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小型流量コントローラー SMFCシリーズ-SMFC-0005
小型流量コントローラー SMFCシリーズ-タカノ株式会社

小型流量コントローラー SMFCシリーズ
タカノ株式会社

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この製品について

■製品の特徴

・低コスト 比例ソレノイドバルブに、流量センサーによる計測とコントローラーを加え、高い信頼性と低コスト化を実現しました。 ・軽量/小型 小型の比例ソレノイドバルブ、流量センサー、コントローラーが内蔵されており、別々に設置した場合と比較し、軽量 (200g) でコンパクトです。 ・高速/高精度 内蔵された比例ソレノイドバルブと流量センサ―により、全ての流量域において2秒以内 (±5%F.S.) で安定した流量コントロールを行います。 ・カスタム対応可 お客様の設計に合わせ配管接手、形状、特性等、柔軟に対応致します。

■バルブ、センサー、コントローラーがオールインワン

小型の比例ソレノイドバルブ、流量センサー、コントローラーが内蔵されており、別々に設置した場合と比較し、軽量 (200g) でコンパクトです。さらに減圧弁を加える、小型化、コストダウン等、お客様の設計に合わせ柔軟に対応致します。

■流量コントロール

設定流量を入力すると、その流量に合わせて出力します。設定流量に到達するまでの応答時間は2秒以内です。また出力流量の制御精度は、設定流量に対して±5%以内です。圧力や温度が変わっても出力流量を維持できます。長時間同じ流量を流したい場合や、流量を段階的に変更しながら出力したい場合に最適です。

  • シリーズ

    小型流量コントローラー SMFCシリーズ

企業レビュー

レビューは全てメトリー経由で実際に見積もりをしたユーザーによるものです

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評判がとても良い

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2025年9月8日にレビュー

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小型流量コントローラー SMFCシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) フルスケール流量 制御範囲 応答特性 流量制御精度 再現性 弁構造 弁形式 使用流体 動作差圧範囲 接続ポート 耐圧力 流体温度 周囲温度 周囲湿度 取付姿勢 重量 接ガス部材質 定格電圧 流量設定
小型流量コントローラー SMFCシリーズ-品番-SMFC-0005

SMFC-0005

要見積もり

5 (L/min)

4~100 (%) F.S.
(0.2~5L/min)

設定流量±5 (5) F.S.に2秒以内

±5.0 (%) R.D. (2 ±3.0 (%) F.S. (0.2

±1.5 (%) F.S.

直動ポペット

NC形

空気、酸素、窒素

0.05~0.2 (MPa)

IN側 φ4チューブ継手
OUT側 φ4チューブ継手

0.3 (MPa)

0~50 (℃)

5~50 (℃)

30~85 (%) RH (結露なきこと)

自在

200 (g)

PPS・ステンレス・フッ素ゴム・黄銅・シリコン (センサー部)

12 (V)

アナログ入力 入力範囲1~5 (V)
シリアル通信 RS232C
設定分解能 0.01 (L/min)

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使用用途

#半導体製造 #医薬品製造 #食品加工 #燃料電池 #分析機器 #研究開発 #表面処理 #ガス混合

制御方式

閉ループ制御型 開ループ制御型 デジタル制御型 アナログ制御型

測定原理

熱式 コリオリ式 差圧式 超音波式

流体種類対応

気体用 液体用 高純度流体用

出力信号形式

アナログ出力型 デジタル出力型

制御流量範囲 %F.S

2 - 5 5 - 100

流量精度 %F.S

0 - 1 1 - 2 2 - 5

使用保証温度 ℃

-10 - 0 0 - 50 50 - 60

供給電源電圧消費電流 mA

25 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 350

耐圧力 MPa(G)

0 - 1 1 - 4 4 - 1,000

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この商品の取り扱い会社情報

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15.2時間


企業レビュー

5.0

会社概要

タカノ株式会社は、福祉・医療機器やエクステリア関連用品、オフィス用事務用品など、さまざまな分野の製品を製造・販売している会社です。 1941年に鷹野製作所として創業し、1953年に株式会社タカノ製作所を設立しました。 ...

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  • 本社所在地: 長野県
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