洗浄装置、CMP 装置の流量計測·制御に UCUF 液体用小口径超音波流量計用変換器 SFC2000-SFC2000-0

洗浄装置、CMP 装置の流量計測·制御に UCUF 液体用小口径超音波流量計用変換器 SFC2000
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この製品について

■概要UCUFシリーズ超音波流量計は超純水や各種薬液などの小流量測定用に設計された流量計です。接液部はすべて特殊グレードのPFAの成型品で構成され、稼動部がなく、液溜まりを生じやすいOリングなどの機械的シール部もありません。理想的なクリーン構造のため半導体装置などのクリーン度の要求されるプロセスに最適な流量計です。

SFC2000はUCUF用の変換器で、次世代アップグレードチップを搭載することにより、超音波伝播時間計測分能解と安定性を向上させながら、消費電力を大幅に低減 (弊社従来機種の半分以下) することを実現した製品です。さらに、ケースの見直しも行い (弊社従来品と比較し体積比50%Down) 設置の省スペース化、また、市販のTBUSコネクタでSFC2000同士を接続することにより面倒な配線作業なしで最大8台の連結を可能にしました。

特長
■次世代アップグレードチップの採用このチップは最小出力時間分解能45psと高速で伝搬時間計測が行える。その為CPUの負担を軽減すると共に消費電力を小さくする事が出来ました。これにより、発熱による温度上昇を抑え信頼性をUPさせました。

■コンパクト検出器·変換器分離型で、軽量コンパクト。従来製品と比べて50%のシェイプアップを実現しました。DINレール取り付け式バスコネクタ採用により、連結時の電源およびRS485の省配線化が可能。SMBコネクタを採用し小形化しました。

■精度指示値の±1%以内 (流速1m/s以上において) 

■新機能エラー履歴保持機能

■対気泡性能の向上従来の超音波流量計は、液体中に気泡が含まれると超音波の伝搬が阻害されて流量測定が不能になりましたが、豊富なフィールド経験による伝搬時間判定技術で、気泡の影響による異常出力を排除します。

■その他の特長・EMC 適合規格:EN61326-1:2006
・RoHS 対応
・動粘度40mm2/sまでの高粘度流体の測定が可能
・理想的なクリーン構造の検出器
・腐食に強く、取付けが容易
・容易な操作で被測定液に合わせたパラメータの設定が可能

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
洗浄装置、CMP 装置の流量計測·制御に UCUF 液体用小口径超音波流量計用変換器 SFC2000

取扱企業
東京計装株式会社

カテゴリ

メーター・計測機器

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メーター・計測機器

超音波流量計

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洗浄装置、CMP 装置の流量計測·制御に UCUF 液体用小口径超音波流量計用変換器 SFC2000 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	電源電圧	消費電流	突入電流	パルス出力	電流出力	入力センサ信号	通信機能	測定対象	流体温度	流体の音速	流体の動粘度	適合検出器·流量範囲センサ:UCUF-04M	ローカットオフ	リニアライズ機能	ステータス表示	アドレススイッチ	周囲温度	周囲湿度	取付	連結方式、台数	構造	材質	質量	対応検出器
	SFC2000-0	要見積もり	DC24V±10%	約40mA (スタート時約150mA)	1A以下	周波数パルス出力オープンコレクタ負荷定格:DC30V､10mA以内デューティ比:1:1 パルスレート:0~1,000Hz (フルスケール)	なし	専用ケーブル (SMBコネクタ)	RS485通信機能搭載プロトコル:MODBUS 最大32台まで接続可能	液体全般	5~90℃	400~2,500m/s	0.3~40mm2/s	流量レンジ:最大0~0.05L/min､最大0~2.0L/min	0~25%F.S.	動粘度設定による自動補正手動リニアライザも付加可能 (最大10点、折れ線近似方式)	ERROR､ZERO/AGC (赤色LED表示) ､SET (青色LED表示)	1~32まで設定可能	0~60℃ (単独) 0~50℃ (5mm間隔連結) 0~40℃ (密着連結)	30~95%RH (結露なきこと)	DINレール取付	バスコネクタによる､最大8台突入電流制御電源により台数增加可能。	IP30 (屋内仕様)	PA66 (グレー)	約70g (アナログ出力無し) 約75g (アナログ出力付き)	UCUF-04M、UCUF-04HM、UCUF-06M、UCUF-10M、UCUF-15M、UCUF-20M