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ダイシング周辺装置 セミオート・テープマウンター SMM-100-SMM-100
ダイシング周辺装置 セミオート・テープマウンター SMM-100-イーアールエス株式会社

ダイシング周辺装置 セミオート・テープマウンター SMM-100
イーアールエス株式会社



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この製品について

■概要

本装置は半自動でウェハーとダイシングテープをテープフレームに精度良く貼り合わせる 装置です。

■特長

・テープにウェハーを気泡なく貼れます ・ウェハーに適正な温度が加わるように、テーブルを加熱できます ・テープの帯電防止としてイオナイザーを装備しています ・テープ及びウェハーの貼付けは、設定した速度で自動的に行います ・ウェハーの厚さ調整は、テーブル高さの上下で設定できます ・指定テープフレーム以外のリングはセットプレートの交換で対応可能です (オプション)

■ポイント

IC基板 (モールド完) の貼り合わせも可能です

■ワークフロー

1.テープフレームをセットします (位置決めピン突き当て&マグネット固定) 2.ウェハーをセットします (目あわせ) 3.ウェハー吸着固定スイッチをオンします 4.ダイシングテープを手動で引き出し、所定の位置へセットします 5.貼り付けローラーを所定の位置へセットし、開始スイッチを両手でオンします 6.貼り付けローラーが自動で往復します。停止後、手動によりカバー閉じます 7.手動によりサークルカット&ピッチカットを行います 8.カバーを開け、テープの切り取りシロを取り除きます 9.ウェハーの吸着スイッチをオフし、ワークを取り除いて完了です

  • シリーズ

    ダイシング周辺装置 セミオート・テープマウンター SMM-100

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ダイシング周辺装置 セミオート・テープマウンター SMM-100 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 適用ウェハー テープフレーム テーブル加熱温度 適応テープ寸法 貼り付けスピード 奥行き 高さ ユーティリティ 重量 供給源
ダイシング周辺装置 セミオート・テープマウンター SMM-100-品番-SMM-100

SMM-100

要見積もり

φ8インチ以下

MODTF2-8-1

RT~80℃

幅:300mm、芯径:φ75、巻径:Max φ200

1~20mm/Sec

650mm

800mm

500mm

ドライエア (0.4MPa以上) / 工場真空

70kg

AC100V 20A

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