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シリーズ
計測器・測定システム エリプソメーター取扱企業
ハイソル株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 測定方法 | 光源 | ビーム径 | 入射角 | サンプルステージ | 測定精度 | 測定時間 | コントロールステーション | 寸法 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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計測器・測定システム エリプソメーター |
要見積もり |
回転位相子法 (RQ法) |
0.8mw He-Neレーザー (λ/632.8nm) |
0.8mmФ |
固定 (通常70度) |
自動 θ-Yステージ、標準にて Ф160mmまで (全面自動測定可) 、モータドライブ Z軸、手動チルト機構付き |
△/±0.01°ψ/±0.01°[但しSiO2 (1000Å) /Si 測定時] |
Min0.05秒 (通常2秒) |
Dos/V パソコン |
300×400×450 (本体) |
