汎用マスフローコントローラー、オンライン流通、50sccm SFC5500-50sccm-SFC5500-50sccm

汎用マスフローコントローラー、オンライン流通、50sccm SFC5500-50sccm
センシリオン株式会社

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この製品について

マスフローコントローラー「SFC5500」シリーズは、ガスフローの精密制御においてセンシリオンが歩んできた20年間の実績の集大成です。このセンサーはマイクロサーマル測定原理に基づいており、当社の実績のあるCMOSens® MEMS技術を活用しています。これにより、当社はクラス最高のパフォーマンスと優れた信頼性を備えた非常に素晴らしいマスフローコントローラーを作ることができました。本製品は市場に出ている他製品とは異なり、ドリフトすることがなく、市場で再校正する必要がありません。

CMOSens® MEMSフローセンサーが実現出来る幅広い流量制御範囲によって、「SFC5500」シリーズは一台の製品で従来のマスフローコントローラーの複数の流量範囲に対応できます。複数のガス校正と交換可能な継手を組み合わせた「SFC5500」シリーズは、幅広い用途に適した標準品として入手可能な市場初のマスフローコントローラーです。この汎用性のおかげで、「SFC5500」シリーズはカタログ販売を通じて購入できる初のマスフローコントローラーでもあります。

「SFC5500」シリーズは、センシリオン製のクラス最高のマスフローコントローラー「SFC5xxx」ファミリーを補完します。本製品は「SFC5400」と同等の上位パフォーマンスを誇るため、医療、分析、産業の環境での幅広い用途に適しています。但し、高度な設定が可能な「SFC5400」シリーズとは異なり、マスフローコントローラー「SFC5500」シリーズは標準的な設定済みのバリエーションからお選びいただきます。それ以外のガス、流量範囲、継手、インターフェースが必要な場合は、「SFC5400」またはコストパフォーマンスの高いOEM専用の「SFC5300」をご欄ください。

マスフローメーターをお探しの方には、同等のパフォーマンスを発揮し、SFC5500の姉妹品でバルブ無しの「SFM5500」があります。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
汎用マスフローコントローラー、オンライン流通、50sccm SFC5500-50sccm

取扱企業
センシリオン株式会社

カテゴリ

コントローラ・制御装置

マスフローコントローラ

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汎用マスフローコントローラー、オンライン流通、50sccm SFC5500-50sccm 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	マスフローフルスケール流量	マスフロー精度	マスフロー最高使用圧力	マスフローキャリブレーション	マスフロー流体コネクタポート	供給電圧	平均供給電流	最大供給電流	インターフェイス	サイズ (LxWxH)
	SFC5500-50sccm	要見積もり	0.05slm 50sccm	0.2% FS or 2% SP	10bar	Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2O flow	Legris	14 - 26.4V	75,000uA	120,000uA	デバイスネット,RS485	105 x 38.5 x 90.5mm3