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大気圧ランプアニール装置 (RTP・RTA) AccuThermo AW820M-AW820M
大気圧ランプアニール装置 (RTP・RTA) AccuThermo AW820M-ハイソル株式会社

大気圧ランプアニール装置 (RTP・RTA) AccuThermo AW820M
ハイソル株式会社

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この製品について

AccuThermoシリーズ高速熱処理装置は、強力な可視~赤外光照射により、最大1250℃、昇温速度150℃/secでウェハの加熱処理を行う赤外線ランプアニール装置 (RTP・RTAシステム) です。 AccuThermo AW820Mは最大8インチウェハ、または2インチウェハ×16枚、3インチウェハ×5枚、4インチウェハ×4枚のアニール処理に対応可能な大気圧RTP・RTAシステムで、研究開発・試作用途のほか、小ロット生産にも対応する高性能・高信頼性ランプアニールシステムです。

■アプリケーション

・イオン注入後の活性化処理 ・オーミックコンタクト形成 ・GaAs, GaN, InP, SiC 等 化合物半導体のアニール ・PZT、SBT等 強誘電体薄膜の結晶化アニール ・PVセルのアニール ・酸化膜生成 ・シリサイド形成,サリサイド形成 ・Polyシリコンのアニール処理

■特長

・最高到達温度 1250℃、最高昇温速度 150℃/秒の高速熱処理に対応。※標準的なSiウェハ処理時 ・1000℃/60min の長時間プロセスに対応可能。 ※詳細はお問合せください ・ランプゾーン出力制御 (10ゾーン) による均熱性の向上 (Δ10℃以内) ・非接触加熱、絶縁石英チューブ、コールドウォール構造によるクリーン熱処理。 ・パージ置換方式で残留酸素濃度 10ppm以下の熱処理に対応。 ・特許のERPパイロメーター (450℃~1250℃) ※オプション ・MFCによるプロセスガス流量制御 (プログラマブル、最大6系統のMFCを組み込み可能) ・RTAプロセスに最適化された温度制御アルゴリズム。 ・簡単なオペレーションで石英チューブ、石英トレイを取り外し交換することが可能。 (デポ物のクリーニング対応が容易) ・組み込みPCによるレシピ編集/保存、リアルタイムプロセスモニター、プロセスデータ管理。 ・ソフトウェア上でパイロメータキャリブレーションをはじめ各種キャリブレーションに対応。 ・ウォッチドッグタイマー、過昇温防止、冷却水循環流量監視 等の徹底された安全対策。 ・ウェハ自動搬送対応可能 ※オプション

  • シリーズ

    大気圧ランプアニール装置 (RTP・RTA) AccuThermo AW820M

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大気圧ランプアニール装置 (RTP・RTA) AccuThermo AW820M 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 対応基板サイズ 温度制御範囲 TC 温度制御範囲 (Option) Special-TC 温度制御範囲 (Option) パイロメータ 加熱方式 冷却方式 加熱方向 温度制御方式 昇温速度 降温速度 温度測定精度 面内温度均一性 ランプゾーン数 試料ローディング方式 プロセス処理室、試料搭載部 チャンバー材質 チャンバー冷却方式 プロセスガス種 プロセスガス系統数 プロセスガス流量制御範囲 登録レシピ数 レシピ当たりのステップ数 プロセス制御方式 ソフトウェアの主な機能 安全対策 外形寸法・重量 タイプ
大気圧ランプアニール装置 (RTP・RTA) AccuThermo AW820M-品番-AW820M

AW820M

要見積もり

[標準] φ5インチ ~ φ8インチ
[オプション] φ2インチ ~ φ4インチ
[オプション] 200mm×200mm 角型基板
[オプション] サセプタ使用時:個片チップ~φ8インチ

100℃~800℃

100℃~1,050℃

450℃~1,250℃

赤外線ランプ放射加熱 (1.5kW×27本,Top 13、Bottom 14)

ガスパージによる強制空冷

上下面2方向

検出温度フィードバックによるクローズドループ制御

10℃/sec~150℃/sec

10℃/sec~150℃/sec

TC:±1℃ (校正後) ,ERPパイロメータ:±4℃ (校正後)

ΔT 10℃

10ゾーン独立制御

フロントローディング (手動)

石英チューブ、石英トレイ

アルミニウム合金+拡散反射Auコーティング

空冷・水冷併用

N2、O2、He、Ar、フォーミングガス (水素濃度5%程度)

[標準] 1系統 (N2)
[オプション] 最大6系統

[標準] 0.2slpm~10slpm (MFCによる制御)
[オプション] 20sccm~1000sccm (MFCによる制御) 他

制限なし

最大40ステップ
(サイクリックアニールの場合、最大99ループ対応)

装置組み込みコンピューターボード、RTAProソフトウェア、17インチタッチスクリーン、キーボード、マウス

・リアルタイムプロセスモニタ
・レシピ編集、保存、読み出し
・プロセスデータリコール
・プロセスデータ出力 (Txt形式)
・各種キャリブレーション
・システム診断 etc.

非常停止SW、過昇温検出、冷却水監視、ドア開閉監視、ウォッチドッグタイマー etc.

W978×D1,220×H1,780mm・460kg

8インチ対応

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

ハイソル株式会社は、半導体、車載デバイス、センサー、LD・LED分野で、輸入製品の販売、及び、各種製造装置の開発・設計・製作・販売を行っている企業です。所在地は東京都台東区です。 1967年に、ウエスト・ボンド社製ワイヤ...

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  • 本社所在地: 東京都
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