洗浄装置、CMP 装置の流量計測·制御に UCUF 液体用小口径超音波流量計変換器 SFC-900-SFC-900-□□

洗浄装置、CMP 装置の流量計測·制御に UCUF 液体用小口径超音波流量計変換器 SFC-900
東京計装株式会社

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この製品について

■概要UCUFシリーズ超音波流量計は超純水や各種薬液などの小流量測定用に設計された流量計です。接液部はすべて特殊グレードのPFAの成型品で構成され、可動部がなく、液溜まりを生じやすいOリングなどの機械的シール部もありません。理想的なクリーン構造のため半導体装置などのクリーン度の要求されるプロセスに最適な流量計です。

SFC-900はUCUF用の変換器で、弊社特許技術の差分相関方式を採用し、半導体プロセス、薬液プロセス等で問題であった流体に含まれる気泡に対する影響を格段に軽減したことを特徴としております。さらに差分相関方式のシンプルな回路構成により、高性能と経済性の両立を実現しました。

特長
■耐気泡性能を大幅に改善超音波流量計は流体中に気泡が含まれると、超音波の受信感度が低下し流量計測が難しくなります。差分相関方式では、上下流受信波形の相関により流量計測するため、感度が低下しても受信波形が無くなるまで計測が可能です。さらに豊富なフィールド経験により、異常出力を判別、排除する事で大幅に耐気泡性能を向上させる事に成功しました。

■コンパクト検出器·変換器分離型で、軽量コンパクト。変換器は配線工事がしやすいプラグイン構造。

■同軸コネクタ汎用性の高いBNCコネクタを採用し、従来製品との互換性を図りました。

■EMC適合規格EMI/EN55011:2007 (Group1,Class A) 、EMS/EN61326:2006

■精度指示値の±1%以内 (流速1m/s以上において) 

■豊富な機能瞬時流量警報出力またはFAULT出力、瞬時流量の各種アナログ出力 (形式により選択) 

■その他の特長・RoHS対応
・動粘度40mm2/sまでの高粘度流体の測定が可能
・理想的なクリーン構造の検出器
・腐食に強く、取付けが容易
・容易な操作で被測定液に合わせたパラメータの設定が可能

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
洗浄装置、CMP 装置の流量計測·制御に UCUF 液体用小口径超音波流量計変換器 SFC-900

取扱企業
東京計装株式会社

カテゴリ

メーター・計測機器

流量計

メーター・計測機器

超音波流量計

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洗浄装置、CMP 装置の流量計測·制御に UCUF 液体用小口径超音波流量計変換器 SFC-900 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	電源電圧	消費電流	突入電流	出力パルス出力	出力パルス出力周波数パルス出力	出力パルス出力積算パルス出力	出力パルス出力 FAULT 出力	出力警報出力	出力電流出力	入力センサ信号	通信機能	測定対象	流体温度	流体の音速	流体の動粘度	適合検出器·流量範囲 (UCUF-04M)	ローカットオフ	リニアライズ機能	ステータス表示	アドレススイッチ	周囲温度	周囲湿度	取付	構造	材質	質量	対応検出器
	SFC-900-□□	要見積もり	DC24V±10%	約100mA (約2.5W)	約1.0A/2ms	周波数パルス出力または FAULT出力を選択可能オープンコレクタ負荷定格:DC30V､10mA以内	デューティ比:1:1 パルスレート:0~1,000Hz (フルスケール)	単位:×0.1mL､×1mL､×10mL､×1L パルス幅:0.5ms､50ms､100ms	変換器、検出器の異常時に出力 NO､NC選択可能	瞬時流量上限および下限警報 (2点) または積算警報 (2点) オープンコレクタ負荷定格:DC30V､20mA以内	DC4~20mA 負荷抵抗:500Ω以内	専用ケーブル (BNCコネクタ)	RS485通信機能搭載プロトコル:MODBUS 最大32台まで接続可能	液体全般	10~60℃	1,000~2,200m/s	0.3~40mm2/s	流量レンジ:最小0~0.05L/min､最大0~2.0L/min	0~25%F.S.	動粘度設定による自動補正手動リニアライザも付加可能 (最大20点､折れ線近似方式)	FAULT､AGC/ZERO､ALARM (赤色LED表示)	1~32まで設定可能	0~50℃ (単独) 0~40℃ (5mm間隔連結) 0~30℃ (密着連結)	30~95%RH (結露なきこと)	DIN レール取付	IP20 (屋内仕様)	ABS樹脂 (黒色)	約200g	UCUF-04M、UCUF-04HM、UCUF-06M、UCUF-10M、UCUF-15M、UCUF-20M