スペクトル及びパルス監視システム EMICON SA-HIPIMS-EMICON SA-HIPIMS

スペクトル及びパルス監視システム EMICON SA-HIPIMS
XQ Instruments

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この製品について

EMICON SA-HIPIMSシステムは、EMICON SAシステムのアップグレードバージョンです。プロセスガスの制御に有効なスペクトル測定と同時に、電気的なパルスデータを絶えず高分解能で取得する能力を備えます。

25nsの高分解能で、パルス波形を測定する事により、パルス電流とパルス電圧の両方の数値を正確に記録していきます。これは、例えば、メタルモードからリアクティブモードへの遷移中に発生するパルス波形の変化を見逃しません。パルスデータとスペクトルデータは、統合されたトリガーインプットを経由して装置に同時記録されます。

同一装置内に、スペクトルデータと、電気的データが集約される事により、イオン密度と、反応性ガスの同時制御が可能となります。これはHIPIMSプロセスにおいては特に重要な要素です。
かくして、EMICON SA-HIPIMSシステムを使用する事により、そのユーザーは、成膜時に形態的特性 (例えば膜密度) や、化学量論的特性 (化学的組成比) を選択的にそして個別に制御可能となります。

また、HIPIMISプロセス時に多くのユーザーが悩まされるターゲットエロ―ジョン (浸食) によるパラメーターのふらつきを抑制する事も可能となります。ターゲットの厚みや形状の変化により、その表面から漏れる磁場は常に変化してゆきます。

それは、HIPIMSプロセスに大きな影響を与えうるピークカレント及びイオン密度に大きな影響を与えます。EMICON SA-HIPIMSシステムは、高分解能でのピークカレントの検出により、その影響を最小限に自動補正 (クローズドループ) し、ターゲットライフを通じ安定したプロセスを実現します。

■特徴・センサーの感知レンジに出現するすべてのスペクトルを監視
・高分解能でのエレクトリックシグナルの記録
・パルスプロセス (HIPIMS) での、電流と電圧のリアルタイムレコーディング
・パルスカーブの監視及び解析
・アナログ及びオプティカルトリガーインプットによるパルスとスペクトルの同時記録
・リアルタイムでのスペクトル及びエレクトリカルの融合制御
・ウインドウズOSでの専用ソフトでのLAN制御

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
スペクトル及びパルス監視システム EMICON SA-HIPIMS

取扱企業
XQ Instruments

カテゴリ

メーター・計測機器

データロガー・記録計

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パルスロガー

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スペクトル及びパルス監視システム EMICON SA-HIPIMS 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	アナログパルスインプット	サンプリングレート	パルストリガーインプット	スペクトルメーターチャネル数	アナログコントロールアウトプット	コネクション	サポートフィールドバス	タイプ
	EMICON SA-HIPIMS	要見積もり	±1V (2x)	40MHz	アナログ±5Ｖ (1x) 、オプティカル (2x)	1-8	0-10ボルト (4/8)	LAN (TCP/IP)	Profibus、Profinet、EtherCAT、EtherNET/IP、OPC	UA