全てのカテゴリ

閲覧履歴

  1. Metoree
  2. ナノパターン露光装置"PhableR 100" (協同インターナショナル)
ナノパターン露光装置"PhableR 100"-ナノパターン露光装置"PhableR 100"
ナノパターン露光装置"PhableR 100"-株式会社協同インターナショナル

ナノパターン露光装置"PhableR 100"
株式会社協同インターナショナル

無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

この製品について

■PhableR 100は、300nmピッチ以下の高解像度を実現

・PhableR 100 は、EULITHA社独自の露光技術であるPHABLE (Photonics Enablerの短縮形) に基づいたシステムであり、高解像度の周期的構造の、ノンコンタクトのプロキシミティ露光を可能とします。 ・PhablerR 100は、本質的にDUV投影露光システムと同等の解像度を、複雑で高価な光学系や機械構造なしに実現します。 ・一般的なマスクアライナーが1-2umの解像度に留まるのに対し、ハーフピッチ150nmのリニアグレーティングが高い均一性で作成可能です。 ・リニアまたは曲面グレーティングや、六角形/四角形のシンメトリーな2Dフォトニック結晶パターンが300nm以下の周期で転写出来ます。 ・全面露光 ・マスクと基板は手動で装置にセットされ、露光プロセスは搭載されたコンピュータによって制御されます。

■ノンコンタクト：マスクをダメージやコンタミネーションから保護

プロキシミティまたはコンタクトモードにすれば通常のマスクアライナーとしても使用でき、ミクロンスケールの構造も転写可能です。

■事実上無制限の深さ方向フォーカス

PhableR 100が持つ、現実的に無制限の深さ方向のフォーカスによって、高解像度パターンを、フォトニック用途で用いられる非平坦な基板にさえ高均一に転写する事が可能です。

■一般的なフォトレジストや材料が利用可能

・PhableR 100 は、φ100mmまでの基板と、業界標準のクロムマスクや位相シフトマスクに対応しています。 ・標準的なi線用フォトレジスト (ポジ/ネガ) が利用可能です。 ・非平坦基板に向く (例：エピウェハ) ・高均一性 ・オーバーレイアラインメント能力 ・マスクに対して最大2倍の分解能のパターニングを実現 ・適用分野は、フォトニクス、光回折や分光学向けの回折格子の製作、LEDの光取り出しパターン、PSS (Patterned Sapphire Substrates) 、カラーフィルターの研究開発などです。 ・DUV光源選択で75nm ハーフピッチ (L/S) を実現可能です。

  • シリーズ

    ナノパターン露光装置"PhableR 100"

この製品を共有する


最新の閲覧: 12時間前

無料
見積もり費用は無料のため、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

ナノパターン露光装置"PhableR 100" 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜)
ナノパターン露光装置"PhableR 100"-品番-ナノパターン露光装置"PhableR 100"

ナノパターン露光装置"PhableR 100"

要見積もり

協同インターナショナルの取り扱い製品

Model200 : マニュアル式片面テーブルトップマスクアライナー R&D用-株式会社協同インターナショナル

Model200 : マニュアル式片面テーブルトップマスクアライナー R&D用

株式会社協同インターナショナル

新着

最新の閲覧: 54分前

スピンプロセッサー MEMS、R＆D、少量生産向けに設計された樹脂製多目的スピンコーター "POLOS"-株式会社協同インターナショナル

スピンプロセッサー MEMS、R＆D、少量生産向けに設計された樹脂製多目的スピンコーター "POLOS"

株式会社協同インターナショナル

新着

最新の閲覧: 1分前

デスクトップホットプレート-株式会社協同インターナショナル

デスクトップホットプレート

株式会社協同インターナショナル

新着

最新の閲覧: 12時間前

基板ホルダー-株式会社協同インターナショナル

基板ホルダー

株式会社協同インターナショナル

新着

最新の閲覧: 3時間前

デスクトップめっきシステム-株式会社協同インターナショナル

デスクトップめっきシステム

株式会社協同インターナショナル

新着

最新の閲覧: 4時間前

ナノ・マイクロ微細構造加工システム TEXシリーズ-株式会社協同インターナショナル

ナノ・マイクロ微細構造加工システム TEXシリーズ

株式会社協同インターナショナル

新着

最新の閲覧: 12時間前

標準薄膜型熱電対＜標準タイプ＞-株式会社協同インターナショナル

標準薄膜型熱電対＜標準タイプ＞

株式会社協同インターナショナル

30人以上が見ています

最新の閲覧: 12時間前

表面温度センサー

3種類の商品があります

局所応型薄膜熱電対＜局所タイプ＞-株式会社協同インターナショナル

局所応型薄膜熱電対＜局所タイプ＞

株式会社協同インターナショナル

30人以上が見ています

表面温度センサー

3種類の商品があります

測温部ワイド型薄膜熱電対＜測温部ワイドタイプ＞-株式会社協同インターナショナル

測温部ワイド型薄膜熱電対＜測温部ワイドタイプ＞

株式会社協同インターナショナル

30人以上が見ています

最新の閲覧: 2時間前

表面温度センサー

3種類の商品があります

ナノインプリント (金型) お試しモールド＜6＞ 反射防止膜-株式会社協同インターナショナル

ナノインプリント (金型) お試しモールド＜6＞ 反射防止膜

株式会社協同インターナショナル

40人以上が見ています

反射防止膜
マニュアル式片面テーブルトップマスクアライナー R&D用 Model200-株式会社協同インターナショナル

マニュアル式片面テーブルトップマスクアライナー R&D用 Model200

株式会社協同インターナショナル

30人以上が見ています

最新の閲覧: 2時間前

露光装置

2種類の商品があります

スリップリング ISRMエンドポイント (アップグレードモデル) -株式会社協同インターナショナル

スリップリング ISRMエンドポイント (アップグレードモデル)

株式会社協同インターナショナル

30人以上が見ています

最新の閲覧: 2時間前

スリップリング
協同インターナショナルの製品をもっと見る

この商品の取り扱い会社情報

株式会社協同インターナショナル

会社概要

株式会社協同インターナショナルは、業種に拘わらずオンリーワンの製品を通して企業の抱える課題解決策を提案することを企業理念に、 業種、業態、国境の壁を越えた事業を手掛けています。 半導体に関するビジネスを中心に研究開発か...

もっと見る

  • 本社所在地: 神奈川県
Copyright © 2024 Metoree