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Model200 : マニュアル式片面テーブルトップマスクアライナー R&D用取扱企業
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | モデル | 基板 対応サイズ | マスク 対応サイズ | アライメント ステージコントロール | 露光 時間 | 露光 モード : 解像度 | 付帯設備 | サイズ |
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Model200 : マニュアル式片面テーブルトップマスクアライナー R&D用 |
要見積もり |
200 |
8インチ角 まで |
9インチ角 まで |
XY 動作 : ±10mm |
0.1s~99.0s (0.1s間隔) もしくは 1s~999s (1s間隔) |
プロキシミティ : 5µm (20µm ギャップ) |
電源 : 110V もしくは 220V (仕様による) 真空ライン、エアーライン もしくは N2ライン、排気ライン |
940mmH x 788mmW x 635mmD |
