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表面検査メトロロジー Surface Inspection Metrology of Nanofilms (SIMON) -SIMON
表面検査メトロロジー Surface Inspection Metrology of Nanofilms (SIMON) -パーク・システムズ・ジャパン株式会社

表面検査メトロロジー Surface Inspection Metrology of Nanofilms (SIMON)
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この製品について

SIMONは、イメージングエリプソメトリーにおける規則的な測定作業に特化した特別仕様となっています。 シンプルなユーザーインターフェースと固定角エリプソメーターの堅牢性により、イメージングエリプソメトリーを容易に利用可能です。顕微鏡モードは非常に高速に、極薄膜 (例えば単層膜：d =0.35nm) の変化や欠陥を可視化することができ、一方、エリプソメトリモードではサンプル材料の厚さと屈折率を測定することが可能です。 イメージングエリプソメトリー自体は、厚みと屈折率測定の感度と顕微鏡のイメージングを兼ね備えています。これにより、微細な構造を持つサンプルなどの厚みと屈折率の変化を顕微鏡画像で判断することが可能です。 典型的な用途としては、品質管理における大型サンプルの均一性や欠陥の表面検査、2次元材料の剥離フレークの高速検出などが挙げられます。

■特徴

・初心者にも使いやすいシンプルなシステム ・エリプソメトリ位置分解能が1µmまで向上したイメージングエリプソメトリー ・微細構造物の厚みと屈折率の測定 ・大面積の層厚分布や隠れた欠陥の高速可視化

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    表面検査メトロロジー Surface Inspection Metrology of Nanofilms (SIMON)

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