水銀プローバ CV/IV測定システム CVmapシリーズ-CVmap3092A
水銀プローバ CV/IV測定システム CVmapシリーズ-CVmap3093AC
水銀プローバ CV/IV測定システム CVmapシリーズ-CV92M
水銀プローバ CV/IV測定システム CVmapシリーズ-雄山株式会社

水銀プローバ CV/IV測定システム CVmapシリーズ 雄山株式会社


この製品について

再現性、安全性に非常に優れた水銀プローブ方式を用いたCV/IV測定システムです。

■特徴

Si、化合物、SOI、SiC、バルクウェハといった様々なタイプのウェハ特性を測定できます。ユーザが最大49箇所の測定サイトを指定し、C-V、I-V特性、TDDB、Vbd、Qbdの酸化膜破壊評価、Dit、ドーピング濃度、酸化膜厚、Low-k、High-k等のマッピング測定が可能なトータルシステムです。

■主な測定項目

・ドーピングプロファイル (キャリア濃度) ・比誘電率 (Low-K, High-K など) ・フラットバンド電圧 ・界面トラップ、固定電荷密度 ・リーク電流 ・破壊電圧測定 (Vbd, TDDB) ・チャージによる破壊試験 (Qbd) ・ピンホール密度縁膜膜厚、絶縁膜容量 ・強誘電体特性 ・ジェネレーション・ライフタイム絶縁膜の抵抗 ・Pseudo-MOSトランジスタ測定 (B-type) ・BOX界面Dit、モビリティ測定 (B-type)

■CVmapシリーズのラインナップ

・CVmap92A:マッピング測定対応、標準タイプ ・CVmap92B:SOIウエハ対応タイプ ・CVmap3092A、B:12インチ対応タイプ ・CV92M:マニュアル測定タイプ

  • シリーズ

    水銀プローバ CV/IV測定システム CVmapシリーズ

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水銀プローバ CV/IV測定システム CVmapシリーズ 品番6件

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まとめて問合せ・見積 商品画像 品番 価格 (税抜) タイプ
水銀プローバ CV/IV測定システム CVmapシリーズ-品番-CVmap3092A

CVmap3092A

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CVmap3092B

要見積もり 12インチ対応タイプ
水銀プローバ CV/IV測定システム CVmapシリーズ-品番-CVmap3093AC

CVmap3093AC

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CVmap92A

要見積もり マッピング測定対応、標準タイプ

CVmap92B

要見積もり SOIウエハ対応タイプ
水銀プローバ CV/IV測定システム CVmapシリーズ-品番-CV92M

CV92M

要見積もり マニュアル測定タイプ

のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。

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