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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 品名 | 制御方式 | MFC精度 | MFC応答性 | 適応ガス | 流量範囲 | 耐圧 | 接続 | 主要接ガス部 | 周囲温度/湿度 | 装置寸法 | 装置重量 | 消費電力 | 電源電圧 | 混合方法 | 使用温度範囲 | 使用圧力範囲 | |
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BRENDA® SERIES |
要見積もり |
多機能・インテリジェントモデルガス混合装置 |
サーマルマスフローコントローラ制御 |
±1%F.S.以内 |
全流量範囲 1秒以内 |
Air、N2、O2、He、Ar、CO2、H2 |
1ライン 10SCCM~50SLM (但し混合ガス流量が100SLM以下のこと。) |
800kPa (G) |
ガスIN:Rc1/4 ガスOUT:Rc1/4 |
SUS316、SUS316L、磁性ステンレス、Ni、PTFE、PCTFE、FKM、SUS304 |
5~50℃ (精度保証:15~35℃) /10~80%RH |
W380×D390×H330mm |
30kg |
0.1kW |
AC100~240V 1φ 50/60Hz |
- | - | - | ||
GM SERIES |
要見積もり |
フローメータ内蔵型ガス混合装置 |
- |
±2%F.S. |
- |
AIR、N2、O2、He、H2、Ar、CO2 |
10mL/min~20L/min |
784kPa (G) |
Rc1/4 |
BS仕様:BS、NBR、POM |
- |
W290×D350×H440mm |
- | - | - |
流量比混合方式 |
5~40℃ |
49~588kPa (G) |
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PMG-1A |
要見積もり |
フローメータ内蔵型ガス混合装置 |
- |
±2%F.S. |
- |
Air、N2、O2、He、Ar、CO2 |
10mL/min~20L/min |
784kPa (G) |
Rc1/4 |
BS、NBR、POM、硬質ナイロン |
- |
W180×D300×H220mm |
- | - | - |
流量比混合方式 |
5~40℃ |
49~588kPa (G) |