注ナノ位置決めステージカスタム・ピエゾポジショナー-カスタム・ピエゾポジショナー

注ナノ位置決めステージカスタム・ピエゾポジショナー
株式会社日本レーザー

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この製品について

高精度ピエゾ駆動モータおよび位置決め製品。超高真空・非磁性対応。高精度アライメント用途などのナノポジショナーとして産業分野での高精度マシニング、要件の厳しい最先端の研究アプリケーションにも好適なナノポジショニング製品です。

attocube (アトキューブ) 社のナノポジショナー部門では、圧電モーター (ピエゾ) 駆動ポジショナーの設計、エンジニアリング、製造を通じて、最高の分解能、再現性、安定性を要するアプリケーションのための統合的なナノポジショニングソリューションに注力しています。超高真空や高磁場といった極限環境に対応可能な多彩なラインナップを展開し、ナノメートルの高い精度で、センチメートルオーダーの広い可動範囲の位置決め動作を提供します。
 
ステージの種類は、直進 (リニア) 、回転、ゴニオメトリック、スキャナーがあり、いずれのステージ種類にも位置センサ内蔵のクローズドループ制御モデルがございます。モジュール式設計のため、個々のステージ (リニアド、回転、ゴニオ) を組み合わせて、最大6軸までのマルチアクシス (多軸) システムを構築できます。お客様のニーズに合わせた統合ナノポジショニングソリューションの開発も、同社の経験豊富な熟練のエンジニアがお手伝いいたします。

■カスタム・ピエゾポジショナーサイズ、耐荷重、位置読み取り機能など、アプリケーションに合わせてカスタマイズ可能です。

ナノポジショニングアプリケーションの多くで、移動プロセス中も、長期間にわたる目標位置の保持でも、安定性は重要な要素です。写真のローテータは、最大の剛性と大きな荷重量の位置決め用途のために設計されています。重力に対する方位に関わらず、最大1kg の荷重が可能で、テーブルの傾きはほとんどありません。