全自動マスクアライナー ALA410
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この製品について

量産工程用 全自動露光装置

■特徴・高い汎用性 (〇型 □型 試料対応) 
・信頼性の高い球面軸受 平行機構
・シンプル構造で低価格を実現

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
全自動マスクアライナー ALA410

取扱企業
株式会社三明

カテゴリ

半導体製造

露光装置

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2024年10月7日にレビュー済み

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全自動マスクアライナー ALA410 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	露光光源	露光解像度	アライメント精度	サイズ	装置寸法	重量
	ALA410	要見積もり	照度分布±5%以内	・ソフトコンタクト L/S3μm ・ハードコンタクト L/S1μm	Topーside ±1μm Bottom-side ±3μm	4in	2,100 (H) ×1,300 (W) ×1,500 (D) mm 自立型	900kg