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モジュール型調節計 (プロセス/温度調節計) SRX-X-TIO-A-KK-MM*NN
モジュール型調節計 (プロセス/温度調節計) SRX-理化工業株式会社

モジュール型調節計 (プロセス/温度調節計) SRX
理化工業株式会社

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この製品について

■サンプリング周期0.025秒の高速サンプリング

・サンプリング周期0.025秒のフィードバック制御により高速に変化するプロセスに対応可能です。 ・PID定数、各種パラメータ設定などは1/100秒単位で設定可能です。

■1台で最大2CHの制御が可能で省配線も実現

・コンパクトなモジュール1台で2CHの制御が可能です。 ・増設するモジュールの電源と通信ラインは連結用コネクタに集約し省配線が実現します。

■プログラム制御機能搭載

チャネルごとに16セグメント×16パターン (パターンリンク) のプログラム制御が可能です。 ※定値制御とプログラム制御は切換可能

■フレキシブルなデジタル入出力

・1台で最大28点の入力/出力が可能なデジタル入力モジュールとデジタル出力モジュールを用意しました。 ・デジタル入力による温度制御モジュールの運転モード各種の切換や運転状態、各種イベント状態などを出力可能です。

■高速応答1秒間に40回の超高速フィードバック制御

制御演算周期25ms (0.025秒) の超高速サンプリング仕様デジタルコントローラの登場です。高分解能な入力と1/100秒単位で設定可能なPID定数・各種パラメータ設定等を装備し、高速に変化するプロセス量を緻密かつ的確に捉え、制御演算出力を行います。今まで制御が困難であった、フリップチップボンダのパルスヒート温度制御、ハロゲンランプアニール温度制御等といった、半導体製造プロセスにおけるRTP (Rapid Thermal Process:急速加熱処理) 工程の高速度昇降温度制御、その他圧力・流量等のプロセス制御アプリケーションに対応可能です。 ※他にも品番がございます。

  • シリーズ

    モジュール型調節計 (プロセス/温度調節計) SRX

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モジュール型調節計 (プロセス/温度調節計) SRX 品番10件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜) タイプ 測定入力 (チャネル1) 測定入力 (チャネル2) 制御出力1 (チャネル1) サンプリング周期 信号源抵抗の影響 許容入力導線の影響 入力断線時の動作 入力デジタルフィルタ PVバイアス 絶縁抵抗 耐電圧 制御方式 積分時間 (I) 微分時間 (D) 制御応答 出力リミッタ 出力変化率リミッタ 比例周期 レベルPID 電源電圧 消費電流 停電時の影響 許容周囲温度 質量
モジュール型調節計 (プロセス/温度調節計) SRX-品番-X-TIO-A-KK-MM*NN

X-TIO-A-KK-MM*NN

要見積もり

基本タイプ

入力の種類:K
レンジ:-200~1,372℃

入力の種類:K
レンジ:-200~1,372℃

リレー接点出力

リレー接点出力

CT入力なし

CT入力なし

2点 (チャネル間絶縁)
※第2入力をリモート入力として使用可能。

0.025秒

0.25μV/Ω (熱電対入力)

1線あたり最大10Ω以内 (測温抵抗体入力)

アップスケール

0.01~10.00秒 (0.00秒接定でデジタルフィルタOFF)

±入力レンジスパン

各絶縁ブロック間 DC 500V 20MΩ以上

各絶縁ブロック間 AC 600V 1分間

ブリリアントPID制御 (オートチューニング機能付)
正動作/逆動作切換可能

温度入力時 0~入力スパン (℃)
電圧・電流入力時 入力スパンの0.0~1,000.0%

0.01~360.00秒または0.1~3,600.0秒 (切換可能)

0.00~360.00秒または0.0~3,600.0秒 (切換可能)

Slow, Medium, Fast

-5.0~+105.0% (上下限別設定)

0.0~100.0%/秒

0.2~50.0秒

8種類のPIDパラメータを設定値の位置により選択

DC21.6~26.4V [電源電圧変動を含む] (定格 DC24V)

120mA以下

20ms以下の停電に対しては影響なし
それ以上についてはホットスタート1/2・コールドスタート1/2選択可能

-10~50℃

220g

モジュール型調節計 (プロセス/温度調節計) SRX-品番-X-TIO-A-KK-MM*NP

X-TIO-A-KK-MM*NP

要見積もり

基本タイプ

入力の種類:K
レンジ:-200~1,372℃

入力の種類:K
レンジ:-200~1,372℃

リレー接点出力

リレー接点出力

CT入力なし

CTL-6-P-N使用

2点 (チャネル間絶縁)
※第2入力をリモート入力として使用可能。

0.025秒

0.25μV/Ω (熱電対入力)

1線あたり最大10Ω以内 (測温抵抗体入力)

アップスケール

0.01~10.00秒 (0.00秒接定でデジタルフィルタOFF)

±入力レンジスパン

各絶縁ブロック間 DC 500V 20MΩ以上

各絶縁ブロック間 AC 600V 1分間

ブリリアントPID制御 (オートチューニング機能付)
正動作/逆動作切換可能

温度入力時 0~入力スパン (℃)
電圧・電流入力時 入力スパンの0.0~1,000.0%

0.01~360.00秒または0.1~3,600.0秒 (切換可能)

0.00~360.00秒または0.0~3,600.0秒 (切換可能)

Slow, Medium, Fast

-5.0~+105.0% (上下限別設定)

0.0~100.0%/秒

0.2~50.0秒

8種類のPIDパラメータを設定値の位置により選択

DC21.6~26.4V [電源電圧変動を含む] (定格 DC24V)

120mA以下

20ms以下の停電に対しては影響なし
それ以上についてはホットスタート1/2・コールドスタート1/2選択可能

-10~50℃

220g

モジュール型調節計 (プロセス/温度調節計) SRX-品番-X-TIO-A-KK-MM*NS

X-TIO-A-KK-MM*NS

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基本タイプ

入力の種類:K
レンジ:-200~1,372℃

入力の種類:K
レンジ:-200~1,372℃

リレー接点出力

リレー接点出力

CT入力なし

CTL-12-S56-10L-N使用

2点 (チャネル間絶縁)
※第2入力をリモート入力として使用可能。

0.025秒

0.25μV/Ω (熱電対入力)

1線あたり最大10Ω以内 (測温抵抗体入力)

アップスケール

0.01~10.00秒 (0.00秒接定でデジタルフィルタOFF)

±入力レンジスパン

各絶縁ブロック間 DC 500V 20MΩ以上

各絶縁ブロック間 AC 600V 1分間

ブリリアントPID制御 (オートチューニング機能付)
正動作/逆動作切換可能

温度入力時 0~入力スパン (℃)
電圧・電流入力時 入力スパンの0.0~1,000.0%

0.01~360.00秒または0.1~3,600.0秒 (切換可能)

0.00~360.00秒または0.0~3,600.0秒 (切換可能)

Slow, Medium, Fast

-5.0~+105.0% (上下限別設定)

0.0~100.0%/秒

0.2~50.0秒

8種類のPIDパラメータを設定値の位置により選択

DC21.6~26.4V [電源電圧変動を含む] (定格 DC24V)

120mA以下

20ms以下の停電に対しては影響なし
それ以上についてはホットスタート1/2・コールドスタート1/2選択可能

-10~50℃

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モジュール型調節計 (プロセス/温度調節計) SRX-品番-X-TIO-A-KK-MM*PN

X-TIO-A-KK-MM*PN

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基本タイプ

入力の種類:K
レンジ:-200~1,372℃

入力の種類:K
レンジ:-200~1,372℃

リレー接点出力

リレー接点出力

CTL-6-P-N使用

CT入力なし

2点 (チャネル間絶縁)
※第2入力をリモート入力として使用可能。

0.025秒

0.25μV/Ω (熱電対入力)

1線あたり最大10Ω以内 (測温抵抗体入力)

アップスケール

0.01~10.00秒 (0.00秒接定でデジタルフィルタOFF)

±入力レンジスパン

各絶縁ブロック間 DC 500V 20MΩ以上

各絶縁ブロック間 AC 600V 1分間

ブリリアントPID制御 (オートチューニング機能付)
正動作/逆動作切換可能

温度入力時 0~入力スパン (℃)
電圧・電流入力時 入力スパンの0.0~1,000.0%

0.01~360.00秒または0.1~3,600.0秒 (切換可能)

0.00~360.00秒または0.0~3,600.0秒 (切換可能)

Slow, Medium, Fast

-5.0~+105.0% (上下限別設定)

0.0~100.0%/秒

0.2~50.0秒

8種類のPIDパラメータを設定値の位置により選択

DC21.6~26.4V [電源電圧変動を含む] (定格 DC24V)

120mA以下

20ms以下の停電に対しては影響なし
それ以上についてはホットスタート1/2・コールドスタート1/2選択可能

-10~50℃

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モジュール型調節計 (プロセス/温度調節計) SRX-品番-X-TIO-A-KK-MM*PP

X-TIO-A-KK-MM*PP

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基本タイプ

入力の種類:K
レンジ:-200~1,372℃

入力の種類:K
レンジ:-200~1,372℃

リレー接点出力

リレー接点出力

CTL-6-P-N使用

CTL-6-P-N使用

2点 (チャネル間絶縁)
※第2入力をリモート入力として使用可能。

0.025秒

0.25μV/Ω (熱電対入力)

1線あたり最大10Ω以内 (測温抵抗体入力)

アップスケール

0.01~10.00秒 (0.00秒接定でデジタルフィルタOFF)

±入力レンジスパン

各絶縁ブロック間 DC 500V 20MΩ以上

各絶縁ブロック間 AC 600V 1分間

ブリリアントPID制御 (オートチューニング機能付)
正動作/逆動作切換可能

温度入力時 0~入力スパン (℃)
電圧・電流入力時 入力スパンの0.0~1,000.0%

0.01~360.00秒または0.1~3,600.0秒 (切換可能)

0.00~360.00秒または0.0~3,600.0秒 (切換可能)

Slow, Medium, Fast

-5.0~+105.0% (上下限別設定)

0.0~100.0%/秒

0.2~50.0秒

8種類のPIDパラメータを設定値の位置により選択

DC21.6~26.4V [電源電圧変動を含む] (定格 DC24V)

120mA以下

20ms以下の停電に対しては影響なし
それ以上についてはホットスタート1/2・コールドスタート1/2選択可能

-10~50℃

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モジュール型調節計 (プロセス/温度調節計) SRX-品番-X-TIO-A-KK-MM*PS

X-TIO-A-KK-MM*PS

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基本タイプ

入力の種類:K
レンジ:-200~1,372℃

入力の種類:K
レンジ:-200~1,372℃

リレー接点出力

リレー接点出力

CTL-6-P-N使用

CTL-12-S56-10L-N使用

2点 (チャネル間絶縁)
※第2入力をリモート入力として使用可能。

0.025秒

0.25μV/Ω (熱電対入力)

1線あたり最大10Ω以内 (測温抵抗体入力)

アップスケール

0.01~10.00秒 (0.00秒接定でデジタルフィルタOFF)

±入力レンジスパン

各絶縁ブロック間 DC 500V 20MΩ以上

各絶縁ブロック間 AC 600V 1分間

ブリリアントPID制御 (オートチューニング機能付)
正動作/逆動作切換可能

温度入力時 0~入力スパン (℃)
電圧・電流入力時 入力スパンの0.0~1,000.0%

0.01~360.00秒または0.1~3,600.0秒 (切換可能)

0.00~360.00秒または0.0~3,600.0秒 (切換可能)

Slow, Medium, Fast

-5.0~+105.0% (上下限別設定)

0.0~100.0%/秒

0.2~50.0秒

8種類のPIDパラメータを設定値の位置により選択

DC21.6~26.4V [電源電圧変動を含む] (定格 DC24V)

120mA以下

20ms以下の停電に対しては影響なし
それ以上についてはホットスタート1/2・コールドスタート1/2選択可能

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モジュール型調節計 (プロセス/温度調節計) SRX-品番-X-TIO-A-KK-MM*SN

X-TIO-A-KK-MM*SN

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基本タイプ

入力の種類:K
レンジ:-200~1,372℃

入力の種類:K
レンジ:-200~1,372℃

リレー接点出力

リレー接点出力

CTL-12-S56-10L-N使用

CT入力なし

2点 (チャネル間絶縁)
※第2入力をリモート入力として使用可能。

0.025秒

0.25μV/Ω (熱電対入力)

1線あたり最大10Ω以内 (測温抵抗体入力)

アップスケール

0.01~10.00秒 (0.00秒接定でデジタルフィルタOFF)

±入力レンジスパン

各絶縁ブロック間 DC 500V 20MΩ以上

各絶縁ブロック間 AC 600V 1分間

ブリリアントPID制御 (オートチューニング機能付)
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温度入力時 0~入力スパン (℃)
電圧・電流入力時 入力スパンの0.0~1,000.0%

0.01~360.00秒または0.1~3,600.0秒 (切換可能)

0.00~360.00秒または0.0~3,600.0秒 (切換可能)

Slow, Medium, Fast

-5.0~+105.0% (上下限別設定)

0.0~100.0%/秒

0.2~50.0秒

8種類のPIDパラメータを設定値の位置により選択

DC21.6~26.4V [電源電圧変動を含む] (定格 DC24V)

120mA以下

20ms以下の停電に対しては影響なし
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モジュール型調節計 (プロセス/温度調節計) SRX-品番-X-TIO-A-KK-MM*SP

X-TIO-A-KK-MM*SP

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入力の種類:K
レンジ:-200~1,372℃

入力の種類:K
レンジ:-200~1,372℃

リレー接点出力

リレー接点出力

CTL-12-S56-10L-N使用

CTL-6-P-N使用

2点 (チャネル間絶縁)
※第2入力をリモート入力として使用可能。

0.025秒

0.25μV/Ω (熱電対入力)

1線あたり最大10Ω以内 (測温抵抗体入力)

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各絶縁ブロック間 DC 500V 20MΩ以上

各絶縁ブロック間 AC 600V 1分間

ブリリアントPID制御 (オートチューニング機能付)
正動作/逆動作切換可能

温度入力時 0~入力スパン (℃)
電圧・電流入力時 入力スパンの0.0~1,000.0%

0.01~360.00秒または0.1~3,600.0秒 (切換可能)

0.00~360.00秒または0.0~3,600.0秒 (切換可能)

Slow, Medium, Fast

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0.0~100.0%/秒

0.2~50.0秒

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DC21.6~26.4V [電源電圧変動を含む] (定格 DC24V)

120mA以下

20ms以下の停電に対しては影響なし
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入力の種類:K
レンジ:-200~1,372℃

入力の種類:K
レンジ:-200~1,372℃

リレー接点出力

リレー接点出力

CTL-12-S56-10L-N使用

CTL-12-S56-10L-N使用

2点 (チャネル間絶縁)
※第2入力をリモート入力として使用可能。

0.025秒

0.25μV/Ω (熱電対入力)

1線あたり最大10Ω以内 (測温抵抗体入力)

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各絶縁ブロック間 DC 500V 20MΩ以上

各絶縁ブロック間 AC 600V 1分間

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温度入力時 0~入力スパン (℃)
電圧・電流入力時 入力スパンの0.0~1,000.0%

0.01~360.00秒または0.1~3,600.0秒 (切換可能)

0.00~360.00秒または0.0~3,600.0秒 (切換可能)

Slow, Medium, Fast

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0.0~100.0%/秒

0.2~50.0秒

8種類のPIDパラメータを設定値の位置により選択

DC21.6~26.4V [電源電圧変動を含む] (定格 DC24V)

120mA以下

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モジュール型調節計 (プロセス/温度調節計) SRX-品番-X-TIO-A-KK-MV*NN

X-TIO-A-KK-MV*NN

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基本タイプ

入力の種類:K
レンジ:-200~1,372℃

入力の種類:K
レンジ:-200~1,372℃

リレー接点出力

電圧パルス出力 DC0/12V

CT入力なし

CT入力なし

2点 (チャネル間絶縁)
※第2入力をリモート入力として使用可能。

0.025秒

0.25μV/Ω (熱電対入力)

1線あたり最大10Ω以内 (測温抵抗体入力)

アップスケール

0.01~10.00秒 (0.00秒接定でデジタルフィルタOFF)

±入力レンジスパン

各絶縁ブロック間 DC 500V 20MΩ以上

各絶縁ブロック間 AC 600V 1分間

ブリリアントPID制御 (オートチューニング機能付)
正動作/逆動作切換可能

温度入力時 0~入力スパン (℃)
電圧・電流入力時 入力スパンの0.0~1,000.0%

0.01~360.00秒または0.1~3,600.0秒 (切換可能)

0.00~360.00秒または0.0~3,600.0秒 (切換可能)

Slow, Medium, Fast

-5.0~+105.0% (上下限別設定)

0.0~100.0%/秒

0.2~50.0秒

8種類のPIDパラメータを設定値の位置により選択

DC21.6~26.4V [電源電圧変動を含む] (定格 DC24V)

120mA以下

20ms以下の停電に対しては影響なし
それ以上についてはホットスタート1/2・コールドスタート1/2選択可能

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会社概要

理化工業株式会社は、東京都大田区に本社を置く、温度制御機器、各種プロセス制御機器、各種センサ、半導体製造用制御機器などの開発・製造・販売およびサービスを事業内容とする企業。 1937年、AH研究所として創業。高周波電流...

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