洗浄装置、CMP 装置の流量計測·制御に UCUF 液体用小口径超音波流量計用変換器 SFC3000-SFC3000-□

洗浄装置、CMP 装置の流量計測·制御に UCUF 液体用小口径超音波流量計用変換器 SFC3000
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この製品について

■概要UCUFシリーズ超音波流量計は超純水や各種薬液などの小流量測定用に設計された流量計です。接液部はすべて特殊グレードのPFAの成型品で構成され、可動部がなく、液溜まりを生じやすいOリングなどの機械的シール部もありません。理想的なクリーン構造のため半導体装置などのクリーン度の要求されるプロセスに最適な流量計です。

SFC3000はUCUF用の変換器で、デジタル信号プロセッサ (DSP) 等の最新の電子技術を採用し、半導体プロセス、薬液プロセス等で問題であった流体に含まれる気泡に対する影響を格段に軽減したことを特徴としております。

特長
■耐気泡性能の向上流体中に気泡が含まれると超音波の伝播が阻害されて流量測定が不能になります。豊富なフィールド経験とDSP信号処理技術により、受信波形をチェックして気泡の影響を検知し、流量計算から除外し気泡の影響による異常出力を排除することに成功しました。また、超音波受信波形信号の処理を見直し、従来機種と比較して耐気泡性能を向上させました。

■コンパクト検出器·変換器分離型で、軽量コンパクト変換器は配線工事がしやすいプラグイン構造

■EMC適合規格EN61326-1:2013/EN61326-2-3:2013

■精度指示値の±1%以内 (流速1m/s以上において) 

■豊富な機能エラー検出機能、自己診断機能

■その他の特長・RoHS対応
・動粘度40mm2/sまでの高粘度流体の測定が可能
・理想的なクリーン構造の検出器
・腐食に強く、取付けが容易
・容易な操作で被測定液に合わせたパラメータの設定が可能

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
洗浄装置、CMP 装置の流量計測·制御に UCUF 液体用小口径超音波流量計用変換器 SFC3000

取扱企業
東京計装株式会社

カテゴリ

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超音波流量計

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洗浄装置、CMP 装置の流量計測·制御に UCUF 液体用小口径超音波流量計用変換器 SFC3000 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	電源電圧	消費電流	突入電流	出力パルス出力	パルス出力周波数パルス出力	パルス出力積算パルス出力	パルス出力 FAULT出力	出力警報出力	出力電流出力	入力センサ信号	通信機能	測定対象	流体温度	流体の音速	流体の動粘度	適合検出器·流量範囲 (UCUF-04BL)	対応検出器	ローカットオフ	リニアライズ機能	ステータス表示	アドレススイッチ	周囲温度	周囲湿度	取付	構造	材質
	SFC3000-□	要見積もり	DC24V±10%	約100mA (スタート時約200mA)	約1.5A/2ms	周波数パルス出力、積算パルス出力またはFAULT出力を選択可能オープンコレクタ負荷定格:DC30V､15mA以内	デューティ比:1:1､パルスレート:0~1000Hz (フルスケール)	単位:×0.1mL､×1mL､×10mL､×1L､パルス幅:0.5ms､50ms､100ms	変換器、検出器の異常時に出力､NO､NC選択可能	瞬時流量上限および下限警報 (2点) または積算警報 (2点) オープンコレクタ負荷定格:DC30V,15mA以内	DC4~20mA 負荷抵抗:500Ω以内	専用ケーブル (BNCコネクタ)	RS485通信機能搭載プロトコル:MODBUS 最大32台まで接続可能	液体全般	5~90℃	400~2,500m/s	0.3~40mm2/s	流量レンジ:最小0~0.1L/min､最大0~3.0L/min 接続チューブサイズ:3/8"	UCUF-E、UCUF-K、UCUF-M	0~25%F.S.	動粘度設定による自動補正手動リニアライザも付加可能 (最大20点、折れ線近似方式)	ERROR､ZERO/AGC､ALM (赤色LED表示)	1~32まで設定可能	0~60℃ (単独) 0~50℃ (5mm間隔) 0~40℃ (密着連結)	30~90%RH (結露なきこと)	DINレール取付	IP20 (屋内仕様)	ABS樹脂 (黑色)