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クリーン搬送システム for Back-End Process Panel FOUP対応ロードポート-SELOP20F12-SP
クリーン搬送システム for Back-End Process Panel FOUP対応ロードポート-シンフォニアテクノロジー株式会社

クリーン搬送システム for Back-End Process Panel FOUP対応ロードポート
シンフォニアテクノロジー株式会社

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この製品について

■特長

・大型基板次世代実装技術 (FOPLP) をサポート ・高精度マッピング機能付き ・前工程での高い信頼性と豊富な実績 ・パーティクルフリー ・SEMI規格対応 ・各種基板サイズに対応:250×250mm、300×300mm、510×515mm、600×600mm

■オプション

・ユーザー特定インジケータパネル ・ユーザー特定スイッチパネル ・キャリアIDリーダ ・インフォパッドA,B,C,D,E,F (ハードピンandセンサー) ・光IO ・マッピングレス対応 ・AC200V対応 ・E84対応 ・E84,CID通信対応 ・BOLTS取付面へのパッキン貼付 ・N₂パージ対応

  • シリーズ

    クリーン搬送システム for Back-End Process Panel FOUP対応ロードポート

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クリーン搬送システム for Back-End Process Panel FOUP対応ロードポート 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 対象ワーク 外形寸法 本体重量 動作サイクル ドア保持 位置決め精度 適用キャリア 検出機能 機構 標準機能 ユーティリティ インターフェース
クリーン搬送システム for Back-End Process Panel FOUP対応ロードポート-品番-SELOP20F12-SP

SELOP20F12-SP

要見積もり

510×510mm PANEL

W793×D739×H1,433mm

140kg

PANEL 6枚/12枚 FOUP (SEMI E-181規格準拠品)

・開動作:20秒以下 (マッピング動作含む)
・閉動作:15秒以下 (マッピング動作不含)

真空吸着方式

・FOUP前後軸:±0.1mm
・FOUPドア昇降軸:±0.1mm

・FOUP有無
・FOUP正常戴置
・FOUPドア確認
・ウェーハマッピング
・ウエーハ飛出
・手挟み防止

・ドア動作 (昇降 開閉) 、ウエーハ、マッピング動作:ステッピングモータ、タイミングベルト
・クランプ、ドック、ラッチキー:エアシリンダ

・マッピング機能
・コントローラ内蔵
・キャリアベースのアンドック位置調整機構
・BOLTS面位置調整機構
・自立、搬送キャスタ
・Ethernet※通信仕様

・電源:DC24V 5A
・エア:0.45~0.6MPa 10L/min
・真空エア:-60kPa 5L/min

・通信 RS232C
・Ethernet※TCP/IP

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使用用途

#組立工程 #加工工程 #検査工程 #包装工程 #搬入搬出

搬送原理

コンベヤ式 ローラー式 空気浮上式 マグネット式

駆動方式

電動モータ駆動 空圧駆動 油圧駆動 手動式

搬送対象

製品搬送用 パレット搬送用 ワーク搬送用 クリーン搬送用

搬送経路

直線搬送 曲線・分岐搬送 垂直搬送

用途・業界

製造業向け 物流・倉庫向け 食品業界向け

搬送能力 kg

100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 50,000 50,000 - 100,000

走行速度 m/min

10 - 30 30 - 60 60 - 150

電源電圧 V

20 - 30 30 - 60 60 - 150 150 - 200 200 - 230 230 - 250

ワークサイズ mm

0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500

重量 kg

0 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 500 500 - 1,000

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この商品の取り扱い会社情報

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65.0時間

会社概要

シンフォニアテクノロジー株式会社は、航空宇宙、大型搬送システム、クラッチ・ブレーキ、モーションシステム、振動機などの分野で製品製造を行う電機メーカーである。本社所在地は東京都港区。 1949年、神戸製鋼所が三分割され、...

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  • 本社所在地: 東京都
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