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ミニサーマルマスフローコントローラ TC-3000 シリーズ-東京計装株式会社

ミニサーマルマスフローコントローラ TC-3000 シリーズ
東京計装株式会社

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この製品について

■概要

TC-3000シリーズはご好評をいただいておりますTF-1000シリーズミニサーマルマスフローメータをベースにコントロールバルブを装備したマスフローコントローラです。各種気体の質量流量を温度、圧カなどのプロセス条件の変化に影響なく、高精度計測・制御を行います。 シンプルな構造で使い易いプライスレベルを達成しマスフローコントローラの用途を大きく拡大しました。配線が容易でコンパクトなコンバータユニットTM-1400を用意しています。

■特長

・従来のプライスコンセプトを打ち破ったベストコストパフォーマンス。 ・熱式質量流量計測で圧力・温度の補正不要。 ・全量通過の流量検出方式で詰まりに強い。 ・コンパクトな専用パネル計器完備で設置、配線が容易。 ・最大800L/min (nor) までの大流量に対応。 ・DC24V電源、DC4〜20mA流量設定・出力に対応する製品もラインアップ。

■動作原理

TC-3000シリーズでは、流路内の感温抵抗体Rwに電流を流し加熱します。感温抵抗体Raは加熱せずガス温度を検出します。Rwの温度Twとガス温度Taの差が一定になるように電流Iを制御します。 感温抵抗体からガスに熱伝達される熱量Rw・I^2は、通過するガスの質量流量の関数となるので電流Iから質量流量が測定できます。電流Iは流量に比例した電気信号に変換され、出力されるとともに比較制御回路に送られます。比較制御回路は設定信号と流量測定信号を比較し、2つの信号が等しくなるようにコントロールバルブの開度を調節し正確に流量を制御します。 コントロールバルブはノーマルクローズ形に設計されたソレノイドバルブを採用しています。また、大流量用のコントロールバルブは、ソレノイドバルブをパイロットバルブとしたダイヤフラムバルブを採用し、ノーマルクローズ形に設計されています。

  • シリーズ

    ミニサーマルマスフローコントローラ TC-3000 シリーズ

企業レビュー

レビューは全てメトリー経由で実際に見積もりをしたユーザーによるものです

4.7

評判がとても良い

5
66.7%
4
33.3%
3
0.0%
2
0.0%
1
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2025年7月30日にレビュー

価格表及び見積書を依頼し又、修正もお願いしましたが、対応が早くて助かりました。

初回返答までの時間・13.66時間

2025年2月7日にレビュー

迅速な返信、的確な質問と回答

初回返答までの時間・0.44時間

2025年3月25日にレビュー

対応はが早かったについて丁寧にご対応いただき、大変助かりました。

初回返答までの時間・0.74時間

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見積もりの使い方

ミニサーマルマスフローコントローラ TC-3000 シリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 計測流体 口径 流量レンジ 流量範囲 (フルスケール) 最大操作圧力 周囲及びガス温度 流量制御範囲 応答速度 (90%応答) 制御差圧範囲 プロセス接続 流量出力信号 設定入力信号 出力・制御精度 温度影響 接ガス部材質 本体 接ガス部材質 センサ 接ガス部材質 制御バルブ 接ガス部材質 シール 電源 電気接続 周囲温度 質量 (約) 専用ケーブル
ミニサーマルマスフローコントローラ TC-3000 シリーズ-品番-TC-3100-□□□-□□□

TC-3100-□□□-□□□

要見積もり

気体全般

1/4、3/4、1

最大0 ~ 800L/min (nor)
最小0 ~ 2L/min (nor)

最大0~100L/min (nor)

0.98MPa

5~50℃

フルスケールの2~100%

2秒以内

2~70L/min (nor) :0.06~0.3MPa
71~100L/min (nor) :0.07~0.3MPa

Rc1/4、OD1/4スウェジロック

DC0~5V (0~100%)

DC0~5V (0~100%)

±2%F.S. (25℃基準)

スパン:±0.1%F.S./℃以内
ゼロ点:±0.01%F.S./℃以内

SUS316、SCS14 (TC-3100/3100S)

SUS316、Pt、ガラス、CTFEの組合せ

SUS430 (TC-3100/3100S) 、SHOMAC (TC-3300/3600/3800)

フッ素ゴムまたはCR

DC±15V+150mA、-200mA

専用コネクタ

85%RH以下 (結露しないこと)

0.8kg

SC-CM-□□
SC-TC-□□

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使用用途

#半導体製造 #医薬品製造 #食品加工 #燃料電池 #分析機器 #研究開発 #表面処理 #ガス混合

制御方式

閉ループ制御型 開ループ制御型 デジタル制御型 アナログ制御型

測定原理

熱式 コリオリ式 差圧式 超音波式

流体種類対応

気体用 液体用 高純度流体用

出力信号形式

アナログ出力型 デジタル出力型

制御流量範囲 %F.S

2 - 5 5 - 100

流量精度 %F.S

0 - 1 1 - 2 2 - 5

使用保証温度 ℃

-10 - 0 0 - 50 50 - 60

供給電源電圧消費電流 mA

25 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 350

耐圧力 MPa(G)

0 - 1 1 - 4 4 - 1,000

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この商品の取り扱い会社情報

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5.0時間


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4.7

会社概要

東京計装株式会社は、1954年に設立された計測機器製造メーカーです。
東京都港区に本社を置き、大阪支店や名古屋営業所、北九州営業所などの国内拠点を設けるほか、中国・韓国やシンガポールなどに海外拠点を設けています。...

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  • 本社所在地: 東京都
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