全自動塗布装置レジン・ペーストコーター
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この製品について

レジン・ペーストコーターは、半導体業界向けに開発された全自動塗布装置です。WLはツインエア式ディスペンサーを搭載し、ウェハ上にスパイラルコーティングを行うことにより、ポリイミドやレジストを均一にコーティングすることができます。従来のスピンコーターに比べ、液剤の使用量を大幅に削減することができるため、カーボンニュートラルに貢献します。6～12インチのウェハに対応することができます。

CLは、トレイに搭載されたチップ上にドットやラインをパターンニングしたり、ダム構造形成を目的として、ツインエア式ディスペンサーが、ポリイミド、レジスト、銀ペースト等を50～100um程度で微細塗布を行います。レジン・ペーストコーターは、クリーンルーム仕様、FFU、ウェハ対応吸着ステージ等、半導体業界に適合した仕様を標準搭載して、コンベアやローダー等のウェハ搬送のご要望にも対応可能です。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
全自動塗布装置レジン・ペーストコーター

取扱企業
株式会社エンジニアリング・ラボ

カテゴリ

半導体製造

レジスト塗布装置

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全自動塗布装置レジン・ペーストコーター品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	搭載ディスペンサー	XYステージ駆動	対応可能基板	搬送系	画像ソフトウェア機能	オーブン	クーリングプレート	検査ユニット	ユーティリティ	装置サイズ	重量
	WL	要見積もり	ツインエア式ディスペンサー	ボールネジ or リニアモータ	6~12インチウェハ	ローダー	オートアライメント、DXFインポート機能	対応可	対応可	なし	AC200V 、クリーンドライエア：0.5Mpa、真空	W2,300 x D1,800x H2,000mm	2,200kg