計測器・測定システムエリプソメーター
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この製品について

■自動偏光解析装置 世界最小エリプソメーターエリプソメーターとは、光を試料に照射し、試料から反射される光の偏光状態の変化を測定し、薄膜の厚さ、屈折率や吸収係数などの光学定数、あるいは、バルク材の光学定数を解析する装置です。非接触・非破壊かつ高精度の測定が行えるための各方面で使用されています。

■入射角固定通常70度にて固定します。

■入射角手動可変50・60・70・80度の手動可変になります。

■入射角自動可変・45～90度 0.01度ステップで設定が可能です。
・5入射まで自動で測定を行えます。

■固定サンプルステージ・サンプルの1点を測定するためのステージです。
・手動チルト、手動高さ調整機付き

■手動サンプルステージ・手動のθ-Yステージにて測定場所を決定します。
・手動θ軸 ストローク：360度 目盛り無し
・手動Y軸 ストローク：75mm マイクロメータ
・ヘッド取り付け可能

■自動サンプルステージ・自動のθ-Yステージにて自動多点測定が可能です。
・マッピング測定も可能で、結果を3次元鳥瞰図にて表示も可能です。
・自動θ軸 ストローク：360度 分解能：0.1度
・自動Y軸 ストローク：75mm 分解能：0.1mm

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
計測器・測定システムエリプソメーター

取扱企業
ハイソル株式会社

カテゴリ

メーター・計測機器

エリプソメーター

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計測器・測定システムエリプソメーター品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	測定方法	光源	ビーム径	入射角	サンプルステージ	測定精度	測定時間	コントロールステーション	寸法
	計測器・測定システムエリプソメーター	要見積もり	回転位相子法 (RQ法)	0.8mw He-Neレーザー (λ/632.8nm)	0.8mmФ	固定 (通常70度)	自動 θ-Yステージ、標準にて Ф160mmまで (全面自動測定可) 、モータドライブ Z軸、手動チルト機構付き	△/±0.01°ψ/±0.01°[但しSiO2 (1000Å) /Si 測定時]	Min0.05秒 (通常2秒)	Dos/V パソコン	300×400×450 (本体)