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デジタルマスフローコントローラー-FCST1005 (M) F  /  FCST1005 (M) FD
デジタルマスフローコントローラー-FCST2005
デジタルマスフローコントローラー-エフコン株式会社

デジタルマスフローコントローラー
エフコン株式会社



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この製品について

半導体やソーラーパネルから一般産業まで幅広い分野で使用可能です。1sec以下の高速応答[ソレノイドバルブ採用]を実現し、インテリジェンス化されるガス供給ラインに対応、デジタル制御や監視、分析も可能としています。

  • シリーズ

    デジタルマスフローコントローラー

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デジタルマスフローコントローラー 品番9件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜) 制御流量範囲 流量設定信号 流量出力信号 耐圧力 取付姿勢
デジタルマスフローコントローラー-品番-FCST1005 (M) F  /  FCST1005 (M) FD

FCST1005 (M) F / FCST1005 (M) FD

要見積もり

10,20,30,50,100,200,300,500SCCM1,2,3,5SLM

NC:ノーマルクローズNO:ノーマルオープン

2~100%F.S

±1%F.S(精度保証範囲15~35℃)

0.1~5VDC

0~5VDC

±0.2%F.S

≦1sec

50~300KPa

400KPa(G)

1MPa(G)

5~50℃

メタルシール:1×10-11Pa・m3/secHeラバーシール:1×10-7Pa・m3/secHe

指定なし(自由)

+15VDC:50mA、-15VDC:200mADeviceNet:+11~24VDC、5.5VA(5.5W)

アナログ:0~5VDC/デジタル:RS485(フジキンプロトコル)、DeviceNet

SUS316L、磁性ステンレス、PTFE、(ラバーシール:フッ素ゴム又はクロロプレンゴム)

メタルシール:SUS316Lラバーシール:フッ素ゴム又はクロロプレンゴム

ソレノイドアクチュエータ

EP処理オプション、ラバーシールはオプション無し

1/4インチUJR、1/4インチF900、1.5W-Seal、1.125W-Seal、1.125C-Seal

RS485、標準通信速度38400bps、最大接続台数127台

- - -
デジタルマスフローコントローラー-品番-FCST1030 (M) F  /  FCST1030 (M) FD

FCST1030 (M) F / FCST1030 (M) FD

要見積もり

10,20,30SLM

NC:ノーマルクローズNO:ノーマルオープン

2~100%F.S

±1%F.S(精度保証範囲15~35℃)

0.1~5VDC

0~5VDC

±0.2%F.S

≦1sec

NO50~300KPa(6~10SLM)100~300KPa(11~20SLM)150~300KPa(21~30SLM)NC50~300KPa(6~10SLM)100~300KPa(11~30SLM)

400KPa(G)

1MPa(G)

5~50℃

メタルシール:1×10-11Pa・m3/secHeラバーシール:1×10-7Pa・m3/secHe

指定なし(自由)

+15VDC:50mA、-15VDC:200mADeviceNet:+11~24VDC、5.5VA(5.5W)

アナログ:0~5VDC/デジタル:RS485(フジキンプロトコル)、DeviceNet

SUS316L、磁性ステンレス、PTFE、(ラバーシール:フッ素ゴム又はクロロプレンゴム)

メタルシール:SUS316Lラバーシール:フッ素ゴム又はクロロプレンゴム

ソレノイドアクチュエータ

EP処理オプション、ラバーシールはオプション無し

1/4インチUJR、1/4インチF900、1.5W-Seal、1.125W-Seal、1.125C-Seal

RS485、標準通信速度38400bps、最大接続台数127台

- - -
デジタルマスフローコントローラー-品番-FCST1050 (M) F  /  FCST1050 (M) FD

FCST1050 (M) F / FCST1050 (M) FD

要見積もり

40,50SLM

NC:ノーマルクローズNO:ノーマルオープン

2~100%F.S

±1%F.S(精度保証範囲15~35℃)

0.1~5VDC

0~5VDC

±0.2%F.S

≦1sec

200~300KPa

400KPa(G)

1MPa(G)

5~50℃

メタルシール:1×10-11Pa・m3/secHeラバーシール:1×10-7Pa・m3/secHe

指定なし(自由)

+15VDC:50mA、-15VDC:200mADeviceNet:+11~24VDC、5.5VA(5.5W)

アナログ:0~5VDC/デジタル:RS485(フジキンプロトコル)、DeviceNet

SUS316L、磁性ステンレス、PTFE、(ラバーシール:フッ素ゴム又はクロロプレンゴム)

メタルシール:SUS316Lラバーシール:フッ素ゴム又はクロロプレンゴム

ソレノイドアクチュエータ

EP処理オプション、ラバーシールはオプション無し

1/4インチUJR、1/4インチF900、1.5W-Seal、1.125W-Seal、1.125C-Seal

RS485、標準通信速度38400bps、最大接続台数127台

- - -
デジタルマスフローコントローラー-品番-FCST1200F  /  FCST1200FD

FCST1200F / FCST1200FD

要見積もり

100,150,200SLM

NC:ノーマルクローズNO:ノーマルオープン

2~100%F.S

±1%F.S(精度保証範囲15~35℃)

0.1~5VDC

0~5VDC

±0.2%F.S

≦3sec

100~300KPa

700KPa(G)

1MPa(G)

5~45℃

メタルシール:1×10-11Pa・m3/secHeラバーシール:1×10-7Pa・m3/secHe

指定なし(自由)

+15VDC:50mA、-15VDC:350mADeviceNet:+11~24VDC、8.5VA(8.5W)

アナログ:0~5VDC/デジタル:RS485(フジキンプロトコル)、DeviceNet

SUS316、PTFE、フッ素ゴム又はクロロプレンゴム

メタルシール:SUS316Lラバーシール:フッ素ゴム又はクロロプレンゴム

ソレノイドアクチュエータ

機械加工仕上げ

3/8インチUJR3/8インチF900

RS485、標準通信速度38400bps、最大接続台数127台

- - -
デジタルマスフローコントローラー-品番-FCST1500F  /  FCST1500FD

FCST1500F / FCST1500FD

要見積もり

300,400,500SLM

NC:ノーマルクローズ

2~100%F.S

±2%F.S(同左)

0.1~5VDC

0~5VDC

±0.4%F.S

≦3sec

150~300KPa

700KPa(G)

1MPa(G)

5~45℃

メタルシール:1×10-11Pa・m3/secHeラバーシール:1×10-7Pa・m3/secHe

指定なし(自由)

+15VDC:50mA、-15VDC:350mADeviceNet:+11~24VDC、8.5VA(8.5W)

アナログ:0~5VDC/デジタル:RS485(フジキンプロトコル)、DeviceNet

SUS316、PTFE、フッ素ゴム又はクロロプレンゴム

メタルシール:SUS316Lラバーシール:フッ素ゴム又はクロロプレンゴム

ソレノイドアクチュエータ

機械加工仕上げ

1/2インチUJR1/2インチF900

RS485、標準通信速度38400bps、最大接続台数127台

- - -
デジタルマスフローコントローラー-品番-FCST2005

FCST2005

要見積もり

5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM1,2,3,5SLM

-

2~100%F.S

2~25%:±0.25%F.S25~100%:±1%S.P

0.1~5VDC

0~5VDC

±0.2%F.S

≦1sec

50~300KPa

300KPa(G)

1MPa(G)

-

1×10-11Pa・m3/secHe

指定なし(自由)

- -

SUS316L,PCTFE

Au

ピエゾアクチュエータ

EP処理

1.125W-Seal、1.5W-Seal、1/4インチUJR

-

NC:ノーマルクローズNO:ノーマルオープン

5~50℃

=+15VDC:100mA、-15VDC:50mA

デジタルマスフローコントローラー-品番-FCST2020

FCST2020

要見積もり

10,20SLM

-

2~100%F.S

2~25%:±0.25%F.S25~100%:±1%S.P

0.1~5VDC

0~5VDC

±0.2%F.S

≦1sec

NO50~300KPa(10SLM)100~300KPa(20SLM)NC100~300KPa(10SLM)200~300KPa(20SLM)

300KPa(G)

1MPa(G)

-

1×10-11Pa・m3/secHe

指定なし(自由)

- -

SUS316L,PCTFE

Au

ピエゾアクチュエータ

EP処理

1.125W-Seal、1.5W-Seal、1/4インチUJR

-

NC:ノーマルクローズNO:ノーマルオープン

5~50℃

=+15VDC:100mA、-15VDC:50mA

デジタルマスフローコントローラー-品番-FCST2050

FCST2050

要見積もり

30,50SLM

-

2~100%F.S

2~25%:±0.25%F.S25~100%:±1%S.P

0.1~5VDC

0~5VDC

±0.2%F.S

≦1sec

100~300KPa(30SLM)150~300KPa(50SLM)

300KPa(G)

1MPa(G)

-

1×10-11Pa・m3/secHe

指定なし(自由)

- -

SUS316L,PCTFE

Au

ピエゾアクチュエータ

EP処理

1.125W-Seal、1.5W-Seal、1/4インチUJR

-

NC:ノーマルクローズNO:ノーマルオープン

5~50℃

=+15VDC:100mA、-15VDC:50mA

デジタルマスフローコントローラー-品番-FCST2150

FCST2150

要見積もり

100,150SLM

-

2~100%F.S

±2%F.S

0.1~5VDC

0~5VDC

±0.2%F.S

≦1sec

200~350KPa(100SLM)250~350KPa(150SLM)

350KPa(G)

1MPa(G)

-

1×10-11Pa・m3/secHe

指定なし(自由)

- -

SUS316L,PCTFE,FKM

Au

ソレノイドアクチュエータ

EP処理

3/8インチUJR

-

NC:ノーマルクローズ

5~50℃

=+15VDC:100mA-15VDC:200mA

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

エフコン株式会社は、高知県南国市に本社を置き、2013年に設立された産業用機械製造メーカーです。 製品の納入先として、高知工科大学やパナソニック株式会社、株式会社グリーンテックなどがあります。 主な事業内容としては、マ...

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  • 本社所在地: 高知県
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