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シリーズ
小型・高性能 (回転精度±1rpm) 多種多様な基盤に対応 スピンコーター MS-Bシリーズ取扱企業
ミカサ株式会社カテゴリ
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 最大基板サイズ | 回転数 (rpm) | 回転精度 | モーター | 蓋 | スピン室内径 | ステップ・パターン数 | 時間設定 | セーフティーインターロック | 滴下装置 | 使用真空圧 | 電源 | 外形寸法 (mm) | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
MS-B100 |
要見積もり |
φ4インチウエハー又は75×75mm基板 |
20~8,000 |
±1rpm (負荷時) |
ACサーボモーター |
アクリル |
φ220mm |
100ステップ×10パターン |
999.9sec |
真空 標準装備、蓋 オプション |
取付不可 |
-0.08~-0.1MPa |
AC100~240V 5A |
259W×246H×330D |
10kg |
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使用用途
#半導体 #電池 #フィルム #建材 #自動車部品 #電子部品 #紙器塗布方式
スピン型 スロットダイ型 ナイフ型 グラビア型 ロール型駆動方式
手動型 電動型 空圧型 サーボ制御型基材搬送方式
バッチ搬送型 ロール搬送型 コンベア搬送型 ステージ搬送型特殊機能
多液対応型 加熱機能付き型 クリーン対応型 厚膜対応型有効塗布幅 mm
200 - 400 400 - 800 800 - 1,200ポンプ吐出量 ℓ/min
0 - 50 50 - 100塗工方式
グラビアコーター ダイコーター スロットダイコーター ミニスロットダイコーター コンマコーター ブレードコーター ダイレクトコート スリットコーター塗工速度 mm/s
0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 3,500XYZ繰返し位置精度 μm
0 - 10 10 - 100 100 - 150
