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水銀プローバ CV/IV測定システム CVmapシリーズ-CVmap3092A
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水銀プローバ CV/IV測定システム CVmapシリーズ-雄山株式会社

水銀プローバ CV/IV測定システム CVmapシリーズ
雄山株式会社

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この製品について

再現性、安全性に非常に優れた水銀プローブ方式を用いたCV/IV測定システムです。

■特徴

Si、化合物、SOI、SiC、バルクウェハといった様々なタイプのウェハ特性を測定できます。ユーザが最大49箇所の測定サイトを指定し、C-V、I-V特性、TDDB、Vbd、Qbdの酸化膜破壊評価、Dit、ドーピング濃度、酸化膜厚、Low-k、High-k等のマッピング測定が可能なトータルシステムです。

■主な測定項目

・ドーピングプロファイル (キャリア濃度) ・比誘電率 (Low-K, High-K など) ・フラットバンド電圧 ・界面トラップ、固定電荷密度 ・リーク電流 ・破壊電圧測定 (Vbd, TDDB) ・チャージによる破壊試験 (Qbd) ・ピンホール密度縁膜膜厚、絶縁膜容量 ・強誘電体特性 ・ジェネレーション・ライフタイム絶縁膜の抵抗 ・Pseudo-MOSトランジスタ測定 (B-type) ・BOX界面Dit、モビリティ測定 (B-type)

■CVmapシリーズのラインナップ

・CVmap92A:マッピング測定対応、標準タイプ ・CVmap92B:SOIウエハ対応タイプ ・CVmap3092A、B:12インチ対応タイプ ・CV92M:マニュアル測定タイプ

  • シリーズ

    水銀プローバ CV/IV測定システム CVmapシリーズ

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水銀プローバ CV/IV測定システム CVmapシリーズ 品番6件

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水銀プローバ CV/IV測定システム CVmapシリーズ-品番-CVmap3092A

CVmap3092A

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12インチ対応タイプ

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  • 本社所在地: 兵庫県
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