光学式外観自動検査装置インスペクション・マスター SIM シリーズ SIM 2000-SIM 2000

光学式外観自動検査装置インスペクション・マスター SIM シリーズ SIM 2000
株式会社三明

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この製品について

SIM2000は基本的な検査機能を搭載した光学観察式外観検査装置の標準機です。1μmの微細な欠陥を検出し、顕微鏡画像で観察することができます。

■さまざまなワークに対応ワークサイズは最大200×200mmまで対応し、透明、非透明の両方に対応しています。

■欠陥のマッピング機能検出した欠陥はマッピングされ、その位置をマウスでクリックするだけで、顕微鏡画像の観察ができます。

■高性能の顕微鏡を搭載微分干渉観察、偏光顕微鏡観察を標準搭載。また対物レンズは5~50倍に可変できます。

■高精度 X-Yステージ可動範囲はX軸およびY軸それぞれ200mmで、モータによる自動位置決め制御ができます。交換式ワークホルダにより様々なサイズのワークに対応します。

■1μmサイズの欠陥を検出キズ、異物、パティクルなどの欠陥を1μmサイズまで可視光サーチ機能で検出します。

■鮮明な画像観察が可能観察には明視野/暗視野の切替、反射/透過照明の切替、対物レンズ倍率の選択などにより、欠陥の状態に合わせた鮮明な画像観察ができます。

■分りやすい検査ソフトウェア画像処理で検出した欠陥データのリスト表示およびマップ表示などを行います。また欠陥をサイズに分類することも可能です。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
光学式外観自動検査装置インスペクション・マスター SIM シリーズ SIM 2000

取扱企業
株式会社三明

カテゴリ

検査装置

外観検査装置

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光学式外観自動検査装置インスペクション・マスター SIM シリーズ SIM 2000 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	電源	測定対象	測定機能	ワークサイズ	検査時間	顕微鏡仕様	対物レンズ	照明、フィルターなど	光源	検査方法	マッピング機能	オートステージ	画像処理、検査データ	検査ソフトウェア	表示	筐体	付属品
	SIM 2000	要見積もり	AC100V 20A	ガラス、フィルムなど透明、非透明どちらも対応ウェハ (最大8インチφ)	ワーク表面のキズ、異物 (パティクル、ほこり、ごみ) の検出	最大 200mm×200mm 厚さ 2mm以内	200mm×200mmのワークで300秒/枚	通常モード、レビューモードを実装検査では自動でモード切替を行います。	通常モード:5 倍、10 倍レビューモード:5 倍、10 倍、20 倍、倍率変更􏰃レボルバ回転、自動カメラ切替、偏光切替、微分切替	明視野/暗視野照明切替。微分干渉、偏光フィルター切替機能􏰃標準搭載	反射 LED 暗視野 LED	オペレータによる目視検査およびしきい値設定による判定機能 (異物のサイズ、数量など)	検出した欠陥􏰃座標が管理され、対象位置へ直接対物レンズを移動させて観察を行うことが可能	X ステージストローク 200mm以上 Y ステージストローク 200mm以上各種ワークホルダにて様々なサイズに対応	64 ビット CPU OS Windows7、内蔵メモリ10G HDD 2T バイト×2	自動マッピングソフト、画像処理ソフトおよびシステム制御欠陥データのリスト表示、マップ表示、欠陥サイズを 5 分類まで可能、トレンド表示	19インチ液晶ディスプレー	床上型、簡易防振構造、上下開閉式手動操作窓	真空ポンプ (エアー負圧制御1系統)