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多目的アニール装置 AT-50-AT-50
多目的アニール装置 AT-50-株式会社エピクエスト

多目的アニール装置 AT-50
株式会社エピクエスト



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この製品について

多目的なアニール処理が可能です。手動トランスファーロッドにより、加熱部への試料の出入れが短時間で行え、高速の昇温/降温が可能です。

  • シリーズ

    多目的アニール装置 AT-50

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多目的アニール装置 AT-50 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 基板サイズ 加熱温度 ガス制御部 加熱部 搬送室 真空排気部 電機制御部
多目的アニール装置 AT-50-品番-AT-50

AT-50

要見積もり

25mm×1枚

Max.1,100℃

窒素、アルゴン、酸素導入

電気加熱方式 (1ゾーン)

基板導入ハッチ、手動トランスファーロッド方式

ロータリーポンプ (167L/min)

操作パネル
基板加熱電源 (プログラマブル温度制御)
各種インターロック・異常処理機能

フィルターから探す

加熱炉をフィルターから探すことができます

最高温度 ℃

100 - 700 700 - 1,100 1,100 - 1,200 1,200 - 1,300 1,300 - 1,400 1,400 - 1,500 1,500 - 1,600 1,600 - 1,700 1,700 - 1,800

炉内容積 L

0 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 30 30 - 60

温度分布

0 - 3 3 - 6 6 - 10

昇温時間 分

10 - 20 20 - 30 30 - 40 40 - 50 50 - 70

電源電圧

AC100V AC110V AC200V AC220V AC240V AC380V AC400V

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社エピクエストは2000年に設立し、主にMBE装置、MOCVD装置の開発、製造を行っている会社です。 MBEやMOCVD装置は、天然にない人工結晶を作製する技術であるエピキタシー技術を基盤としており、結晶を成...

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  • 本社所在地: 京都府
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