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シリーズ
ガリウムヒ素基板 VGF-n型 LDグレード取扱企業
DOWAエレクトロニクス株式会社| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 結晶成長法 | ドーパント、導電型 | キャリア濃度 | 転位密度 (EPD) (cm^-2) | サイズ | 面方位 | 直径 (mm) | 厚さ (μm) | オリフラ長さ OF (mm) IF (mm) | ノッチ | 外周加工 | 加工精度 TTV (μm) | 加工精度 Warp (μm) | 面仕上げ表面 | 面仕上げ裏面 | 表面処理 | レーザーマーク | 梱包形態 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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VGF-n型 LDグレード 6インチ |
要見積もり | VGF (Vertical Gradient Freezing) 法 | N型：Siドープ |
N-type (0.4-4) ×1,018 cm^-3 (上記範囲内での調整可能) |
EPDave EPDmax | 6インチ |
1. (100) ±0.1° 2. (100) off α°±0.1° towards (011) or (01-1) etc. 3. ご要望に応じます |
150.0±0.1 |
450-675 ±15 |
48.0±1.0 30.0±1.0 (ご要望に応じ調整可能) |
OK | べべル | <5.0 | <10.0 | ミラー | ラップ後エッチ (ミラー加工も可能) | エピレディ | オプション | カセット | |
|
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VGF-n型 LDグレード 4インチ |
要見積もり | VGF (Vertical Gradient Freezing) 法 | N型：Siドープ |
N-type (0.4-4) ×1,018 cm^-3 (上記範囲内での調整可能) |
EPDave EPDmax | 4インチ |
1. (100) ±0.1° 2. (100) off α°±0.1° towards (011) or (01-1) etc. 3. ご要望に応じます |
100.0±0.1 |
350-625 ±15 |
32.5±1.0 18.0±1.0 (ご要望に応じ調整可能) |
不可 | べべル | <5.0 | <10.0 | ミラー | ラップ後エッチ (ミラー加工も可能) | エピレディ | オプション | カセット又は個装トレイ | |
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VGF-n型 LDグレード 3インチ |
要見積もり | VGF (Vertical Gradient Freezing) 法 | N型：Siドープ |
N-type (0.4-4) ×1,018 cm^-3 (上記範囲内での調整可能) |
EPDave EPDmax | 3インチ |
1. (100) ±0.1° 2. (100) off α°±0.1° towards (011) or (01-1) etc. 3. ご要望に応じます |
76.0±0.1 76.2±0.1 |
300-600 ±15 |
22.0±1.0 12.0±1.0 (ご要望に応じ調整可能) |
不可 | べべル | <5.0 | <10.0 | ミラー | ラップ後エッチ (ミラー加工も可能) | エピレディ | オプション | カセット又は個装トレイ | |
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VGF-n型 LDグレード 2インチ |
要見積もり | VGF (Vertical Gradient Freezing) 法 | N型：Siドープ |
N-type (0.4-4) ×1,018 cm^-3 (上記範囲内での調整可能) |
EPDave EPDmax | 2インチ |
1. (100) ±0.1° 2. (100) off α°±0.1° towards (011) or (01-1) etc. 3. ご要望に応じます |
50.0±0.1 50.8±0.1 |
240-450 ±15 |
16.0±1.0 8.0±1.0 (ご要望に応じ調整可能) |
不可 | べべル | <5.0 | <10.0 | ミラー | ラップ後エッチ (ミラー加工も可能) | エピレディ | オプション | カセット又は個装トレイ |
