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反射型分光エリプソメーター Referenced Spectroscopic Ellipsometer: RSE-Referenced Spectroscopic Ellipsometer: RSE
反射型分光エリプソメーター Referenced Spectroscopic Ellipsometer: RSE-パーク・システムズ・ジャパン株式会社

反射型分光エリプソメーター Referenced Spectroscopic Ellipsometer: RSE
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反射型分光エリプソメーター (Referenced Spectroscopic Ellipsometer: RSE) は、エリプソメーターをベースにした反射率計で、品質管理などにおける高速な膜厚測定用に設計されています。0.1nmから10μmまでの厚みを正確に測定することが可能です。1秒間に200のスペクトルを記録し、100mmx100mmの領域をわずか12分で測定可能、67,000のスペクトルを取得することが可能です。

■特徴

・1測定でのリファレンス分光エリプソメトリー測定 ・200スペクトル/秒の測定速度 ・膜厚評価のためのライブデータ処理 ・スポットサイズ：50x100 µmスポットサイズ (AOI = 60°における) ・膜厚の範囲 <1nm-10µm ・スペクトル範囲 450-900nm

■概要

RSEは特殊なエリプソメーターで、サンプルとリファレンスを比較するものです。これにより、サンプルとリファレンスの光学的なわずかな差を測定することができます。リファレンスの向きにより、測定中に光学部品を移動させたり変調させたりする必要がなく、1回の測定で高解像度のスペクトルを得ることができます。 1秒間に200個のスペクトルを取得することが可能です。同期したX-Yステージにより、数分以内に広域の膜厚マップを取得することができます。

  • シリーズ

    反射型分光エリプソメーター Referenced Spectroscopic Ellipsometer: RSE

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