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300mm半導体ウェハー用ナノスケール赤外分光システム Park NX-IR R300-NX-IR R300
300mm半導体ウェハー用ナノスケール赤外分光システム Park NX-IR R300-パーク・システムズ・ジャパン株式会社

300mm半導体ウェハー用ナノスケール赤外分光システム Park NX-IR R300
パーク・システムズ・ジャパン株式会社

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Park NX-IR R300は、300mmまでの半導体ウェハーに対応したナノスケール赤外分光システムです。化学特性情報だけでなく、半導体研究の機械特性や形状測定、故障解析、欠陥評価などをこれまでにない高ナノ分解能を提供します。 Park NX-IR R300は、最先端のナノスケール赤外分光法と原子間力顕微鏡を統合しており、Molecular Vista社の光誘起力顕微鏡 (PiFM) モジュールをPark NX20 300mm AFMプラットフォームに取り入れています。 Park NX-IR R300は、10nmの空間分解能で化学物質の同定ができる分光法と原子間力顕微鏡の両方を備えたシステムとなっています。ノンコンタクト技術を用いたことにより、ダメージフリーの分光スキャンと業界最高レベルの空間分解能を実現しています。さらに、サブオングストロームの高さ精度で3Dトポグラフィーとナノメートルの横分解能で材料をイメージングできる顕微鏡システムです。

  • シリーズ

    300mm半導体ウェハー用ナノスケール赤外分光システム Park NX-IR R300

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300mm半導体ウェハー用ナノスケール赤外分光システム Park NX-IR R300 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜)
300mm半導体ウェハー用ナノスケール赤外分光システム Park NX-IR R300-品番-NX-IR R300

NX-IR R300

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使用用途

#成分分析 #材料評価 #構造解析 #品質管理 #化学反応解析 #環境分析 #医薬品開発 #食品検査 #表面分析 #有機化合物同定

測定方式

フーリエ変換型 透過型 反射型 反射吸収型

構造タイプ

卓上型 ポータブル型 組込み型

出力方式

デジタル出力型 グラフ表示型 スペクトル表示型 自動解析型

機能

多波長型 ライブモニタリング型 自動キャリブレーション型

波長範囲 nm

0 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 4,000

分解能 nm

0 - 1 1 - 5 5 - 10

測定波数範囲 cm-1

500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 4,000 4,000 - 8,000 8,000 - 12,000

重量 kg

0 - 10 50 - 100

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会社概要

パーク・システムズ・ジャパン株式会社は、ナノテクノロジー分野向けの高精度顕微鏡や計測装置の設計・製造・販売を行うメーカーです。 韓国に本社を置くPark Systems Corporationの日本法人として販売と...

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  • 本社所在地: 東京都
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