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あらゆる気体の質量流量を高精度制御 サーマルマスフローコントローラ TCシリーズ-TC-1100-□□□-□□□
あらゆる気体の質量流量を高精度制御 サーマルマスフローコントローラ TCシリーズ-東京計装株式会社

あらゆる気体の質量流量を高精度制御 サーマルマスフローコントローラ TCシリーズ
東京計装株式会社

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この製品について

■概要

TCシリーズはサーマルマスフローメータとコントロールバルブを組み合せ、各種気体の質量流量を高精度で自動的に制御するマスフローコントローラです。使用圧力0.99MPaまでの一般形TC-1000シリーズと10MPaまでの高圧用TC-2000シリーズがあり、各種用途に幅広く対応します。 特長

■広い流量範囲

最小0〜5mL/min (nor) 、最大0〜500L/min (nor) の広い流量範囲に対応します。 (高圧タイプTC-2000形は最小0〜50mL/ min (nor) 、最大 0〜100L/min (nor) )

■高精度

精度±1%F.S.の高精度で各種気体の質量流量が制御できます。

■優れた応答性

設定流量、ライン圧力の如何によらず3秒以内で設定値の98%の流量に到達する速い応答性能により、バッチシステムにも好適です。

■圧力・温度影響が小さい。

使用圧力範囲での圧力影響は0.25%F.S.以下、温度影響はゼロ点0.05%F.S./℃以下、スパン0.1%F.S./℃以下と圧力・温度の影響が小さく、広い圧力・温度範囲で正確に質量流量が制御できます。

■高性能

多種多様な気体で正確に質量流量が設定できます。

■動作原理

マスフローコントローラに流入したガスは、流量センサ部とバイパス部に分流されます。流量センサ部は金属の毛細管と毛細管を加熱する2本の抵抗線が巻かれており、その2本の抵抗線は電気回路の抵抗とブリッジ回路を構成しています。 ブリッジ回路はガスが流れていない時には平衡状態にあり、ガスが流れると上流側抵抗線で加熱された熱が下流側に移動し、ブリッジ回路の平衡がくずれて出力信号が得られます。熱の移動量はガスの質量流量と比熱で決まり、普通比熱は圧力によらず、温度が大きく変化しなければ一定とみなすことができ、ブリッジ回路の出力信号により圧力、温度の影響を受けずに質量流量を計測できます。 このブリッジ回路からの出力は、増幅回路を経て0〜5Vの信号として出力されるとともに、比較制御回路に送られます。ここで流量設定器からの設定信号と比較され両方の信号が等しくなるようにコントロールバルブの開度を調整し正確に流量を制御します。コントロールバルブは電磁式アクチュエータで電源OFF時に閉となるノーマルクローズ形に設計されています。

  • シリーズ

    あらゆる気体の質量流量を高精度制御 サーマルマスフローコントローラ TCシリーズ

企業レビュー

レビューは全てメトリー経由で実際に見積もりをしたユーザーによるものです

4.7

評判がとても良い

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33.3%
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2025年7月30日にレビュー

価格表及び見積書を依頼し又、修正もお願いしましたが、対応が早くて助かりました。

初回返答までの時間・13.66時間

2025年2月7日にレビュー

迅速な返信、的確な質問と回答

初回返答までの時間・0.44時間

2025年3月25日にレビュー

対応はが早かったについて丁寧にご対応いただき、大変助かりました。

初回返答までの時間・0.74時間

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あらゆる気体の質量流量を高精度制御 サーマルマスフローコントローラ TCシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 流量範囲 (フルスケール) 流量制御範囲 応答性 (98%応答) 流量出力信号 設定信号 精度 制御差圧 (MPa) 最大操作圧力 (MPa) 周囲およびガス温度 温度影響 圧力影響 電源 接ガス部材質 ガス接続 質量 (kg)
あらゆる気体の質量流量を高精度制御 サーマルマスフローコントローラ TCシリーズ-品番-TC-1100-□□□-□□□

TC-1100-□□□-□□□

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DC0~5V

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0.06~0.3

0.99

5~50℃

スパン:±0.1%F.S./℃Max
ゼロ点:±0.05%F.S./℃Max

0.25%F.S. (使用圧力範囲にて)

DC+15V25mA Max
DC-15V200mA Max

SUS316、SHOMACまたはSUS430、PTFE、フッ素ゴムまたはCR

Rc1/4、OD1/4SW、VCR、VCO

1.1

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使用用途

#半導体製造 #医薬品製造 #食品加工 #燃料電池 #分析機器 #研究開発 #表面処理 #ガス混合

制御方式

閉ループ制御型 開ループ制御型 デジタル制御型 アナログ制御型

測定原理

熱式 コリオリ式 差圧式 超音波式

流体種類対応

気体用 液体用 高純度流体用

出力信号形式

アナログ出力型 デジタル出力型

制御流量範囲 %F.S

2 - 5 5 - 100

流量精度 %F.S

0 - 1 1 - 2 2 - 5

使用保証温度 ℃

-10 - 0 0 - 50 50 - 60

供給電源電圧消費電流 mA

25 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 350

耐圧力 MPa(G)

0 - 1 1 - 4 4 - 1,000

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

東京計装株式会社は、1954年に設立された計測機器製造メーカーです。
東京都港区に本社を置き、大阪支店や名古屋営業所、北九州営業所などの国内拠点を設けるほか、中国・韓国やシンガポールなどに海外拠点を設けています。...

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  • 本社所在地: 東京都
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