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サーマルマイクロスコープ TM3-サーマルマイクロスコープ TM3
サーマルマイクロスコープ TM3-株式会社ベテル ハドソン研究所

サーマルマイクロスコープ TM3
株式会社ベテル ハドソン研究所



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この製品について

■特徴

・熱物性顕微鏡は熱物性値の一つである熱浸透率を測定する装置です。 ・サンプルの熱物性を点、線、面で測定することを可能にした装置です。 ・従来の熱物性測定装置では難しいとされていたミクロンオーダーでの熱物性値の分布も測定が可能です。 ・非接触かつ高分解能での熱物性の測定を可能にした世界初の装置です。 ・検出光スポット径3μmにより高分解能で微小領域の熱物性測定 (点・線・面測定) が可能です。 ・深さの範囲を変えての測定が可能ですので薄膜・多層膜からバルク材まで測定出来ます。 ・基板上の試料も測定出来ます。 ・レーザ光による非接触測定です。 ・薄膜下のクラック・ボイド・剥離の検出が可能です。 測定原理

■光加熱式サーモリフレクタンス法による熱浸透率測定

試料にMo薄膜を成膜し、加熱用レーザで表面を周期的に加熱します。熱はMo薄膜から試料上に伝播し、試料表面の温度応答には位相遅れが生じます。この位相遅れは、試料の熱的特性により変化します。Moの反射率は、温度により変化する性質がありますので、加熱用レーザと同軸に照射した検出用レーザの強度変化をとらえることで、表面の相好的温度変化を測定します。この測定法により、高分解能の熱浸透率測定を可能にしました。 (サーモリフレクタンス法) オプションのソフトにより、体積熱容量および熱伝導率算出が可能になります。

  • シリーズ

    サーマルマイクロスコープ TM3

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サーマルマイクロスコープ TM3 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 測定モード 測定項目 検出光スポット径 1点測定標準時間 測定対象薄膜 繰り返し精度 試料ホルダサイズ 試料 板状試料 使用温度範囲 ステージ移動距離 加熱用レーザ 検出用レーザ 電源 本体 外形寸法 本体 重量 電源ボックス 外形寸法 電源ボックス 重量 標準付属品
サーマルマイクロスコープ TM3-品番-サーマルマイクロスコープ TM3

サーマルマイクロスコープ TM3

要見積もり

熱物性分布測定 (1次元·2次元·1点)

熱浸透率、 (体積熱容量) 、 (熱伝導率)

約3μm

10秒

厚さ 数百nm~数+μm

パイレックス、シリコンの熱浸透率で±10%未満

30mm×30mm 厚さ5mm以内

30mm×30mm以内で厚さ3mm以内

24℃±1℃ (装置内蔵温度センサーによる)

X方向:20mm Y方向:20mm Z方向:4mm

半導体レーザ 波長:808nm

半導体レーザ 波長:633nm

AC 100V 1.5kVA

730 (W) ×620 (D) ×560 (H) mm

80.0kg

620 (W) ×480 (D) ×310 (H) mm

26.4kg

試料ホルダ、基準試料

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使用用途

#解析 #計測 #撮影 #研究開発 #手作業支援 #傷観察

表示方式

デジタル表示型 光学観察型

撮像方式

カメラ内蔵型 外部カメラ接続型

ピント調整方式

手動焦点型 自動焦点型

照明方式

同軸照明型 リング照明型 斜光照明型

倍率 倍

0 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 5,000

撮像素子 インチ

0.2 - 0.3 0.3 - 0.4 0.4 - 0.5 0.5 - 0.6

画素数 万画素

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 1,300

解像度 ピクセル

500 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 2,000 2,000 - 2,500 2,500 - 3,000 3,000 - 5,500

作動距離 mm

0 - 10 10 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 250 250 - 500

視野 mm

0 - 1 1 - 10 10 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200

フレームレート fps

10 - 30 30 - 60 60 - 70

電源 V

0 - 5 5 - 100 100 - 200 200 - 300

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