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超高密度室温大気圧プラズマ装置-超高密度室温大気圧プラズマ装置
超高密度室温大気圧プラズマ装置-株式会社片桐エンジニアリング

超高密度室温大気圧プラズマ装置
株式会社片桐エンジニアリング



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この製品について

電極構造の工夫により高電子密度、非平衡大気圧プラズマの生成を可能とし、使いやすい大気圧プラズマ装置を実現しました。 ◼︎概要 ホロー電極構造におけるホロー効果を活用して高電子密度の生成を促し、高密度プラズマを実現しています。さらに、電極間距離の最適設計により、大気圧下でのプラズマ生成が可能となっております。 また、プラズマ発光部照射による処理を行うため、放電ガスブローの調整により、噴出プラズマの形成が可能となっております。 ◼︎特徴 ・小型、安価、取り扱い容易 ・各種ガスが使用可能 ・高い電子密度 (10^15 個/cm3) ・大気圧下でプラズマ発生 ・微小スポットプラズマ ◼︎構成 ・大気圧μホロー電極構造プラズマヘッド ・制御電源 ・プラズマガス (ご準備下さい) ・レギュレーター (ご準備下さい) ガス供給

■大気圧マイクロホロープラズマ

・スポット型 ・ワイドストライプ型 自律型制御機構 (オプション)

■応用例

・金属・樹脂の表面改質 (親水性の向上) ・表面クリーニング (電子部品の表面付着物除去等) ・金属・樹脂改質加工

■様々なオプション付大気圧プラズマ

・高出力大気圧プラズマ装置 ・ロボット搭載型 ・連装式大気圧プラズマ装置 ・モニター・反応性ガス対応プラズマ装置 ・密閉ボックス対応

  • シリーズ

    超高密度室温大気圧プラズマ装置

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超高密度室温大気圧プラズマ装置 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) プラズマ発生方式 プラズマガス種 ガス流量 サイズ ヘッド サイズ 電源 動作圧力 ユーティリティ 動作条件 ガス接続口径
超高密度室温大気圧プラズマ装置-品番-超高密度室温大気圧プラズマ装置

超高密度室温大気圧プラズマ装置

要見積もり

マイクロホロー

Ar、N2、O2、大気

~7L/min

φ18mm×47mm

19"ラックマウント

大気圧

AC100V:300W

20mA、9kV

6mmクイックコネクター

フィルターから探す

プラズマ装置をフィルターから探すことができます

使用用途

#フィルム処理 #医療機器加工 #研究開発 #光学部品加工 #材料開発 #接着強化処理 #洗浄除去処理 #電子部品製造 #薄膜形成 #半導体製造 #表面改質

プラズマ生成方式

高周波放電型 マイクロ波放電型 パルス放電型 グロー放電型 アーク放電型

作動圧力範囲

低圧プラズマ 大気圧プラズマ

プラズマ性質

非平衡型プラズマ 高密度プラズマ

電源 V

100 - 200 200 - 300

重量 kg

0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 4,000

ガス系統

オプション 1系統 2系統 3系統

プラズマ出力 W

0 - 100 100 - 600 600 - 1,100

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