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UV光源 193nm 単一周波数Qスイッチ LD励起レーザー IXION-193-SLM-IXION-193 SLM
UV光源 193nm 単一周波数Qスイッチ LD励起レーザー IXION-193-SLM-株式会社日本レーザー

UV光源 193nm 単一周波数Qスイッチ LD励起レーザー IXION-193-SLM
株式会社日本レーザー

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この製品について

■高品質 TEM00ビーム、スペクトル幅 <120MHz、フーリエ限界の単一周波数全固体レーザー

IXION-193 は単一周波数全固体レーザーシステムで、光学計測、193nmステッパオプティクスの補正、高出力 ArFエキシマレーザーのバンド幅コントロールなどに使用できます。スペクトルバンド幅はフーリエ限界理論値の近似値です。 中心波長は185~194nm 範囲からご注文時にご指定可能です。オプションとして、絶対波長精度 0.001nm の高精度スペクトロメータをシステムに搭載可能です。これによりレーザーのスペクトルチューニングを最高精度でコントロールできます。

■応用例

・193nm計量・計測 ・スペクトロメータの補正 ・干渉 ・エキシマレーザーの種光源

  • シリーズ

    UV光源 193nm 単一周波数Qスイッチ LD励起レーザー IXION-193-SLM

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UV光源 193nm 単一周波数Qスイッチ LD励起レーザー IXION-193-SLM 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 波長 平均出力パワー パルス幅 (typ) パルスエネルギー 繰返し周波数 ビーム品質 スペクトル幅 波長チューナビリティ コヒーレンス長 パルス間安定性
UV光源 193nm 単一周波数Qスイッチ LD励起レーザー IXION-193-SLM-品番-IXION-193 SLM

IXION-193 SLM

要見積もり

193.368nm

> 10mW

8 – 12ns

1.6μJ

1 – 15kHz

M2 < 1.6

< 80MHz

> 10pm

> 2m

σ < 2.5%

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

株式会社日本レーザーは、レーザーおよび光関連製品を取り扱う、レーザー専門商社です。
1968年設立、1971年に日本電子株式会社の100%出資子会社となった後、2007年には日本初のMEBOで完全独立いたしました...

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  • 本社所在地: 東京都
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