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3軸センサ / 一体型変位チルトセンサ SH-3100-SH-3100
3軸センサ / 一体型変位チルトセンサ SH-3100-株式会社カツラ・オプト・システムズ

3軸センサ / 一体型変位チルトセンサ SH-3100
株式会社カツラ・オプト・システムズ

💻 電子・電気機器業界用 🏥 医療業界用 🚀 航空・宇宙業界用


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この製品について

■開発の背景

オートコリメータ方式の傾斜測定に加え、変位測定を同時にできないか?そんなお客様のご要望から開発した変位チルトセンサ。 この製品をセンサヘッドとプロセッサユニットを一体化、さらに軽量小型化することで装置への組み込みを簡単にした使いやすい製品を開発いたしました。

■特長

1. 三角測量とオートコリメータの測定方式を一つに 2. センサとプロセッサ一体型さらに高速測定(1K データ/s) 3. 変位と傾斜の同時測定【特許第5330114号】

■アプリケーション事例

・製造工程中のウェーハの反りの判定 ・プロジェクターのレンズフランジあおり、フォーカス調整 ・カメラモジュールのレンズアクチュエータ駆動時の傾斜検査

  • シリーズ

    3軸センサ / 一体型変位チルトセンサ SH-3100
  • 利用シーン

    電子・電気機器業界用 / 医療業界用 / 航空・宇宙業界用

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3軸センサ / 一体型変位チルトセンサ SH-3100 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 測定対象 ワーキングディスタンス 測定項目 測定範囲 Repeatability Linearity デジタル出力 / 出力更新レート 波長 出力 ビーム径 信号出力 出力更新レート 外形寸法 (突起部除く) 質量
3軸センサ / 一体型変位チルトセンサ SH-3100-品番-SH-3100

SH-3100

要見積もり

光学平面ミラー (反射率80%以上推奨)

50±0.5mm

チルト (ΘX,ΘY) 、変位 (Z)

±60分 (円形範囲) 、±1.5mm

0.009分、0.15μm

±0.2% of F.S. (±0.24分相当)
±0.075% of F.S. (±2.25μm相当)

RS-232C規格 (準拠) / 1,000回/秒

660±10nm

クラス1

φ0.2mm以下

RS-232C規格 (準拠)

1,000回/秒

W100×D80×H35mm

0.33kg

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

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世界初!に挑む 非接触光学精密測定機メーカー

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