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マスフローコントローラの製品88点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 流量(N2換算流量) | バルブ動作 | 制御流量範囲 | 流量精度 | 流量設定信号 | 流量出力信号 | 再現性 | 応答時間 | 必要差圧 | 最大動作圧力 | 耐圧力 | 使用保証温度範囲 | 外部リーク | 取付姿勢 | 供給電源電圧、消費電流 | 接ガス部材質 | シール部材質 | アクチュエータ方式 | 表面処理 | 接続継手 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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FCST1005 (M) L |
要見積もり | 10,20,30,50,100,200,300,500SCCM1,2,3,5SLM | NC：ノーマルクローズ | 2~100％F.S | ±1％F.S(精度保証範囲：15~35℃) | 0.1~5VDC | 0~5VDC | ±0.2％F.S | ≦1sec | 50~300KPa | 400KPa(G) | 1MPa(G) | 5~50℃ | メタルシール：1×10-11Pa･m3/secHeラバーシール：1×10-7Pa･m3/secHe | 指定なし(自由) | ±15VDC：25mA、-15VDC：180mA | SUS316、磁性ステンレス、PTFE、(ラバーシール：フッ素ゴム又はクロロプレンゴム) | メタルシール：SUS316Lラバーシール：フッ素ゴム又はクロロプレンゴム | ソレノイドアクチュエータ | 機械加工仕上げ | 1/4インチUJR、1/4インチF900、1.5W-Seal(オプション) | |
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FCST1030 (M) L |
要見積もり | 10,20,30SLM | NC：ノーマルクローズ | 2~100％F.S | ±2％F.S(同左) | 0.1~5VDC | 0~5VDC | ±0.2％F.S | ≦2sec | 50~300kPa(6~10SLM)100~300KPa(11~30SLM) | 400KPa(G) | 1MPa(G) | 5~50℃ | メタルシール：1×10-11Pa･m3/secHeラバーシール：1×10-7Pa･m3/secHe | 指定なし(自由) | ±15VDC：25mA、-15VDC：180mA | SUS316、磁性ステンレス、PTFE、(ラバーシール：フッ素ゴム又はクロロプレンゴム) | メタルシール：SUS316Lラバーシール：フッ素ゴム又はクロロプレンゴム | ソレノイドアクチュエータ | 機械加工仕上げ | 1/4インチUJR、1/4インチF900、1.5W-Seal(オプション) | |
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FCST1050 (M) L |
要見積もり | 50SLM | NC：ノーマルクローズ | 2~100％F.S | ±2％F.S(同左) | 0.1~5VDC | 0~5VDC | ±0.2％F.S | ≦2sec | 200~300KPa | 400KPa(G) | 1MPa(G) | 5~50℃ | メタルシール：1×10-11Pa･m3/secHeラバーシール：1×10-7Pa･m3/secHe | 指定なし(自由) | ±15VDC：25mA、-15VDC：180mA | SUS316、磁性ステンレス、PTFE、(ラバーシール：フッ素ゴム又はクロロプレンゴム) | メタルシール：SUS316Lラバーシール：フッ素ゴム又はクロロプレンゴム | ソレノイドアクチュエータ | 機械加工仕上げ | 1/4インチUJR、1/4インチF900、1.5W-Seal(オプション) |
