デジタルマスフローコントローラー

デジタルマスフローコントローラー品番9件

フィルター

品番	価格 (税抜)	流量(N2換算流量) 10,20,30,50,100,200,300,500SCCM1,2,3,5SLM 10,20,30SLM 40,50SLM 100,150,200SLM 300,400,500SLM 5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM1,2,3,5SLM 10,20SLM 30,50SLM 100,150SLM	バルブタイプ NC：ノーマルクローズNO：ノーマルオープン NC：ノーマルクローズ	制御流量範囲	流量精度 ±1％F.S(精度保証範囲15~35℃) ±2％F.S(同左) 2~25％：±0.25％F.S25~100％：±1％S.P ±2％F.S	流量設定信号	流量出力信号	再現性 ±0.2％F.S ±0.4％F.S	応答時間 ≦1sec ≦3sec	必要差圧 50~300KPa NO50~300KPa(6~10SLM)100~300KPa(11~20SLM)150~300KPa(21~30SLM)NC50~300KPa(6~10SLM)100~300KPa(11~30SLM) 200~300KPa 100~300KPa 150~300KPa NO50~300KPa(10SLM)100~300KPa(20SLM)NC100~300KPa(10SLM)200~300KPa(20SLM) 100~300KPa(30SLM)150~300KPa(50SLM) 200~350KPa(100SLM)250~350KPa(150SLM)	最大動作圧力 400KPa(G) 700KPa(G) 300KPa(G) 350KPa(G)	耐圧力	使用保証温度 5~50℃ 5~45℃	外部リークメタルシール：1×10-11Pa･m3/secHeラバーシール：1×10-7Pa･m3/secHe 1×10-11Pa･m3/secHe	取付姿勢	供給電源電圧、消費電流 +15VDC：50mA、-15VDC：200mADeviceNet：+11~24VDC、5.5VA(5.5W) +15VDC：50mA、-15VDC：350mADeviceNet：+11~24VDC、8.5VA(8.5W)	通信方式アナログ：0~5VDC/デジタル：RS485(フジキンプロトコル)、DeviceNet	接ガス部材質 SUS316L、磁性ステンレス、PTFE、(ラバーシール：フッ素ゴム又はクロロプレンゴム) SUS316、PTFE、フッ素ゴム又はクロロプレンゴム SUS316L，PCTFE SUS316L，PCTFE，FKM	シール部材質メタルシール：SUS316Lラバーシール：フッ素ゴム又はクロロプレンゴム Au	アクチュエータ方式ソレノイドアクチュエータピエゾアクチュエータ	表面処理 EP処理オプション、ラバーシールはオプション無し機械加工仕上げ EP処理	接続継手 1/4インチUJR、1/4インチF900、1.5W-Seal、1.125W-Seal、1.125C-Seal 3/8インチUJR3/8インチF900 1/2インチUJR1/2インチF900 1.125W-Seal、1.5W-Seal、1/4インチUJR 3/8インチUJR	デジタル通信 RS485、標準通信速度38400bps、最大接続台数127台	バルブ動作 NC：ノーマルクローズNO：ノーマルオープン NC：ノーマルクローズ	使用保証温度範囲 5~50℃	消費電流 =+15VDC：100mA、-15VDC：50mA =+15VDC：100mA-15VDC：200mA
FCST1005 (M) F / FCST1005 (M) FD	要見積もり	10,20,30,50,100,200,300,500SCCM1,2,3,5SLM	NC：ノーマルクローズNO：ノーマルオープン	2~100％F.S	±1％F.S(精度保証範囲15~35℃)	0.1~5VDC	0~5VDC	±0.2％F.S	≦1sec	50~300KPa	400KPa(G)	1MPa(G)	5~50℃	メタルシール：1×10-11Pa･m3/secHeラバーシール：1×10-7Pa･m3/secHe	指定なし(自由)	+15VDC：50mA、-15VDC：200mADeviceNet：+11~24VDC、5.5VA(5.5W)	アナログ：0~5VDC/デジタル：RS485(フジキンプロトコル)、DeviceNet	SUS316L、磁性ステンレス、PTFE、(ラバーシール：フッ素ゴム又はクロロプレンゴム)	メタルシール：SUS316Lラバーシール：フッ素ゴム又はクロロプレンゴム	ソレノイドアクチュエータ	EP処理オプション、ラバーシールはオプション無し	1/4インチUJR、1/4インチF900、1.5W-Seal、1.125W-Seal、1.125C-Seal	RS485、標準通信速度38400bps、最大接続台数127台	-	-	-
FCST1030 (M) F / FCST1030 (M) FD	要見積もり	10,20,30SLM	NC：ノーマルクローズNO：ノーマルオープン	2~100％F.S	±1％F.S(精度保証範囲15~35℃)	0.1~5VDC	0~5VDC	±0.2％F.S	≦1sec	NO50~300KPa(6~10SLM)100~300KPa(11~20SLM)150~300KPa(21~30SLM)NC50~300KPa(6~10SLM)100~300KPa(11~30SLM)	400KPa(G)	1MPa(G)	5~50℃	メタルシール：1×10-11Pa･m3/secHeラバーシール：1×10-7Pa･m3/secHe	指定なし(自由)	+15VDC：50mA、-15VDC：200mADeviceNet：+11~24VDC、5.5VA(5.5W)	アナログ：0~5VDC/デジタル：RS485(フジキンプロトコル)、DeviceNet	SUS316L、磁性ステンレス、PTFE、(ラバーシール：フッ素ゴム又はクロロプレンゴム)	メタルシール：SUS316Lラバーシール：フッ素ゴム又はクロロプレンゴム	ソレノイドアクチュエータ	EP処理オプション、ラバーシールはオプション無し	1/4インチUJR、1/4インチF900、1.5W-Seal、1.125W-Seal、1.125C-Seal	RS485、標準通信速度38400bps、最大接続台数127台	-	-	-
FCST1050 (M) F / FCST1050 (M) FD	要見積もり	40,50SLM	NC：ノーマルクローズNO：ノーマルオープン	2~100％F.S	±1％F.S(精度保証範囲15~35℃)	0.1~5VDC	0~5VDC	±0.2％F.S	≦1sec	200~300KPa	400KPa(G)	1MPa(G)	5~50℃	メタルシール：1×10-11Pa･m3/secHeラバーシール：1×10-7Pa･m3/secHe	指定なし(自由)	+15VDC：50mA、-15VDC：200mADeviceNet：+11~24VDC、5.5VA(5.5W)	アナログ：0~5VDC/デジタル：RS485(フジキンプロトコル)、DeviceNet	SUS316L、磁性ステンレス、PTFE、(ラバーシール：フッ素ゴム又はクロロプレンゴム)	メタルシール：SUS316Lラバーシール：フッ素ゴム又はクロロプレンゴム	ソレノイドアクチュエータ	EP処理オプション、ラバーシールはオプション無し	1/4インチUJR、1/4インチF900、1.5W-Seal、1.125W-Seal、1.125C-Seal	RS485、標準通信速度38400bps、最大接続台数127台	-	-	-
FCST1200F / FCST1200FD	要見積もり	100,150,200SLM	NC：ノーマルクローズNO：ノーマルオープン	2~100％F.S	±1％F.S(精度保証範囲15~35℃)	0.1~5VDC	0~5VDC	±0.2％F.S	≦3sec	100~300KPa	700KPa(G)	1MPa(G)	5~45℃	メタルシール：1×10-11Pa･m3/secHeラバーシール：1×10-7Pa･m3/secHe	指定なし(自由)	+15VDC：50mA、-15VDC：350mADeviceNet：+11~24VDC、8.5VA(8.5W)	アナログ：0~5VDC/デジタル：RS485(フジキンプロトコル)、DeviceNet	SUS316、PTFE、フッ素ゴム又はクロロプレンゴム	メタルシール：SUS316Lラバーシール：フッ素ゴム又はクロロプレンゴム	ソレノイドアクチュエータ	機械加工仕上げ	3/8インチUJR3/8インチF900	RS485、標準通信速度38400bps、最大接続台数127台	-	-	-
FCST1500F / FCST1500FD	要見積もり	300,400,500SLM	NC：ノーマルクローズ	2~100％F.S	±2％F.S(同左)	0.1~5VDC	0~5VDC	±0.4％F.S	≦3sec	150~300KPa	700KPa(G)	1MPa(G)	5~45℃	メタルシール：1×10-11Pa･m3/secHeラバーシール：1×10-7Pa･m3/secHe	指定なし(自由)	+15VDC：50mA、-15VDC：350mADeviceNet：+11~24VDC、8.5VA(8.5W)	アナログ：0~5VDC/デジタル：RS485(フジキンプロトコル)、DeviceNet	SUS316、PTFE、フッ素ゴム又はクロロプレンゴム	メタルシール：SUS316Lラバーシール：フッ素ゴム又はクロロプレンゴム	ソレノイドアクチュエータ	機械加工仕上げ	1/2インチUJR1/2インチF900	RS485、標準通信速度38400bps、最大接続台数127台	-	-	-
FCST2005	要見積もり	5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM1,2,3,5SLM	-	2~100％F.S	2~25％：±0.25％F.S25~100％：±1％S.P	0.1~5VDC	0~5VDC	±0.2％F.S	≦1sec	50~300KPa	300KPa(G)	1MPa(G)	-	1×10-11Pa･m3/secHe	指定なし(自由)	-	-	SUS316L，PCTFE	Au	ピエゾアクチュエータ	EP処理	1.125W-Seal、1.5W-Seal、1/4インチUJR	-	NC：ノーマルクローズNO：ノーマルオープン	5~50℃	=+15VDC：100mA、-15VDC：50mA
FCST2020	要見積もり	10,20SLM	-	2~100％F.S	2~25％：±0.25％F.S25~100％：±1％S.P	0.1~5VDC	0~5VDC	±0.2％F.S	≦1sec	NO50~300KPa(10SLM)100~300KPa(20SLM)NC100~300KPa(10SLM)200~300KPa(20SLM)	300KPa(G)	1MPa(G)	-	1×10-11Pa･m3/secHe	指定なし(自由)	-	-	SUS316L，PCTFE	Au	ピエゾアクチュエータ	EP処理	1.125W-Seal、1.5W-Seal、1/4インチUJR	-	NC：ノーマルクローズNO：ノーマルオープン	5~50℃	=+15VDC：100mA、-15VDC：50mA
FCST2050	要見積もり	30,50SLM	-	2~100％F.S	2~25％：±0.25％F.S25~100％：±1％S.P	0.1~5VDC	0~5VDC	±0.2％F.S	≦1sec	100~300KPa(30SLM)150~300KPa(50SLM)	300KPa(G)	1MPa(G)	-	1×10-11Pa･m3/secHe	指定なし(自由)	-	-	SUS316L，PCTFE	Au	ピエゾアクチュエータ	EP処理	1.125W-Seal、1.5W-Seal、1/4インチUJR	-	NC：ノーマルクローズNO：ノーマルオープン	5~50℃	=+15VDC：100mA、-15VDC：50mA
FCST2150	要見積もり	100,150SLM	-	2~100％F.S	±2％F.S	0.1~5VDC	0~5VDC	±0.2％F.S	≦1sec	200~350KPa(100SLM)250~350KPa(150SLM)	350KPa(G)	1MPa(G)	-	1×10-11Pa･m3/secHe	指定なし(自由)	-	-	SUS316L，PCTFE，FKM	Au	ソレノイドアクチュエータ	EP処理	3/8インチUJR	-	NC：ノーマルクローズ	5~50℃	=+15VDC：100mA-15VDC：200mA