静電容量変位センサMicroSense 6800シリーズ
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この製品について

シリーズ最高分解能・高速応答モデル。

■特徴・高速変位を高精度で測定
・サブナノメートルレベルの高い分解能
・最高100kHzの高い応答性 (1kHz～100kHzの範囲で4段階に切換え) 
・高い安定性
・さまざまな機能で幅広い用途に対応

MicroSense LLC独自の技術により開発された静電容量型変位センサです。被測定物に接触することなく変位を高精度に測定し、被測定物に一切損傷や負荷を与えることなく、各種形状、寸法測定、板厚測定、位置検出などが可能です。高速応答を特長とし、シリーズ最高の測定分解能を実現しています。振動体や高速スピンドルの精度評価など、被測定物が高速で変位する測定に適しています。

■特徴モデル6800マルチチャンネルコンソールに実装が可能なゲージモジュールです。±15V電源の供給により、装置への組込み用としてもご活用いただけます。
・応答周波数設定：内部のジャンパ設定により切換えが可能です。
・オフセット調整：出力電圧の±1V以内でオフセット調整ができます。

■応用例・回転体や振動体などの動特性測定
・ナノメートル以下での超精密ステージの送り精度評価

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
静電容量変位センサMicroSense 6800シリーズ

取扱企業
株式会社日本レーザー

カテゴリ

センサー

変位センサー

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静電容量変位センサMicroSense 6800シリーズ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	出力コネクタ形式	寸法	本体重量	測定フルスケール	出力電圧	出力分解能	出力直線性	出力温度特性	応答周波数 (＠-3dB)	使用温度範囲	使用湿度範囲
	6800	要見積もり	BNC	本体35.4mm (W) ×170mm (D) ×129Mm (H) , ユーロカード規格 3U 7HP	0.5kg	±15μm~250μm	測定フルスケール当たり±10VDC	最高0.0005%FS以下 ※3	最高0.1%FS以下 ※3	0.1%FS/℃ ※4	標準：DC~20kHz (1Hz、5Hz、100kHz)	0~50℃	85%RH以下 (結露なきこと)