3,600.0秒 (切換可能) | 0.00~360.00秒または0.0~3,600.0秒 (切換可能) | Slow, Medium, Fast | -5.0~+105.0％ (上下限別設定) | 0.0~100.0％/秒 | 0.2~50.0秒 | 8種類のPIDパラメータを設定値の位置により選択 | DC21.6~26.4V [電源電圧変動を含む] (定格 DC24V) | 120mA以下 |
20ms以下の停電に対しては影響なし それ以上についてはホットスタート1/2・コールドスタート1/2選択可能 |
-10~50℃ | 220g | |
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X-TIO-A-KK-MV*NN |
要見積もり | 基本タイプ |
入力の種類：K レンジ：-200~1,372℃ |
入力の種類：K レンジ：-200~1,372℃ |
リレー接点出力 | 電圧パルス出力 DC0/12V | CT入力なし | CT入力なし |
2点 (チャネル間絶縁) ※第2入力をリモート入力として使用可能。 |
0.025秒 | 0.25μV/Ω (熱電対入力) | 1線あたり最大10Ω以内 (測温抵抗体入力) | アップスケール | 0.01~10.00秒 (0.00秒接定でデジタルフィルタOFF) | ±入力レンジスパン | 各絶縁ブロック間 DC 500V 20MΩ以上 | 各絶縁ブロック間 AC 600V 1分間 |
ブリリアントPID制御 (オートチューニング機能付) 正動作/逆動作切換可能 |
温度入力時 0~入力スパン (℃) 電圧・電流入力時 入力スパンの0.0~1,000.0% |
0.01~360.00秒または0.1~3,600.0秒 (切換可能) | 0.00~360.00秒または0.0~3,600.0秒 (切換可能) | Slow, Medium, Fast | -5.0~+105.0％ (上下限別設定) | 0.0~100.0％/秒 | 0.2~50.0秒 | 8種類のPIDパラメータを設定値の位置により選択 | DC21.6~26.4V [電源電圧変動を含む] (定格 DC24V) | 120mA以下 |
20ms以下の停電に対しては影響なし それ以上についてはホットスタート1/2・コールドスタート1/2選択可能 |
-10~50℃ | 220g |
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