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スペクトル及びパルス監視システム EMICON SA-HIPIMS-EMICON SA-HIPIMS
スペクトル及びパルス監視システム EMICON SA-HIPIMS-XQ Instruments

スペクトル及びパルス監視システム EMICON SA-HIPIMS
XQ Instruments



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この製品について

EMICON SA-HIPIMSシステムは、EMICON SAシステムのアップグレードバージョンです。プロセスガスの制御に有効なスペクトル測定と同時に、電気的なパルスデータを絶えず高分解能で取得する能力を備えます。 25nsの高分解能で、パルス波形を測定する事により、パルス電流とパルス電圧の両方の数値を正確に記録していきます。これは、例えば、メタルモードからリアクティブモードへの遷移中に発生するパルス波形の変化を見逃しません。パルスデータとスペクトルデータは、統合されたトリガーインプットを経由して装置に同時記録されます。 同一装置内に、スペクトルデータと、電気的データが集約される事により、イオン密度と、反応性ガスの同時制御が可能となります。これはHIPIMSプロセスにおいては特に重要な要素です。 かくして、EMICON SA-HIPIMSシステムを使用する事により、そのユーザーは、成膜時に形態的特性 (例えば膜密度) や、化学量論的特性 (化学的組成比) を選択的にそして個別に制御可能となります。 また、HIPIMISプロセス時に多くのユーザーが悩まされるターゲットエロ―ジョン (浸食) によるパラメーターのふらつきを抑制する事も可能となります。ターゲットの厚みや形状の変化により、その表面から漏れる磁場は常に変化してゆきます。 それは、HIPIMSプロセスに大きな影響を与えうるピークカレント及びイオン密度に大きな影響を与えます。EMICON SA-HIPIMSシステムは、高分解能でのピークカレントの検出により、その影響を最小限に自動補正 (クローズドループ) し、ターゲットライフを通じ安定したプロセスを実現します。

■特徴

・センサーの感知レンジに出現するすべてのスペクトルを監視 ・高分解能でのエレクトリックシグナルの記録 ・パルスプロセス (HIPIMS) での、電流と電圧のリアルタイムレコーディング ・パルスカーブの監視及び解析 ・アナログ及びオプティカルトリガーインプットによるパルスとスペクトルの同時記録 ・リアルタイムでのスペクトル及びエレクトリカルの融合制御 ・ウインドウズOSでの専用ソフトでのLAN制御

  • シリーズ

    スペクトル及びパルス監視システム EMICON SA-HIPIMS

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スペクトル及びパルス監視システム EMICON SA-HIPIMS 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) アナログパルスインプット サンプリングレート パルストリガーインプット スペクトルメーターチャネル数 アナログコントロールアウトプット コネクション サポートフィールドバス タイプ
スペクトル及びパルス監視システム EMICON SA-HIPIMS-品番-EMICON SA-HIPIMS

EMICON SA-HIPIMS

要見積もり

±1V (2x)

40MHz

アナログ±5V (1x) 、オプティカル (2x)

1-8

0-10ボルト (4/8)

LAN (TCP/IP)

Profibus、Profinet、EtherCAT、EtherNET/IP、OPC

UA

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

XQ Instrumentsは、半自動プロセス向けの革新的で特許取得済みの機器を開発し製造しています。 主にライフサイエンス/化学研究室、食品・飲料、産業、テスト、およびブティック製造アプリケーション向けの粉末ディ...

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