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スピンコータ-スピンコータ
スピンコータ-株式会社ピクリング

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株式会社ピクリング

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この製品について

■特徴

・2インチ～6インチウェハ用レジスト塗布 ・膜厚0.8μm～1μm (参考値) ・スピン回転数50rpm～6,000rpm (任意設定) ・回転式ベーク炉50℃～200℃±1% ・2トラック構成での並列処理 ・ダブルアーム搬送ロボット搭載 (2機搭載) ・処理能力約80枚/h ・カスタマイズ対応可能

  • シリーズ

    スピンコータ

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  • 本社所在地: 神奈川県

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