電空レギュレータ APU series
株式会社フクダ

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この製品について

制御用センサを本体内部とワーク側の2箇所に設置することで、高速制御及び高精度測定が可能な電空レギュレータです。小流量から大流量まで、幅広いラインアップを取り揃えております。圧力制御以外にも流量制御仕様もご用意しております。お気軽にご相談下さい。

■製品概要・制御再現性 ±0.1％
・応答性 0.5s
・外部圧力センサからのフィードバックにより瞬時に圧力・流量をコントロール
・電圧制御により連続的に圧力・流量をコントロール
・外部圧力センサによりワーク直前の圧力監視可能
・ΔP制御や定差圧制御を可能とした外部圧力センサ
・小流量から大流量まで幅広いラインアップ
・正圧、負圧、連成圧バリエーションに富んだラインアップ

センサ仕様

■SX-100D (差圧) ・センサ耐圧 0～50kPa F.Sの3倍、100～500kPa F.Sの2倍、700～990kPa F.Sの1.5倍
・受圧部材質 黄銅 (BSB) 
・センサ精度 ±0.15%F.S.
・温度特性 ゼロシフト ±0.03%F.S./℃、スパンシフト ±0.03%F.S./℃
・圧力レンジ 5～990kPa

■SX-34 (直圧) ・センサ耐圧 F.S.の2倍
・受圧部材質 黄銅 (BSB) 
・センサ精度 ±1.0%F.S.
・温度特性 ゼロシフト ±0.1%F.S./℃、スパンシフト ±0.1%F.S./℃
・圧力レンジ 20～700kPa 負圧は-100kPaのみ、その他は正圧です。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
電空レギュレータ APU series

取扱企業
株式会社フクダ

カテゴリ

コントローラ・制御装置

電空レギュレータ

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電空レギュレータ APU series 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	圧力レンジ	動作電源	流量 (L/min) 正圧	流量 (L/min) 負圧	オリフィス	接続口径 (Inch)	弁構造	形状	制御精度	使用気体	用途
	APU-508W	要見積もり	-93kPa~990kPa	DC±15V (0.2A)	1	0.4	Φ0.8	Rc1/8	3方弁	□50mm	絶対精度：使用センサによる繰返再現性：±0.1%F.S.	クリーンで変動しないドライエア推奨条件：JIS B 8392-1:2012による圧縮空気の清浄等級 1,3,1	・圧力センサへの基準圧力供給・ウエハーテストのプロービング・シリコンウエハー研磨