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マスフローコントローラの製品94点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 流量(N2換算流量) | バルブ動作 | 制御流量範囲 | 流量精度 | 流量設定信号 | 流量出力信号 | 再現性 | 応答時間 | 必要差圧 | 最大動作圧力 | 耐圧力 | 使用保証温度範囲 | 外部リーク | 取付姿勢 | 供給電源電圧、消費電流 | 接ガス部材質 | シール部材質 | アクチュエータ方式 | 表面処理 | 接続継手 | |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
FCST1005 (M) L |
要見積もり |
10,20,30,50,100,200,300,500SCCM1,2,3,5SLM |
NC:ノーマルクローズ |
2~100%F.S |
±1%F.S(精度保証範囲:15~35℃) |
0.1~5VDC |
0~5VDC |
±0.2%F.S |
≦1sec |
50~300KPa |
400KPa(G) |
1MPa(G) |
5~50℃ |
メタルシール:1×10-11Pa・m3/secHeラバーシール:1×10-7Pa・m3/secHe |
指定なし(自由) |
±15VDC:25mA、-15VDC:180mA |
SUS316、磁性ステンレス、PTFE、(ラバーシール:フッ素ゴム又はクロロプレンゴム) |
メタルシール:SUS316Lラバーシール:フッ素ゴム又はクロロプレンゴム |
ソレノイドアクチュエータ |
機械加工仕上げ |
1/4インチUJR、1/4インチF900、1.5W-Seal(オプション) |
||
FCST1030 (M) L |
要見積もり |
10,20,30SLM |
NC:ノーマルクローズ |
2~100%F.S |
±2%F.S(同左) |
0.1~5VDC |
0~5VDC |
±0.2%F.S |
≦2sec |
50~300kPa(6~10SLM)100~300KPa(11~30SLM) |
400KPa(G) |
1MPa(G) |
5~50℃ |
メタルシール:1×10-11Pa・m3/secHeラバーシール:1×10-7Pa・m3/secHe |
指定なし(自由) |
±15VDC:25mA、-15VDC:180mA |
SUS316、磁性ステンレス、PTFE、(ラバーシール:フッ素ゴム又はクロロプレンゴム) |
メタルシール:SUS316Lラバーシール:フッ素ゴム又はクロロプレンゴム |
ソレノイドアクチュエータ |
機械加工仕上げ |
1/4インチUJR、1/4インチF900、1.5W-Seal(オプション) |
||
FCST1050 (M) L |
要見積もり |
50SLM |
NC:ノーマルクローズ |
2~100%F.S |
±2%F.S(同左) |
0.1~5VDC |
0~5VDC |
±0.2%F.S |
≦2sec |
200~300KPa |
400KPa(G) |
1MPa(G) |
5~50℃ |
メタルシール:1×10-11Pa・m3/secHeラバーシール:1×10-7Pa・m3/secHe |
指定なし(自由) |
±15VDC:25mA、-15VDC:180mA |
SUS316、磁性ステンレス、PTFE、(ラバーシール:フッ素ゴム又はクロロプレンゴム) |
メタルシール:SUS316Lラバーシール:フッ素ゴム又はクロロプレンゴム |
ソレノイドアクチュエータ |
機械加工仕上げ |
1/4インチUJR、1/4インチF900、1.5W-Seal(オプション) |
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流量(N2換算流量) が 10,20,30,50,100,200,300,500SCCM1,2,3,5SLM の マスフローコントローラ