UV光源 193nm 単一周波数Qスイッチ LD励起レーザー IXION-193-SLM
株式会社日本レーザー
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この製品について
■高品質 TEM00ビーム、スペクトル幅 <120MHz、フーリエ限界の単一周波数全固体レーザー
IXION-193 は単一周波数全固体レーザーシステムで、光学計測、193nmステッパオプティクスの補正、高出力 ArFエキシマレーザーのバンド幅コントロールなどに使用できます。スペクトルバンド幅はフーリエ限界理論値の近似値です。 中心波長は185～194nm 範囲からご注文時にご指定可能です。オプションとして、絶対波長精度 0.001nm の高精度スペクトロメータをシステムに搭載可能です。これによりレーザーのスペクトルチューニングを最高精度でコントロールできます。■応用例
・193nm計量・計測 ・スペクトロメータの補正 ・干渉 ・エキシマレーザーの種光源-
シリーズ
UV光源 193nm 単一周波数Qスイッチ LD励起レーザー IXION-193-SLM
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取扱企業
株式会社日本レーザー
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UV光源 193nm 単一周波数Qスイッチ LD励起レーザー IXION-193-SLM 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 波長 | 平均出力パワー | パルス幅 (typ) | パルスエネルギー | 繰返し周波数 | ビーム品質 | スペクトル幅 | 波長チューナビリティ | コヒーレンス長 | パルス間安定性 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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IXION-193 SLM |
要見積もり | 193.368nm | > 10mW | 8 – 12ns | 1.6μJ | 1 – 15kHz | M2 < 1.6 | < 80MHz | > 10pm | > 2m | σ < 2.5% |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
