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白色干渉計 ZeGage™ Pro取扱企業
アメテック株式会社 ZYGO事業部カテゴリ
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 垂直スキャンレンジ | STR | RMS再現性 | 段差再現性 | 段差正確性 | 光学水平方向分解能 | 最小サンプリング間隔 | |
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ZeGage™ Pro |
要見積もり |
20mm |
3.5nm |
0.1nm |
0.3% |
3% |
0.52um (50x対物レンズ使用時) |
0.17um (50x対物レンズ使用時) |
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ZeGageProHR |
要見積もり |
20mm |
0.15nm |
0.1nm |
0.3% |
3% |
0.52um (50x対物レンズ使用時) |
0.17um (50x対物レンズ使用時) |