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クリーン搬送システム for Front-End Process 300/200mm 自動切り替え機能搭載ロードポート SELOP-8-300/200mm 自動切り替え機能搭載ロードポート SELOP-8
クリーン搬送システム for Front-End Process 300/200mm 自動切り替え機能搭載ロードポート SELOP-8-シンフォニアテクノロジー株式会社

クリーン搬送システム for Front-End Process 300/200mm 自動切り替え機能搭載ロードポート SELOP-8
シンフォニアテクノロジー株式会社

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この製品について

■摘要

ウェーハサイズの混在ラインに最適

■300mm FOUPと200mmオープンカセットアダプタを載せ替えるだけで使用可能

・キャリア自動識別機能付き ・マッピング対応 ・ウェーハ飛び出しセンサ搭載

■2種類のオープンカセットアダプタ

・実績多数：チルト式オープンカセットアダプタ ・低コストモデル：平置き式オープンカセットアダプタ

■オペレーションフロー

・FOUP着座 ・FOUP取り外し ・アダプタステージ着座 ・ボルトで固定 ・アダプタステージオープン ・カセットセット ・アダプタステージ操作 ・アダプタステージクローズ

■200mmウェーハ対応時

・マッピング機能 ・コントローラ内蔵 ・キャリアベース位置調整機構 ・BOLTS面位置調整機構 ・カセット横滑り防止機構 ・300mmFOUP対応インフォパッドピンホルダ ・ウェーハ水平位置でのステージ固定機構 ・ステージセット時、ドック時のウェーハ振動防止機能

■オプション

・ユーザー特定インジケータパネル ・ユーザー特定スイッチパネル ・AC200V対応 ・FOSB※1対応 ・Ethernet※2通信仕様 ・E84対応 ・E84,CID通信対応 (300mmFOUPのみ) ・フレームパッキン仕様

  • シリーズ

    クリーン搬送システム for Front-End Process 300/200mm 自動切り替え機能搭載ロードポート SELOP-8

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クリーン搬送システム for Front-End Process 300/200mm 自動切り替え機能搭載ロードポート SELOP-8 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 搭載対象LP 外形寸法 ロードポート 外形寸法 チルト式200mmOCA 外形寸法 平置き式200mmOCA 重量 200mmウェーハ対応時 適用キャリア 300mmウェーハ対応時 適用キャリア 200mmウェーハ対応時 動作サイクル 300mmウェーハ対応時 動作サイクル 200mmウェーハ対応時 ドア保持 300mmウェーハ対応時 ドア保持 200mmウェーハ対応時 検出機構 300mmウェーハ対応時 検出機構 ユーティリティ インターフェース
クリーン搬送システム for Front-End Process 300/200mm 自動切り替え機能搭載ロードポート SELOP-8-品番-300/200mm 自動切り替え機能搭載ロードポート SELOP-8

300/200mm 自動切り替え機能搭載ロードポート SELOP-8

要見積もり

SELOP08C12F-S81シリーズ

W474mmxD547mmxH1,381mm

W455mmxD300mmxH432mm

W430mmxD315mmxH373mm

・65kg (LP)
・13.2kg (チルト式200mmOCA)
・8.5kg (平置き式200mmOCA)

200mm25枚カセット (SEMI 規格準拠品)

300mm25枚FOUP (SEMI 規格準拠品)

・開動作：11秒 (マッピング動作含む)
・閉動作：7秒 (マッピング動作不含)

・開動作：12秒 (マッピング動作含む)
・閉動作：9秒 (マッピング動作不含)

真空吸着方式

真空吸着方式

・カセット正常載置
・ステージ正常位置検出
・ウェーハマッピング
・ウェーハ飛出し (1段階)
・手挟み防止
・首挟み防止

・FOUP有無
・FOUP正常載置
・FOUPドア確認
・ウェーハマッピング
・ウェーハ飛出し (3段階)
・手挟み防止
・首挟み防止

・電源：DC24V 5A
・エア：0.45~0.6 MPa 20 L/min
・真空エア：-40kPa 5L/min

通信 RS232C

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使用用途

#組立工程 #加工工程 #検査工程 #包装工程 #搬入搬出

搬送原理

コンベヤ式 ローラー式 空気浮上式 マグネット式

駆動方式

電動モータ駆動 空圧駆動 油圧駆動 手動式

搬送対象

製品搬送用 パレット搬送用 ワーク搬送用 クリーン搬送用

搬送経路

直線搬送 曲線・分岐搬送 垂直搬送

用途・業界

製造業向け 物流・倉庫向け 食品業界向け

搬送能力 kg

100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 50,000 50,000 - 100,000

走行速度 m/min

10 - 30 30 - 60 60 - 150

電源電圧 V

20 - 30 30 - 60 60 - 150 150 - 200 200 - 230 230 - 250

ワークサイズ mm

0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500

重量 kg

0 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 500 500 - 1,000

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会社概要

シンフォニアテクノロジー株式会社は、航空宇宙、大型搬送システム、クラッチ・ブレーキ、モーションシステム、振動機などの分野で製品製造を行う電機メーカーである。本社所在地は東京都港区。 1949年、神戸製鋼所が三分割され、...

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  • 本社所在地: 東京都

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