薄膜を可視化イメージングエリプソメーター Accurion EP4-Accurion EP4

薄膜を可視化イメージングエリプソメーター Accurion EP4
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この製品について

イメージングエリプソメーターEP4は、エリプソメトリーと顕微鏡を融合させた製品です。

EP4は1 µm程度の微細な構造物に対して、エリプソメトリーの感度で薄膜の厚みや屈折率などの光学特性の評価を行うことが可能です。従来のエリプソメーターでは、一点ずつの測定を行う必要があり複数の領域の同時測定はできず、位置分解能はスポットサイズに依存していました。一方、EP4では顕微分解能を有するエリプソメトリー像を得ることが可能であり、視野内にあるすべての構造を顕微分解能で一度に測定することが可能です。また、1度の測定で、厚みと屈折率の分布の3Dマップを記録することも可能です。

顕微鏡光学系と偏光光学系を用いることで、ellipsometric-enhanced contrastの可視化が可能であり、薄膜の屈折率や厚みのわずかな変化を、カメラのライブビューで確認することが可能です。これにより、エリプソメトリー測定の準備段階で、厚み (0.1nm～10μm) や屈折率の値を得たい範囲 (regions of interest) を容易に特定することができます。

AFM、QCM-D、リフレクトメトリー、ラマンなどのオプションと組み合わせることで、他の測定技術との同領域測定が可能です。さらに、特定のアクセサリーを組み合わせることによって、測定環境や温度変化を制御した測定を可能にします。

■高機能なモデリングソフトウェアモジュール化されたEP4ソフトウェアにより、装置の制御と同時にデータ解析が可能です。EP4 controlでは、測定装置の制御およびサンプル測定を行い、ライブビューで測定する領域を可視化、選択すること、また複数のサンプルを配置し、自動的に複数測定することも可能です。

DataStudioは、測定されたデータを処理することができ、エリプソメトリー像のヒストグラム解析やラインプロファイルにより、サンプルの顕微分解能での詳細を把握することが可能です。

EP4 Modelは、サンプルの光学モデルを直感的に作成することが可能です。シンプルなものから複雑な光学モデルまで、さまざまなサンプル構造の作成/解析が可能となっており、サンプル上の薄膜の厚みや屈折率に関する情報を得ることができます。さらに、混合材料層のバンドギャップや体積分率などの物理パラメータも得ることも可能です。