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半導体装置など高クリーン度要求プロセスの流量計測に UCUF 液体用小口径超音波流量計変換器 SFC4000-SFC4000-□
半導体装置など高クリーン度要求プロセスの流量計測に UCUF 液体用小口径超音波流量計変換器 SFC4000-東京計装株式会社

半導体装置など高クリーン度要求プロセスの流量計測に UCUF 液体用小口径超音波流量計変換器 SFC4000
東京計装株式会社

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この製品について

■概要

UCUFシリーズ超音波流量計は、超純水や各種薬液などの小流量測定用に設計された流量計です。接液部はすべて特殊グレードのPFA成形品で構成され、可動部がなく、液溜まりを生じやすいOリングなどの機械的シール部分もありません。理想的なクリーン構造で、半導体装置などの高度なクリーン度を要求されるプロセスに最適な流量計です。 SFC4000はUCUF形検出器用のパネルマウント形変換器です。デジタルシグナルプロセッサ (DSP) 等の最新の電子技術を採用し、半導体プロセス、薬液プロセス等で問題であった流体に含まれる気泡に対する影響を格段に軽減しました。表示·設定機能と通信機能を搭載しており、表示器を使用しながら通信を用いた集中管理が可能です。 特長

■耐気泡性能の向上

液体中に気泡が含まれると超音波の伝播が阻害されて流量計測が不能になります。豊富なフィールド経験とDSP信号処理技術により、受信波形をチェックして気泡の影響を検知し、流量演算から除外して気泡の影響による異常出力の排除を実現しました。さらに超音波受信波形信号処理を見直し、従来機種と比較して耐気泡性能を向上させました。

■表示付パネルマウントタイプ

表示・設定機能を搭載。瞬時流量や積算流量、各種ステータスが表示できるほか、容易な操作で各種設定の確認·変更が可能です。

■通信機能

RS-485 MODBUS通信を標準搭載。通信を用いた流量監視・各種設定が可能です。

■各種出力を選択可能

瞬時流量のアナログ出力 (形式により選択) 瞬時流量の周波数出力または積算パルス出力瞬時流量警報と積算プリセット警報の混在使用可能 (合計2点)

■精度

UCUF形検出器との組合せにて指示値の±1% (流速1m/s以上において)

■その他の特長

・動粘度40mm2/sまでの高粘度流体の測定が可能 ・CEマーキング

  • シリーズ

    半導体装置など高クリーン度要求プロセスの流量計測に UCUF 液体用小口径超音波流量計変換器 SFC4000

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2025年7月30日にレビュー済み

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価格表及び見積書を依頼し又、修正もお願いしましたが、対応が早くて助かりました。

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2025年3月25日にレビュー済み

顧客対応への満足度

対応はが早かったについて丁寧にご対応いただき、大変助かりました。

初回対応までの時間への満足度

0.74時間

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半導体装置など高クリーン度要求プロセスの流量計測に UCUF 液体用小口径超音波流量計変換器 SFC4000 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 測定対象 流体温度 流体音速 流体動粘度 適合検出器および流量範囲 (UCUF-04K) 電源電圧 消費電流 使用環境条件 保護等級 ケース材質 質量 取付方法 表示機能 設定機能 適合規格 入力信号 センサ信号 入力信号 積算リセット 出力信号 瞬時流量 出力信号 パルス 出力信号 パルス 周波数パルス出力 出力信号 パルス 積算パルス出力 出力信号 パルス ·FAULT出力 出力信号 警報 端子台 通信機能 流量調整 低流量カットオフ 流量調整 リニアライズ 対応検出器
半導体装置など高クリーン度要求プロセスの流量計測に UCUF 液体用小口径超音波流量計変換器 SFC4000-品番-SFC4000-□

SFC4000-□

要見積もり

液体全般

5~90℃

400~2,500m/s

0.3~40mm2/s

流量レンジ:最小0~0.05L/min、最大0~3.0L/min
接続チューブサイズ:3/8"

DC24V±10%

110mA max. (LCDバックライト点灯時)
電源投入時:約200mA

周囲温度:0~50℃
周囲湿度:30~80%RH (結露しないこと)

IP20 (屋内用)

ABS樹脂 (黒色)

約200g

パネル取り付け

警報表示:橙色LED
瞬時流量/積算流量/各種ステータス表示:バックライト付16文字2行LCD
標準では10分でバックライトが消灯 (消灯時間の設定可能)

パネルスイッチ×4
流量計の各種設定が可能

EMC: EN 61326-1、EN 61326-2-3
RoHS2 (2011/65/EU)

BNCコネクタ×2 (専用ケーブル使用)

接点入力 (短絡でリセット)

電流出カタイプ:4~20mA (負荷抵抗:500Ω以下)
電圧出カタイプ:0~10V、0~5Vまたは1~5V (負荷抵抗:1MΩ以上)

オープンコレクタ出力:負荷定格;DC30V、20mA以内
周波数パルス出力·積算パルス出力またはFAULT出力を選択可能

パルスレート 1,000Hz max. (フルスケール時出力) 、デューティ比1:1

流量単位パルスを出力
1パルスの値を次の乗数と単位の組み合わせで設定可能
乗数:x0.1、x1、x10、x100
単位:mL、L、m3

変換器および検出器の異常検出時に出力。NO/NCを選択可能

オープンコレクタ出力 (2点) :負荷定格;DC30V、20mA以内
瞬時流量警報 (上限・下限) 、積算値警報 (A・B) を組み合わせて使用可能。NO/NCを選択可能

差込式ねじ締め付け形端子×3 (着脱可能プラグインタイプ)

RS-485プロトコル:MODBUS RTU (最大32台まで接続可能)

0~25%FSの範囲で設定可能

動粘度による自動補正機能内蔵。手動リニアライザも付加可能 (最大20点、折れ点近似方式)

UCUF-E、UCUF-K、UCUF-M

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使用用途

#積算 #半導体プロセス #高温流体 #冷却水監視 #防爆環境 #溶接 #燃費測定 #医療用途

測定原理

電磁式 超音波式 コリオリ式 渦流式

構造方式

タービン式 ギア式 フロート式

出力信号

アナログ出力型 デジタル出力型

表示方式

指針式 デジタル表示型

口径 mm

5 - 20 20 - 50 50 - 150 150 - 600 600 - 6,000

精度 %FS

0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5 5 - 6

使用圧力範囲 MPa

0 - 1 1 - 2

使用温度範囲 ℃

-60 - 0 0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 500

測定流体

液体 気体

電源電圧 VDC

0 - 10 10 - 20 20 - 30 30 - 40 40 - 50

保護等級 IP

IP54 IP64 IP65 IP66 IP67 IP68 IP69K IPX4

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

東京計装株式会社は、1954年に設立された計測機器製造メーカーです。
東京都港区に本社を置き、大阪支店や名古屋営業所、北九州営業所などの国内拠点を設けるほか、中国・韓国やシンガポールなどに海外拠点を設けています。...

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