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計測機器 振動計-振動計
計測機器 振動計-株式会社フィジックステクノロジー


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この製品について

MEMSをはじめとした高精度の機械部品や微小電気機械の性能には、振動の測定が重要な役割を果たします。一般的な振動計は、ガルバノミラーを使用して、顕微鏡の対物レンズを通して可視範囲の波長のレーザビームをスキャンします。この方式では横方向の解像度が高くなりますが、顕微鏡の対物レンズの視野は解像度の逆数に比例するため、測定エリア (視野) は制限されてしまいます。 MEMSに代表されるアプリケーションでは、数ミリメートルのサイズの対象物を高解像度で一度に測定することが求められ、加えてパッケージ化されているような対象物を測定することが求められています。SmarAct社は、PICOSCALEレーザ変位計を応用し、様々な測定対象物の動的特性を測定するレーザ振動計PICOSCALE Vibrometerを開発しました。

  • シリーズ

    計測機器 振動計

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計測機器 振動計 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) シングルポイント振動分解能 光学垂直分解能 周波数レンジ 光学水平分解能 ワーキングディスタンス 最大イメージサイズ 最小ピクセルサイズ 最大ピクセルサイズ 寸法仕様 コントローラ 寸法仕様 シェーカステージ 寸法仕様 スキャニングステージ 寸法仕様 測定台
計測機器 振動計-品番-振動計

振動計

要見積もり

1pm

7~90μm

最大2.5MHz (サンプリングレート10MHz時)

2~7μm

1.5~10μm

20 x 20mm

1μm

1,000x1,000ピクセル

33x27x7.2cm/1台, 7.6kg

8x1.5cm, 0.5kg

5.5x11.0x7.5cm, 0.25kg

グラナイト定盤:15 x 20 x 4cm、ポール:φ2.5 x H15cm, 4.3kg

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