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クリーン搬送システム for Front-End Process 基板自動搬送装置 EFEM-基板自動搬送装置 EFEM
クリーン搬送システム for Front-End Process 基板自動搬送装置 EFEM-シンフォニアテクノロジー株式会社

クリーン搬送システム for Front-End Process 基板自動搬送装置 EFEM
シンフォニアテクノロジー株式会社

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この製品について

■新型搬送ユニット登場

・6/8インチ基板対応 ・カセット〜プロセス処理室間での基板セット&基板輸送の自動化により、省力化を実現 ・高清浄度、N2雰囲気内 (N2循環による) でのハンドリングにより、高歩留りを実現 (異物,水分,酵素等のコンタミ低減) ・プロセス処理後の高温基板もハンドリング可能にする事で、高生産性を実現

  • シリーズ

    クリーン搬送システム for Front-End Process 基板自動搬送装置 EFEM

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クリーン搬送システム for Front-End Process 基板自動搬送装置 EFEM 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜)
クリーン搬送システム for Front-End Process 基板自動搬送装置 EFEM-品番-基板自動搬送装置 EFEM

基板自動搬送装置 EFEM

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使用用途

#組立工程 #加工工程 #検査工程 #包装工程 #搬入搬出

搬送原理

コンベヤ式 ローラー式 空気浮上式 マグネット式

駆動方式

電動モータ駆動 空圧駆動 油圧駆動 手動式

搬送対象

製品搬送用 パレット搬送用 ワーク搬送用 クリーン搬送用

搬送経路

直線搬送 曲線・分岐搬送 垂直搬送

用途・業界

製造業向け 物流・倉庫向け 食品業界向け

搬送能力 kg

100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 50,000 50,000 - 100,000

走行速度 m/min

10 - 30 30 - 60 60 - 150

電源電圧 V

20 - 30 30 - 60 60 - 150 150 - 200 200 - 230 230 - 250

ワークサイズ mm

0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500

重量 kg

0 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 500 500 - 1,000

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

シンフォニアテクノロジー株式会社は、航空宇宙、大型搬送システム、クラッチ・ブレーキ、モーションシステム、振動機などの分野で製品製造を行う電機メーカーである。本社所在地は東京都港区。 1949年、神戸製鋼所が三分割され、...

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  • 本社所在地: 東京都
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