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小型流量コントローラー SMFCシリーズ取扱企業
タカノ株式会社カテゴリ
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マスフローコントローラの製品110点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | フルスケール流量 | 制御範囲 | 応答特性 | 流量制御精度 | 再現性 | 弁構造 | 弁形式 | 使用流体 | 動作差圧範囲 | 接続ポート | 耐圧力 | 流体温度 | 周囲温度 | 周囲湿度 | 取付姿勢 | 重量 | 接ガス部材質 | 定格電圧 | 流量設定 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
SMFC-0005 |
要見積もり |
5 (L/min) |
4~100 (%) F.S. |
設定流量±5 (5) F.S.に2秒以内 |
±5.0 (%) R.D. (2
±3.0 (%) F.S. (0.2 |
±1.5 (%) F.S. |
直動ポペット |
NC形 |
空気、酸素、窒素 |
0.05~0.2 (MPa) |
IN側 φ4チューブ継手 |
0.3 (MPa) |
0~50 (℃) |
5~50 (℃) |
30~85 (%) RH (結露なきこと) |
自在 |
200 (g) |
PPS・ステンレス・フッ素ゴム・黄銅・シリコン (センサー部) |
12 (V) |
アナログ入力 入力範囲1~5 (V) |